Silikon Karbid Kaplama

Veteksemik SIC örtüklü qrafit Suseptoru ASM, yarımkeçirici epitaxial proseslərdə əsas bir daşıyıcı komponentidir. Bu məhsul, yüksək performans və yüksək temperatur və aşındırıcı proses mühitində ultra uzun ömrü təmin etmək üçün mülkiyyət pirolitik silikon karbid örtük örtükləri və dəqiq emal proseslərimizdən istifadə edir. Substrat saflığı, istilik sabitliyi və ardıcıllıqla epitaxial proseslərin ciddi tələblərini dərindən başa düşürük və ümumi avadanlıq performansını artıran sabit, etibarlı həllər olan müştərilərə təqdim etmək üçün sadiqik.

Veteksemicon Focus Ring, xüsusilə SIC tətbiqi tətbiqləri, xüsusilə SIC tətbiqi üçün xüsusi olaraq tələb olunan yarımkeçirici üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Elektrostatik Chuck (ESC) ətrafında quraşdırılmış, o, vafleyi ilə yaxınlıqda, əsas funksiyası, bütün vafli səthi boyunca vahid və diqqət mərkəzində olan plazma hərəkətini təmin edən reaksiya otağında elektromaqnit sahəsindəki paylamasını optimallaşdırmaqdır. Yüksək performanslı bir mərkəz üzüyü əhəmiyyətli dərəcədə etch dərəcəsi vahidliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır və kənar effektləri azaldır, məhsul gəlirini və istehsal səmərəliliyini artırır.

Veteksemicon Silikon Carbide Carbide Carabide Carching Carbide Carriging, xüsusi olaraq LED çip istehsalı üçün hazırlanmış, incə bir şəkildə istifadə edilən bir əsasdır. Dəqiqləşdirilmiş yüksək saflı silikon karbiddən hazırlanmışdır, güclü turşular, bazalardan və plazmadan korroziyaya təsirli olan müstəsna kimyəvi müqavimət və yüksək temperaturlu ölçülü sabitlik təklif edir. Onun aşağı çirklənmə xüsusiyyətləri, LED epitaxial waferlər üçün yüksək məhsuldarlığı təmin edir, davamlılığı, ənənəvi materiallardan çox uzaqdır, müştərilərə ümumi əməliyyat xərclərini azaltmağa kömək edir, bu da işləmə prosesinin səmərəliliyini və ardıcıllığını yaxşılaşdırmaq üçün etibarlı seçim halına gətirməyə kömək edir.

Veteksemi Solid SIC Focus Ring, elektrik sahəsini və hava axını vaffin kənarında dəqiq nəzarət etməklə ayırma vahidliyini və emal sabitliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır. Silikon, dielektriklər və mürəkkəb yarımkeçirici materiallar üçün dəqiq ayırma proseslərində geniş istifadə olunur və kütləvi istehsal məhsuldarlığı və uzunmüddətli etibarlı avadanlıq əməliyyatının təmin edilməsi üçün əsas komponentdir.

Veteksemikon-dan CVD SIC örtülmüş qrafit duşunun rəhbəri, yarımkeçirici kimyəvi buxarlanma (CVD) prosesləri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək performanslı bir komponentdir. Yüksək saflıq qrafitindən və kimyəvi bir buxarlanma (CVD) silikon karbid (SIC) örtüklü (SIC) örtüyü ilə qorunan bu duş rəhbəri, bu, korroziv proses qazlarına qarşı davamlı davamlılığı və müqavimət göstərir. Əlavə məsləhətləşməni gözləyirik.

Veteksemicon tərəfindən Silikon Karbid Coatch, veteksemicon tərəfindən veteksemik, MOCVD, LPCVD və yüksək temperaturlu ilahi kimi inkişaf etmiş yarımkeçirici proseslərdə dəqiqlik və performans üçün hazırlanmışdır. Vahid CVD SIC örtüyü ilə bu gofret sahibi müstəsna istilik keçiriciliyini, kimyəvi inaktistlik və mexaniki gücünü təmin edir - çirklənmə sərbəst, yüksək məhsuldar emal emalı üçün vacibdir.