Sic kənar üzük

Yarımkeçirici istehsal sahəsində, geniş vaffer emal avadanlıqlarının əsas komponentləri kimi, SIC Edge üzüklər, maddi xüsusiyyətləri ilə sənaye mənzərəsini inqilab edir. Silikon karbiddən hazırlanmış bu dəqiq komponentin dəyəri təkcə yüksək texnoloji məzmunda deyil, həm də məhsul istehsalçılarına gətirilən əməliyyat xərclərinin və optimallaşdırılmasında əhəmiyyətli bir inkişafda deyil.

Sic Edge Ring Struktur xüsusiyyətləri

Silikon Karbide Edge Rings, yarımkeçirici interching avadanlıqlarında əsas istehlak olunan komponentlərdir və kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) metodu tərəfindən hazırlanmış yüksək təmizlik silikon karbid materiallarından hazırlanmışdır. Qeyri-adi quruluşunun diametri ümumiyyətlə 200-450 mm-dir və qalınlığı 5-15 mm-də idarə olunur, aşağıdakı xüsusiyyətləri əks etdirir:

1.Extreme tolerantlıq: 1500 ℃ yüksək temperaturlu bir mühitə tab gətirə bilər

2. Plazma sabitliyi: dielektrik sabit 9.7, Bölmə gərginliyi 3MV / sm

3. Həndəsi dəqiqlik: dəyirmi səhv səhv ≤0.05mm, səthi kobudluq ra <0.2μm

İstehsal prosesində irəliləyiş

Müasir hazırlıq prosesi üç mərhələli bir üsul qəbul edir:

1. Matrix Forming: ISOSTATIC pressing formalaşdırılması vahid sıxlığı təmin edir

2. Yüksək temperaturlu sintering: 2100-də bir inert atmosferdə sıxlaşdırılması müalicəsi

3. Səthi modifikasiya: Nanoscale qoruyucu təbəqələr reaktiv ion etching (rie) vasitəsilə formalaşır. Ən son araşdırmalar göstərir ki, 3% bor ilə 70% artaraq, silikon karbid kənar üzüklərin xidmət müddəti 40% artır və vaffer çirklənmə dərəcəsi 0.01pmpm səviyyəsinə endirilir

Tətbiq ssenariləri

5nm-dən aşağı olan proseslərdə işsizliyini göstərir:

2. Uniftity: Overching nisbətinin sürətlə sapma sürəti təmin edə bilər

3. Çirklənmə nəzarəti: Ənənəvi kvars materialları ilə müqayisədə metal çirklilmanı 92% azaldır

4. Baxım dövrü: CF4 / O2 plazmasında 1500 saat davamlı fəaliyyət göstərə bilər

Veteksemicon, çox xərc xərclərini saxlaya bilən SIC Edge üzüklərin yerli istehsalında bir irəliləyiş əldə etdi. İstənilən vaxt bizimlə əlaqə saxlamağa xoş gəlmisiniz!