Silikon Karbid Kaplama

VeTek Semiconductor ultra təmiz Silikon Karbid Kaplama məhsullarının istehsalında ixtisaslaşır, bu örtüklər təmizlənmiş qrafit, keramika və odadavamlı metal komponentlərə tətbiq olunmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur.

Yüksək təmizlikli örtüklərimiz əsasən yarımkeçiricilər və elektronika sənayesində istifadə üçün nəzərdə tutulub. Onlar vafli daşıyıcıları, qəbulediciləri və qızdırıcı elementləri MOCVD və EPI kimi proseslərdə rast gəlinən aşındırıcı və reaktiv mühitlərdən qoruyan qoruyucu təbəqə rolunu oynayır. Bu proseslər vafli emalı və cihaz istehsalının ayrılmaz hissəsidir. Bundan əlavə, örtüklərimiz yüksək vakuum, reaktiv və oksigen mühitlərinin rast gəlindiyi vakuum sobalarında və nümunənin qızdırılmasında tətbiqlər üçün çox uyğundur.

VeTek Semiconductor-da biz qabaqcıl maşın sexi imkanlarımızla hərtərəfli həll təklif edirik. Bu, bizə qrafit, keramika və ya odadavamlı metallardan istifadə edərək əsas komponentləri istehsal etməyə və SiC və ya TaC keramika örtüklərini evdə tətbiq etməyə imkan verir. Biz, həmçinin, müxtəlif ehtiyacları ödəmək üçün çevikliyi təmin edərək, müştəri tərəfindən təchiz edilmiş hissələr üçün örtük xidmətləri təqdim edirik.

Silikon Karbid Kaplama məhsullarımız Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD sistemi, RTP/RTA prosesində, aşındırma prosesində, ICP/PSS aşındırma prosesində, mavi və yaşıl LED, UV LED və dərin UV daxil olmaqla müxtəlif LED növləri prosesində geniş istifadə olunur. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI və digər avadanlıqlara uyğunlaşdırılmış LED və s. s.

Biz edə biləcəyimiz reaktor hissələri:

Silikon Karbid Kaplama bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Yarımkeçirici Silikon Karbid Kaplama Parametri

CVD SiC örtüyünün əsas fiziki xassələri
Əmlak	Tipik Dəyər
Kristal strukturu	FCC β faza polikristal, əsasən (111) yönümlü
SiC örtük sıxlığı	3,21 q/sm³
SiC örtüyüSərtlik	2500 Vickers sərtliyi (500 q yük)
Taxıl Ölçüsü	2 ~ 10μm
Kimyəvi Saflıq	99.99995%
İstilik tutumu	640 J·kq^-1· K^-1
Sublimasiya temperaturu	2700 ℃
Bükülmə Gücü	415 MPa RT 4 nöqtəli
Gəncin Modulu	430 Gpa 4pt əyilmə, 1300 ℃
İstilik keçiriciliyi	300W·m^-1· K^-1
Termal Genişlənmə (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FİLMİN KRİSTAL STRUKTURU

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silisium karbidlə örtülmüş Epi susseptor SiC örtüklü vafli daşıyıcı MOCVD üçün SiC örtüklü peyk örtüyü CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC örtüklü istilik elementi Aixtron Peyk vafli daşıyıcısı SiC Coating Epi qəbuledicisi SiC örtüklü yarım ay qrafit hissələri

View as

Sic örtülmüş epitaxial reaktor palatası

Veteksemicon SIC örtülmüş Epitaxial Reaktor Palatası, yarımkeçirici epitaxial böyümə prosesləri tələb edən əsas komponentdir. Qabaqcıl kimyəvi buxarlanma (CVD) istifadə edərək, bu məhsul yüksək səviyyədə temperaturlu sabitlik və korroziya müqaviməti ilə nəticələnən yüksək güclü bir qrafit substratında sıx, yüksək saflıq sic örtük yaradır. Bu, reaktiv qazların yüksək temperaturlu proses mühitində korroziv təsirlərinə təsirli şəkildə müqavimət göstərən, hissəciklərin çirklənməsində əhəmiyyətli dərəcədə böhranı verir, ardıcıl epitaksial maddi keyfiyyət və yüksək gəlirliliyi təmin edir və reaksiya otağının və ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə artırır. SIC və Gan kimi geniş bandgap yarımkeçiricilərin istehsal səmərəliliyinin və etibarlılığının yaxşılaşdırılması üçün əsas seçimdir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

