VeTek Semiconductor şirkəti ultra təmiz Silikon Karbid Kaplama məhsullarının istehsalında ixtisaslaşıb, bu örtüklər təmizlənmiş qrafit, keramika və odadavamlı metal komponentlərə tətbiq olunmaq üçün nəzərdə tutulub.
Yüksək təmizlikli örtüklərimiz əsasən yarımkeçiricilər və elektronika sənayesində istifadə üçün nəzərdə tutulub. Onlar gofret daşıyıcıları, qəbuledicilər və qızdırıcı elementlər üçün qoruyucu təbəqə rolunu oynayır, onları MOCVD və EPI kimi proseslərdə rast gəlinən korroziyalı və reaktiv mühitlərdən qoruyur. Bu proseslər vafli emalı və cihaz istehsalının ayrılmaz hissəsidir. Bundan əlavə, örtüklərimiz yüksək vakuumun olduğu vakuum sobalarında və nümunə qızdırıcılarında tətbiqlər üçün yaxşı uyğundur.
reaktiv və oksigen mühitlərinə rast gəlinir.
VeTek Semiconductor-da biz qabaqcıl maşın sexi imkanlarımızla hərtərəfli həll təklif edirik. Bu, bizə qrafit, keramika və ya odadavamlı metallardan istifadə edərək əsas komponentləri istehsal etməyə və SiC və ya TaC keramika örtüklərini evdə tətbiq etməyə imkan verir. Biz, həmçinin, müxtəlif ehtiyacları ödəmək üçün çevikliyi təmin edərək, müştəri tərəfindən təchiz edilmiş hissələr üçün örtük xidmətləri təqdim edirik.
Silikon Karbid Kaplama məhsullarımız Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD sistemi, RTP/RTA prosesində, aşındırma prosesində, ICP/PSS aşındırma prosesində, müxtəlif LED növləri prosesində, o cümlədən mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV LED və s. s.
Edə biləcəyimiz reaktor hissələri:
Əsas Xüsusiyyətlər
● Minimal hissəciklərin əmələ gəlməsi üçün sıx β-fazalı polikristal quruluşa malik ultra yüksək təmizlik (99,99995%).
● HCl, NH₃, H₂, SiH₄ və digər aşındırıcı proses qazlarına qarşı əla kimyəvi müqavimət.
● Yüksək istilik keçiriciliyi (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) və 2700°C sublimasiya temperaturuna qədər istilik sabitliyi.
● Üstün sərtlik (2500 Vickers) və qrafit, keramika və odadavamlı metallara güclü yapışma.
● Mürəkkəb həndəsələr üçün uyğun olan uyğun örtük örtüyü, o cümlədən qapaqlar, daşıyıcılar, duş başlıqları və qızdırıcı elementlər.
● Əsas avadanlıq platformaları ilə uyğun gəlir: LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI və s.
Silikon Karbid Kaplama bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir
Məhsulun spesifikasiyası
VeTek Yarımkeçirici Silikon Karbid Kaplama Parametri
| CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri |
| Əmlak |
Tipik Dəyər |
| Kristal strukturu |
FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü |
| SiC örtük sıxlığı |
3,21 q/sm³ |
| SiC örtük Sərtlik |
2500 Vickers sərtliyi (500 q yük) |
| Taxıl Ölçüsü |
2 ~ 10μm |
| Kimyəvi Saflıq |
99.99995% |
| İstilik tutumu |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| Sublimasiya temperaturu |
2700 ℃ |
| Bükülmə Gücü |
415 MPa RT 4 nöqtəli |
| Gəncin Modulu |
430 GPa 4pt əyilmə, 1300 ℃ |
| İstilik keçiriciliyi |
300 W·m⁻¹·K⁻¹ |
| Termal Genişlənmə (CTE) |
4,5×10⁻⁶ K⁻¹ |
CVD SIC FİLMİN KRİSTAL STRUKTURU
Tətbiqlər
Yarımkeçirici proseslərin müxtəlif ehtiyaclarını ödəmək üçün VeTek hədəflənmiş Silikon Karbid Kaplama məhsulları təklif edir. Aşağıdakı cədvəl onları əsas tətbiq sahələrinə görə təsnif edir, tipik komponentləri və tətbiq olunan prosesləri sadalayır:
| Tətbiq sahəsi |
Tipik Məhsullar |
Tətbiq təsviri |
| Epitaksiya |
CVD SiC ilə örtülmüş qrafit tutucu, SiC örtüklü vafli daşıyıcı, Epi həssas
|
Silikon epitaksial proseslər üçün uyğundur, temperaturun vahid paylanması, kimyəvi müqavimət və yüksək keyfiyyətli epi təbəqələr üçün aşağı hissəciklərin əmələ gəlməsini təmin edir. |
| SiC Epitaksiyası |
CVD SiC ilə örtülmüş planetar həb, SiC ilə örtülmüş gofret qəbuledicisi, bələdçi üzük |
Filmin vahidliyini və proses məhsuldarlığını təmin etmək üçün termal sabitlik və təmiz interfeys təmin edən yüksək temperaturlu SiC epitaksial böyümə (LPE və s.) üçün. |
| GaN / LED Epitaksiyası (MOCVD) |
SiC örtüklü peyk örtüyü, Duş başlığı, peyk diski, maskalı üzük |
Aixtron, Veeco MOCVD sistemləri ilə uyğun gəlir; H₂/NH₃ korroziyasına müqavimət göstərir, hissəciklərin çirklənməsini azaldır və LED epi məhsuldarlığını yaxşılaşdırır (mavi, yaşıl, UV, dərin UV). |
| RTP / RTA Prosesi |
CVD SiC ilə örtülmüş RTP qəbuledicisi, RTP RTA daşıyıcısı, istilik elementləri
|
Sürətli termal emal və tavlama üçün nəzərdə tutulmuşdur; əla istilik keçiriciliyi və ölçü sabitliyi ilə təkrarlanan yüksək temperaturda velosiped sürməyə davam edir. |
| Oyma / ICP / PSS |
Bərk SiC Fokus Üzükləri, Etch kameraları üçün SiC örtüklü komponentlər
|
Yüksək sərtlik və plazma müqaviməti kamera hissələrini qoruyur, aşındırma profilinin vahidliyini təmin edir və halogenlə zəngin mühitlərdə xidmət müddətini uzadır. |
| Yüksək Temperaturlu İstilik və Dəstək |
CVD SiC örtüklü istilik elementi, vafli daşıyıcıları, həssaslar
|
İnduksiya/rezistiv isitmə və vakuum sobası tətbiqləri üçün; yüksək sərtlik, termal şok müqaviməti və uzun komponent ömrü təklif edir. |
Daha ətraflı proses uyğun həllər üçün müraciət edinSilikon epitaksiyasıvəSilikon karbid epitaksisiəlaqəli tətbiq səhifələri.
Çində peşəkar Silikon Karbid Kaplama istehsalçısı və təchizatçısı olaraq öz fabrikimiz var. İstər bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək üçün fərdi xidmətlərə ehtiyacınız olsun, istərsə də Çin istehsalı olan qabaqcıl və davamlı Silikon Karbid Kaplama almaq istəsəniz,bizə mesaj buraxın.
