Məhsullar

Silikon karbid keramika

VeTek Semiconductor yarımkeçiricilərin emalı sahəsində sizin innovativ tərəfdaşınızdır. Yarımkeçirici dərəcəli Silikon Karbid Seramika material kombinasiyaları, komponentlərin istehsal imkanları və tətbiq mühəndisliyi xidmətlərinin geniş portfelimizlə biz sizə əhəmiyyətli çətinliklərin öhdəsindən gəlməyə kömək edə bilərik. Mühəndislik texniki Silikon Karbid keramika müstəsna material performansına görə yarımkeçirici sənayedə geniş tətbiq olunur. VeTek Semiconductor-un ultra təmiz Silikon Karbid keramikaları yarımkeçiricilərin istehsalı və emalının bütün dövrü ərzində tez-tez istifadə olunur.


DIFFUSION & LPCVD Emal

VeTek Semiconductor, toplu diffuziya və LPCVD tələbləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış mühəndis keramika komponentlərini təmin edir, o cümlədən:

• Buferlər və tutacaqlar
• Enjektorlar
• Astarlar və proses boruları
• Silikon Karbid Konsol Avarları
• Vafli qayıqlar və postamentlər


ETCH PROSESİNİN KOMPONENTLƏRİ

Plazma aşındırma emalının sərtliyi üçün hazırlanmış yüksək təmizlikli komponentlərlə çirklənməni və planlaşdırılmamış texniki xidmətin minimuma endirilməsi, o cümlədən:

Fokus üzükləri

Burunlar

Qalxanlar

Duş başlıqları

Pəncərələr / Qapaqlar

Digər fərdi komponentlər


SÜRƏTLİ TERMİK EMAL VƏ EPİTAKSİAL PROSES KOMPONENTLƏRİ

VeTek Semiconductor yarımkeçirici sənayesində yüksək temperaturlu istilik emal tətbiqləri üçün uyğunlaşdırılmış qabaqcıl material komponentləri təqdim edir. Bu proqramlar RTP, Epi prosesləri, diffuziya, oksidləşmə və tavlamanı əhatə edir. Texniki keramikamız etibarlı və ardıcıl performans təmin edərək, termal zərbələrə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. VeTek Semiconductor komponentləri ilə yarımkeçirici istehsalçıları yarımkeçirici istehsalının ümumi uğuruna töhfə verərək səmərəli və yüksək keyfiyyətli istilik emalına nail ola bilərlər.

• Diffuzorlar

• İzolyatorlar

• Qəbuledicilər

• Digər xüsusi istilik komponentləri


Yenidən kristallaşdırılmış silisium karbidinin fiziki xassələri
Əmlak Tipik Dəyər
İş temperaturu (°C) 1600°C (oksigenlə), 1700°C (azaldıcı mühit)
SiC / SiC tərkibi > 99,96%
Si / Pulsuz Si məzmunu < 0,1%
Kütləvi sıxlıq 2,60-2,70 q/sm3
Görünən məsaməlilik < 16%
Sıxılma gücü > 600 MPa
Soyuq əyilmə gücü 80-90 MPa (20°C)
İsti əyilmə gücü 90-100 MPa (1400°C)
Termal genişlənmə @1500°C 4,70 10-6/°C
İstilik keçiriciliyi @1200°C 23  Vt/m•K
Elastik modul 240 GPa
Termal şok müqaviməti Çox yaxşı


View as  
 
Silikon karbid robot qolu

Silikon karbid robot qolu

Silikon karbidimiz (SIC) Robot Qolum, inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsalında yüksək performanslı vafli işləmə üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək saflıq silikon karbiddən hazırlanmış, bu robot qolu, təmiz otaq mühitində etibarlı əməliyyat təmin edən yüksək temperatur, plazma korroziyaya və kimyəvi hücumlara müstəsna müqavimət göstərir. Onun müstəsna mexaniki gücü və ölçülü sabitliyi, çirklənmə risklərini minimuma endirərkən, mocvd, epitaxy, ion implantasiyası və digər kritik vaffer tətbiqetmələri üçün ideal bir seçim halına gətirərkən dəqiq vafli işləmə imkanı verir. Sorğularınızı alqışlayırıq.
Silikon karbidli sic gofer gəmi

Silikon karbidli sic gofer gəmi

Veteksemik SIC gəmiləri, silikon əsaslı inteqrasiya edilmiş sxemlər üçün oksidləşmə, yayılma və yanma prosesləri üçün etibarlı daşıyıcı, yayımlanan istehsalçı, yayımçı istehsalında kritik yüksək temperaturlu proseslərdə geniş istifadə olunur. Epitaksial böyüməsi (EPI) və metal üzvi kimyəvi buxarlanma (mocvd) kimi tələb olunan proseslər üçün mükəmməl bir şəkildə uyğun olan üçüncü nəsil yarımkeçirici sektorda üstündürlər. Fotovoltaik sənayesində yüksək səmərəli günəş hüceyrələrinin yüksək temperaturun yüksək səviyyədə qurulmasına da dəstək olurlar. Əlavə məsləhətləşməni gözləyirik.
Sic cantilever avarles

Sic cantilever avarles

Veteksemik SIC Cantilever avarları, üfüqi diffuziya sobalarında və epitaxial reaktorlarda vafli işləmə üçün hazırlanmış yüksək safi silikon karbid dəstəyi olan silahlardır. Fövqəladə istilik keçiriciliyi, korroziya müqaviməti və mexaniki gücü ilə bu yastıqlar, yarımkeçirici mühitlərdə sabitlik və təmizliyini təmin edir. Xüsusi ölçülərdə mövcuddur və uzun xidmət müddəti üçün optimallaşdırılmışdır.
Sic blok

Sic blok

Veteksemiconun SIC Bloku, silikon və sapfir gofretinin yüksək səmərəli üyüdülməsi və incələnməsi üçün nəzərdə tutulmuşdur. Mükəmməl istilik keçiriciliyi ilə (≥120 w / m · k), yüksək istilik şok müqaviməti və üstün aşınma müqaviməti (MOHS ≥9), bloklarımız proses sabitliyini yaxşılaşdırır və alət dəyişdirmə tezliyini azaldır. 120 mm-dən 480 mm-ə qədər olan ölçülərdə mövcuddur, xüsusi istehsal ehtiyaclarını ödəmək üçün xüsusi seçimlər və sürətli çatdırılma.
Sic keramika membran

Sic keramika membran

Veteksemik SIC Keramika membranları qeyri-üzvi membran növüdür və membran ayırma texnologiyasında bərk membran materiallarına aiddir. Sic membranlar 2000-ci ildən yuxarı bir temperaturda atəşə tutulur. Hissəciklərin səthi hamar və yuvarlaqdır. Dəstək təbəqəsində və hər təbəqədə qapalı məsamələr və ya kanallar yoxdur. Onlar ümumiyyətlə müxtəlif məsaməli ölçüləri olan üç təbəqədən ibarətdir.
Məsaməli sic keramika plakası

Məsaməli sic keramika plakası

Məsaməli SIC keramika plitələrimiz, əsas komponent kimi silikon karbiddən hazırlanmış və xüsusi proseslər tərəfindən işlənmiş məsaməli keramika materiallarıdır. Onlar yarımkeçirici istehsal, kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) və digər proseslərdə əvəzolunmaz materiallardır.
Çində peşəkar Silikon karbid keramika istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Silikon karbid keramika almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept