Materiallar və Dizayn

Uyğun substratın və örtük birləşməsinin seçilməsi komponentlərin vaxtından əvvəl nasazlığının qarşısını almaq, hissəciklərin çirklənməsini azaltmaq və vafli məhsuldarlığını artırmaq üçün açardır. Biz müştərinin xüsusi proses pəncərəsi (işləmə temperaturu, reaktiv qaz kimyası, eniş dərəcələri) ətrafında uyğunlaşdırılmış material və struktur dizayn həlləri təqdim edirik.

Əsas dizayn imkanlarımız:

Ciddi CTE Stress Uyğunluğu:Sürətli istilik dövriyyəsi (>100 °C/dəq) üçün biz yüksək təmizlikli qrafit substratların və CVD örtüklərinin CTE temperatur əyrilərini dəqiq şəkildə uyğunlaşdırırıq, örtüyün təbəqələşməsi və mikro-krekinq riskini əsaslı şəkildə azaldır.
Proses-Ssenari üzrə Xüsusi Kaplama Seçimi:Si/SiC epitaksisi (Epi), MOCVD və plazma aşındırma mühitləri üçün CVD SiC örtüyü; Daha yüksək temperatur və güclü korroziyalı şərait üçün CVD TaC örtüyü (məsələn, SiC monokristallı PVT artımı).
Nəzarət oluna bilən müqavimət və istilik keçiriciliyinin optimallaşdırılması:RF, ESC elektrostatik çubuqlar və ya İstilik Zonalarının xüsusi elektrik və istilik sahəsi tələblərinə cavab vermək üçün substratın və örtüyün toplu müqavimətinə və istilik keçiriciliyinə dəqiq nəzarət.
Çirklənmə mənbəyinə nəzarət və CO2 azaldılması:Yüksək təmizlikli CVD çöküntü təbəqələri məsaməli qrafiti sıx şəkildə bağlayır, hissəciklərin tökülməsini, ultra-iz metal çirklərinin diffuziyasını və yüksək temperaturda qaz çıxarma riskini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.

Tipik örtük seçiminin müqayisəsi (bir baxışda bələdçi)

Kaplama	Tipik Tətbiq İstiqamətləri	Əsas üstünlüklər
CVD SiC	Si/SiC epitaksisi (Epi), MOCVD, qismən plazma aşındırma	Yüksək təmizlik, yaxşı termal sabitlik, kimyəvi korroziyaya davamlılıq, yüksək ümumi xərc-performans
CVD TaC	Yüksək temperaturlu SiC monokristal böyüməsi (PVT), həddindən artıq yüksək temperaturda yükdaşıyan komponentlər	Daha yüksək temperatur dərəcəsi (>1600 °C), güclü korroziyaya davamlılıq, əla oksidləşmə müqaviməti

Real Case və Müştəri Faydaları (Təcrübə):

Aparıcı SiC epitaksisi (Epi) istehsalçısı:Orijinal komponent uyğun olmayan CVD TaC örtüyündən istifadə etdi, nəticədə həddindən artıq interfasial gərginlik və yüksək temperaturda tez-tez mikro çatlar əmələ gəlir. Termodinamik simulyasiyaları yenidən həyata keçirdik və a-ya keçdikCTE uyğun xüsusi yüksək təmizlikli qrafit substrat + bufer təbəqəsi + CVD SiC örtüyühəll. Nəticə: komponentin orta ömrü 200 saatdan 850 saata qədər artdı; hər alət üçün illik dəyişdirmə tezliyi 40-dan 9 dəfəyə endirildi; hərtərəfli avadanlıqların istismarı və təmiri xərclərinə qənaət ildə 650.000 RMB-ni keçdi.

