Silikon Karbid Kaplama

Veteksemikon-dan CVD SIC örtülmüş qrafit duşunun rəhbəri, yarımkeçirici kimyəvi buxarlanma (CVD) prosesləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı bir komponentdir. Yüksək saflıq qrafitindən və kimyəvi bir buxarlanma (CVD) silikon karbid (SIC) örtüklü (SIC) örtüyü ilə qorunan bu duş rəhbəri, bu, korroziv proses qazlarına qarşı davamlı davamlılığı və müqavimət göstərir. Əlavə məsləhətləşməni gözləyirik.

Veteksemicon tərəfindən Silikon Karbid Coatch, veteksemicon tərəfindən veteksemik, MOCVD, LPCVD və yüksək temperaturlu ilahi kimi inkişaf etmiş yarımkeçirici proseslərdə dəqiqlik və performans üçün hazırlanmışdır. Vahid CVD SIC örtüyü ilə bu gofret sahibi müstəsna istilik keçiriciliyini, kimyəvi inaktistlik və mexaniki gücünü təmin edir - çirklənmə sərbəst, yüksək məhsuldar emal emalı üçün vacibdir.

Veteksemicon yüksək saflıqlı SIC Kiçik Üzüklər, Yarımkeçirici etching avadanlıqları üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, görkəmli korroziyaya qarşı müqavimət və istilik sabitliyi, gofret məhsulunu əhəmiyyətli dərəcədə artırır

Bir aparıcı Çin istehsalçısı və silikon karbid örtüklü məhsullar, Veteksemikanın SIC örtüklü vafli daşıyıcısı kimi, əla yüksək temperatur sabitliyi, görkəmli korroziyaya davamlı və yüksək istilik keçiriciliyi ilə işsiz bir əsas rol oynayır.

Veteksemiconun CVD SIC SIC örtükləri Suseptor, Yarımkeçirici epitaxial proseslər üçün ən qabaqcıl bir həlldir, ultra yüksək saflıq (≤100ppb, ICP-E10 sertifikatlı) və çirklənmə davamlı böyüməsi üçün müstəsna istilik / kimyəvi sabitlik və silikon əsaslı epi-təbəqələr təklif edir. Precision CVD texnologiyası ilə mühəndis, 6 "/ 8" / 12 "Wafters, minimal istilik stresini təmin edir və 1600 ° C-ə qədər həddindən artıq temperaturu təmin edir.

SIC örtülmüş planetary suseptorumuz yarımkeçirici istehsalın yüksək temperatur prosesində əsas komponentdir. Dizayn, istilik idarəetmə performansının, kimyəvi sabitlik və mexaniki gücün hərtərəfli optimallaşdırılmasına nail olmaq üçün silikon karbid örtüyü ilə qrafit substratını birləşdirir.