EPI qəbuledici hissələri

Silikon karbid epitaksial artımının əsas prosesində Veteksemicon, süzcə performansının epitaksial qatının keyfiyyəti və istehsal səmərəliliyini birbaşa müəyyənləşdirdiyini başa düşür. Xüsusi olaraq SIC sahəsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək təmizlik EPI suseptorlarımız, xüsusi bir qrafit substratından və sıx bir CVD sic örtükdən istifadə edin. Üstün istilik sabitliyi, əla korroziya müqaviməti və olduqca aşağı hissəciklər nəsil dərəcəsi ilə, hətta sərt yüksək temperaturlu proses mühitində də müştərilər üçün misilsiz qalınlığı və dopinq vahidliyini təmin edirlər. Veteksemikon seçmək, inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün etibarlılıq və performansın təməl daşı seçmək deməkdir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Asm üçün SIC örtülmüş qrafit susepti

Veteksemik SIC örtüklü qrafit Suseptoru ASM, yarımkeçirici epitaxial proseslərdə əsas bir daşıyıcı komponentidir. Bu məhsul, yüksək performans və yüksək temperatur və aşındırıcı proses mühitində ultra uzun ömrü təmin etmək üçün mülkiyyət pirolitik silikon karbid örtük örtükləri və dəqiq emal proseslərimizdən istifadə edir. Substrat saflığı, istilik sabitliyi və ardıcıllıqla epitaxial proseslərin ciddi tələblərini dərindən başa düşürük və ümumi avadanlıq performansını artıran sabit, etibarlı həllər olan müştərilərə təqdim etmək üçün sadiqik.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Silikon karbidin fokusu üzüyü

Veteksemicon Focus Ring, xüsusilə SIC tətbiqi tətbiqləri, xüsusilə SIC tətbiqi üçün xüsusi olaraq tələb olunan yarımkeçirici üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Elektrostatik Chuck (ESC) ətrafında quraşdırılmış, o, vafleyi ilə yaxınlıqda, əsas funksiyası, bütün vafli səthi boyunca vahid və diqqət mərkəzində olan plazma hərəkətini təmin edən reaksiya otağında elektromaqnit sahəsindəki paylamasını optimallaşdırmaqdır. Yüksək performanslı bir mərkəz üzüyü əhəmiyyətli dərəcədə etch dərəcəsi vahidliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır və kənar effektləri azaldır, məhsul gəlirini və istehsal səmərəliliyini artırır.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

LED etching üçün silikon karbid daşıyıcısı

Veteksemicon Silikon Carbide Carbide Carabide Carching Carbide Carriging, xüsusi olaraq LED çip istehsalı üçün hazırlanmış, incə bir şəkildə istifadə edilən bir əsasdır. Dəqiqləşdirilmiş yüksək saflı silikon karbiddən hazırlanmışdır, güclü turşular, bazalardan və plazmadan korroziyaya təsirli olan müstəsna kimyəvi müqavimət və yüksək temperaturlu ölçülü sabitlik təklif edir. Onun aşağı çirklənmə xüsusiyyətləri, LED epitaxial waferlər üçün yüksək məhsuldarlığı təmin edir, davamlılığı, ənənəvi materiallardan çox uzaqdır, müştərilərə ümumi əməliyyat xərclərini azaltmağa kömək edir, bu da işləmə prosesinin səmərəliliyini və ardıcıllığını yaxşılaşdırmaq üçün etibarlı seçim halına gətirməyə kömək edir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Bərk sic fokus üzüyü

Veteksemi Solid SIC Focus Ring, elektrik sahəsini və hava axını vaffin kənarında dəqiq nəzarət etməklə ayırma vahidliyini və emal sabitliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır. Silikon, dielektriklər və mürəkkəb yarımkeçirici materiallar üçün dəqiq ayırma proseslərində geniş istifadə olunur və kütləvi istehsal məhsuldarlığı və uzunmüddətli etibarlı avadanlıq əməliyyatının təmin edilməsi üçün əsas komponentdir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Çində peşəkar Silikon Karbid Kaplama istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Silikon Karbid Kaplama almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.

QR kodu

Bizim haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon
+86-15988690905
Faks
+86-579-87223657
E-poçt
anny@veteksemi.com
Ünvan
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çini

Veb Menyu

Məhsul Axtarışı

Dil

Menyudan çıxın

Silikon Karbid Kaplama

Biz edə biləcəyimiz reaktor hissələri:

Silikon Karbid Kaplama bir sıra unikal üstünlüklərə malikdir:

VeTek Yarımkeçirici Silikon Karbid Kaplama Parametri

CVD SIC FİLMİN KRİSTAL STRUKTURU

Sic örtülmüş epitaxial reaktor palatası

EPI qəbuledici hissələri

Asm üçün SIC örtülmüş qrafit susepti

Silikon karbidin fokusu üzüyü

LED etching üçün silikon karbid daşıyıcısı

Bərk sic fokus üzüyü

Sorğu göndərin

QR kodu

Bizim haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon

Faks

E-poçt

Ünvan