GDMS purity analysis report for TaC coating

GDMS purity analysis report for SiC coating

TaC və SiC örtükləri üçün GDMS təmizlik təhlili hesabatı

Tez-tez verilən suallar

1. S: CVD SiC örtüyü ilə CVD TaC örtüyü arasında necə seçim etməliyəm?

▼

A:Prosesinizin temperaturuna və qaz fazasının korroziya intensivliyinə baxın. Əgər proses temperaturu 1000 °C-dən aşağıdırsa və əsasən Cl₂/F₂ əsaslı aşındırma və ya adi epitaksiyanı əhatə edirsə, seçinCVD SiCən yaxşı qiymət-performans üçün; proses temperaturu 1200 °C-dən çox olarsa və güclü korroziyalı atmosferlər (məsələn, SiC PVT monokristal artımı) varsa, tövsiyə edirikCVD TaC, üstün temperatur və korroziyaya davamlılıq təklif edir. Xüsusi proses parametrlərinizə əsasən pulsuz seçim tövsiyəsi hesabatını təqdim edə bilərik.

2. S: Siz tək hissəli / kiçik partiyalı prototipləşdirməni dəstəkləyirsinizmi? Qəbul vaxtı nədir?

▼

A:Bəli! Əks mühəndislik prototipləri üçün,MOQ 1 ədəddir. Adi sadə hissələr üçün nümunənin qəbulundan tutmuş xəritələnmiş hissənin çatdırılmasına qədər ən sürətli çatdırılma müddəti təqribəndir.10-15 iş günü; mürəkkəb örtük proseslərini əhatə edən hissələr üçün təxminən20-25 iş günü. Sürətli qiymətləndirmə üçün mühəndislərimizlə əlaqə saxlayın.

3. S: İstifadə zamanı qrafit hissələrində CVD örtüyünün delaminasiyasına nə səbəb olur? Həll etmək olarmı?

▼

A:Delaminasiya hallarının 90% -i qrafit substratın istilik genişlənmə əmsalı (CTE) və örtük arasında uyğunsuzluqdan qaynaqlanır və bu, sürətli qızdırma/soyutma zamanı yorğun soyulmaya səbəb olur. Bizim həllimiz: əvvəlcə orijinal hissənizin CTE əyrisini dəqiq ölçün, sonra substratın sıxlığını və çökmə temperaturu qradiyentini xüsusi olaraq tənzimləyin ki, iki CTE yüksək səviyyədə uyğun olsun. Bağ gücü daha çox artırıla bilər1,5 dəfəsənayenin ənənəvi səviyyəsi.

4. S: Məhsullar üçün CoA (Təhlil Sertifikatı) təmin edə bilərsinizmi? O, hansı məlumatları ehtiva edir?

▼

A:Göndərilən hər bir məhsul standart olaraq a ilə gəlirunikal seriya nömrəsi + tam CoA hesabatı. Hesabata daxildir: kritik ölçü CMM yoxlama məlumatları, çox nöqtəli örtük qalınlığının paylanma xəritəsi, səth pürüzlülük (Ra) dəyərləri və material təmizliyi (GDMS) təhlili nəticələri.

Eksklüziv Xidmətinizi İndi Başlayın

Dərhal Bizimlə Əlaqə Saxlayın Sitat tələb edin

Telefon: +86-18069220752(Tina);+86-15988690905(Sera)

E-poçt: anny@veteksemi.com

QR kodu

Haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon
+86-18069220752
+86-15988690905
Faks
+86-579-87223657
E-poçt
anny@veteksemi.com
Ünvan
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çin

Veb Menyu

Məhsul Axtarışı

Dil

Menyudan çıxın

Materiallar və Dizayn

Əsas dizayn imkanlarımız:

Tipik örtük seçiminin müqayisəsi (bir baxışda bələdçi)

Real Case və Müştəri Faydaları (Təcrübə):

Tez-tez verilən suallar

1. S: CVD SiC örtüyü ilə CVD TaC örtüyü arasında necə seçim etməliyəm?

2. S: Siz tək hissəli / kiçik partiyalı prototipləşdirməni dəstəkləyirsinizmi? Qəbul vaxtı nədir?

3. S: İstifadə zamanı qrafit hissələrində CVD örtüyünün delaminasiyasına nə səbəb olur? Həll etmək olarmı?

4. S: Məhsullar üçün CoA (Təhlil Sertifikatı) təmin edə bilərsinizmi? O, hansı məlumatları ehtiva edir?

Eksklüziv Xidmətinizi İndi Başlayın

Bizimlə əlaqə saxlayın

QR kodu

Haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon

Faks

E-poçt

Ünvan