Məhsullar

Bərk silikon karbid

Vetek Yarımkeçirici Solid Silicon Carbide, plazma etching avadanlıqlarında, bərk silikon karbiddə əhəmiyyətli bir keramika komponentidir (Cvd silikon karbid) Etching avadanlıqındakı hissələr daxildirfokus halqalar, Qaz duşu başlığı, tepsisi, kənar üzüklər və s. Qatı silikon karbidinin (cvd silikon karbid) və flüor ehtiva edən ətlər qazı və digər komponentlər üçün ideal bir materialdır.


Məsələn, Focus Ring, vuldanın kənarında və vafdanın kənarındakı bir voltajla birbaşa təmasda olan vacib bir hissə, üzükdən keçən plazmana diqqət yetirərək, beləliklə plazmanın emalının vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün plazmanın genişliyinə yönəldərək voltajla və vafdanın xaricində bir voltage ilə birbaşa təmasda olmasıdır. Ənənəvi Focus Ring silikondan hazırlanmış və yakuartzKeçirici silikon, ümumi bir mərkəz üzük materialı olaraq, silikon gofreyi, çatışmazlığı demək olar ki, çatışmazlığı, az vaxtlarda istifadə olunan flüor tərkibli plazma, tire ehtiva edən maşın hissələri materialları, istehsal səmərəliliyini ciddi şəkildə azaldır.


SOlid SIC Focus Ringİş prinsipi

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


SI əsaslı diqqət üzük və CVD SIC Fokuslu üzüyü müqayisə edin:

SI əsaslı diqqət üzük və CVD SIC-nin diqqət mərkəzində olan halqanın müqayisəsi
Maddə CVD SIC
Sıxlıq (g / sm)3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
İstilik keçiriciliyi (w / sm ℃) 1.5 5
CTE (X10-66/ ℃) 2.6 4
Elastik Modulus (GPA) 150 440
Sərtlik (GPA) 11.4 24.5
Aşınma və korroziyaya qarşı müqavimət Yoxsul Əla


Vetek yarımkeçiricisi, semikkeçirici avadanlıqlar üçün sic, sidik silikon karbid (CVD silikon karbid) hissələrini təklif edir. Mexanik güc, kimyəvi müqavimət, istilik keçiricilik, yüksək temperatur davamlılığı, yüksək temperatur davamlılığı və ion ayırma müqaviməti baxımından ənənəvi silikonun ənənəvi silikondan üstün olması.


Fokuslu üzüklərimizin əsas xüsusiyyətləri daxildir:

Azaldılmış etching dərəcələri üçün yüksək sıxlıq.

Yüksək bir band qodu ilə əla izolyasiya.

Yüksək istilik keçiriciliyi və istilik genişləndirilməsi aşağı əmsalı.

Üstün mexaniki təsir müqaviməti və elastikliyi.

Yüksək sərtlik, aşınma müqaviməti və korroziya müqaviməti.

İstehsal olunurPlazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma çökməsi (pecvd)Texnikalar, SIC-nin diqqət mərkəzində olan üzüklər, yarımkeçirici istehsalda proseslərin artan tələblərinə cavab verir. Xüsusi olaraq, daha yüksək plazma gücünə və enerjiyə tab gətirmək üçün hazırlanmışdırCapitivly birləşdirilmiş plazma (CCP)sistemləri.

Vetek yarımkeçiricinin SIC fokuslanması üzüklər yarımkeçirici cihaz istehsalında müstəsna performans və etibarlılığı təmin edir. Üstün keyfiyyət və səmərəlilik üçün SIC komponentlərimizi seçin.


View as  
 
CVD SIC örtülmüş qrafit duşu başı

CVD SIC örtülmüş qrafit duşu başı

Veteksemikon-dan CVD SIC örtülmüş qrafit duşunun rəhbəri, yarımkeçirici kimyəvi buxarlanma (CVD) prosesləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı bir komponentdir. Yüksək saflıq qrafitindən və kimyəvi bir buxarlanma (CVD) silikon karbid (SIC) örtüklü (SIC) örtüyü ilə qorunan bu duş rəhbəri, bu, korroziv proses qazlarına qarşı davamlı davamlılığı və müqavimət göstərir. Əlavə məsləhətləşməni gözləyirik.
Sic kənar üzük

Sic kənar üzük

Veteksemicon yüksək saflıqlı SIC Kiçik Üzüklər, Yarımkeçirici etching avadanlıqları üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, görkəmli korroziyaya qarşı müqavimət və istilik sabitliyi, gofret məhsulunu əhəmiyyətli dərəcədə artırır
Yüksək saflıq cvd sic xammal

Yüksək saflıq cvd sic xammal

CVD tərəfindən hazırlanan yüksək saflıq CVD SIC materialı, fiziki buxar nəqliyyatı ilə silikon karbid kristal böyüməsi üçün ən yaxşı mənbə materialıdır. Vetek yarımkeçiricisi tərəfindən verilən yüksək saflıq CVD SIC Xammalının sıxlığı SI və C-tərkibli qazların kortəbii yanma ilə meydana gələn kiçik hissəciklərdən daha yüksəkdir və bu, xüsusi bir soba tələb etmir və təxminən daim buxarlanma sürətinə malikdir. Bu, son dərəcə yüksək keyfiyyətli sic vahid kristalları böyüyə bilər. Sorğunuzu gözləyirik.
Bərk sic wafer daşıyıcısı

Bərk sic wafer daşıyıcısı

Vetek Semiconductorun möhkəm SIC Daferatoru, yarımkeçirici epitaxial proseslərdə yüksək temperatur və korroziyaya davamlı mühit üçün nəzərdə tutulmuşdur və yüksək saflıq tələbləri olan hər növ vafli istehsal prosesləri üçün uyğundur. Vetek Yarımkeçirici Çində aparıcı vafli daşıyıcı təchizatçısıdır və yarımkeçirici sənayesində uzunmüddətli tərəfdaş olmağı səbirsizliklə gözləyir.
Bərk sic disk formalı duş başlığı

Bərk sic disk formalı duş başlığı

Vetek yarımkeçiricisi, Çində aparıcı yarımkeçirici avadanlıq istehsalçısıdır və möhkəm SIC disk formalı duşu başının peşəkar istehsalçısı və təchizatçısıdır. Disk formalı duş başlığı, reaksiya qazının vahid paylanmasını təmin etmək üçün CVD prosesi kimi nazik film çöküntüsündə geniş istifadə olunur və CVD sobasının əsas komponentlərindən biridir.
Sic möhürləmə hissəsi

Sic möhürləmə hissəsi

Qabaqcıl bir sic möhürləmə hissəsi kimi məhsul istehsalçısı və çində fabrik kimi. Vetek Semiconducto SIC SIC Sealing Part, yarımkeçirici işləmə və digər həddindən artıq yüksək temperatur və yüksək təzyiq proseslərində geniş istifadə olunan yüksək effektiv möhürləmə komponentidir. Əlavə məsləhətləşməni salamlayın.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Çində peşəkar Bərk silikon karbid istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Bərk silikon karbid almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept