Texnologiya və həllər

Örtülmüş hissələrin hər bir ömür boyu qovşaqda tam olaraq sökülməsi lazım deyil. Bu məqalə CVD SiC ilə örtülmüş qrafit hissələrinin nə vaxt təmizləmə və regenerasiya üçün uyğun olduğunu, onların sonradan necə qəbul ediləcəyini və tam həyat dövrü düşüncəsi ilə əvəzlənmə kadansını necə idarə edəcəyini izah edir - bu, məhsuldarlığı və hər bir qaçış üçün maya dəyərini daha etibarlı şəkildə tarazlaşdırmağa kömək edir. Xəttdəki suseptorların, əvvəlcədən qızdırılan halqaların və oxşar hissələrin real dəyəri təkcə satınalma qiyməti deyil, həm də tezliyin dəyişdirilməsi və uğursuzluq zamanı hissəcikləridir.

Material seçildikdən sonra tez-tez alətin performansına qərar verən şey qalınlığın vahidliyi, hissəcik səviyyəsi və təmizlik kimi ölçülə bilən ölçülərdir. Bu məqalə qəbulda və istifadədə CVD SiC örtüyünün əsas keyfiyyət ölçülərini təşkil edir, "spesifikasiya uyğunluğu"ndan "hesabat yoxlanıla bilər və risk gözlənilə bilər"ə keçməyə kömək edir.

Bu məqalə CVD SiC örtüyünün, TaC örtüyünün və Bərk SiC-nin temperatur, atmosfer və proses növünə görə tətbiq sərhədlərini və tipik ssenarilərini təsvir edir, epitaksiya və aşındırma mühəndislərinə seçim zamanı proses pəncərələrini tez bir zamanda uyğunlaşdırmağa və material-şəziyyət uyğunsuzluğundan yaranan hissəcik və ömür boyu risklərdən qaçmağa kömək edir.

Aixtron G10, Veeco, ASM susseptorları və əvvəlcədən isitmə halqaları üçün uyğunluq və dəyişdirmə həlləri. 1:1 çertyoj əsaslı fərdiləşdirməni, standart hissələrin sürətli çatdırılmasını, xüsusi hissələr üçün 3-6 həftə, yoxlama hesabatları və nümunə qiymətləndirilməsini dəstəkləyir.