Məhsullar

PecVD üçün Veteksemicon qrafit gəmisi yüksək saflıq qrafitindən dəqiq işlənmiş və xüsusi olaraq plazma inkişaf etmiş kimyəvi buxar çöküntü prosesləri üçün hazırlanmışdır. Yarımkeçirici termal sahə materialları və dəqiq işləmə qabiliyyətlərini dərindən dərk etməkdən istifadə edərək, müstəsna istilik sabitliyi, əla keçiricilik və uzun bir xidmət həyatı olan qrafit gəmiləri təklif edirik. Bu gəmilər, tələb olunan PECVD proses mühitində, proses məhsuldarlığını və məhsuldarlığını yaxşılaşdıran hər bir gofretdə yüksək vahid nazik film çökməsini təmin etmək üçün hazırlanmışdır.

Veteksemikon tərəfindən CVD Tac örtülmüş qrafit üzüyü yarımkeçirici vaffer emalının həddindən artıq tələblərinə cavab vermək üçün hazırlanmışdır. Kimyəvi buxarlanma (CVD) texnologiyası, sıx və vahid bir tantalum karbid (TAC) örtüyü, yüksək saflıq qrafit substratlarına, müstəsna sərtliyə, aşınma müqavimətinə və kimyəvi inertliliyə nail olmaq üçün istifadə olunur. Yarımkeçirici istehsalında, CVD Tac örtüklü qrafit üzüyü mocvd, etching, diffuziya və epitaksial böyümə otaqlarında geniş istifadə olunur, vafli daşıyıcılar, susuzluq və süzgəclər və qoruyucu məclislər üçün əsas struktur və ya möhürləmə komponenti kimi xidmət edir. Əlavə məsləhətləşməni gözləyirik.

Vetek tərəfindən istehsal olunan məsaməli TAC örtüklü qrafit üzüyü yüngül məsaməli bir qrafit substratından istifadə edir və yüksək temperatur, aşındırıcı qazlara və plazma eroziyasına əla müqavimət göstərən yüksək saflıq tantal örtüklü bir karbid örtüyü ilə örtülmüşdür

Veteksemik-dən silikon karbid cantilever avar, yarımkeçirici istehsalda qabaqcıl gofret emalı üçün mühəndisdir. Yüksək saflıqlı SIC-dən hazırlanmış, üstün istilik sabitliyi, üstün mexaniki güc və yüksək temperatur və aşındırıcı mühitlərə əla müqavimət göstərir. Bu xüsusiyyətlər dəqiq vafli işləmə, genişləndirilmiş xidmət həyatını və mocvd, epitaxy və yayılma kimi proseslərdə etibarlı performans təmin edir. Consult-a xoş gəlmisiniz.

Veteksemik SIC Seramik Vakuum Chuck, yarımkeçirici vaffer emalında müstəsna dəqiqlik və etibarlılıq təmin etmək üçün mühəndisdir. Yüksək saflıq silikon karbidindən hazırlanan, əla istilik keçiriciliyini, kimyəvi müqavimət və üstün mexaniki gücü təmin edir, bu kimi tələb olunan, çöküntü və litoqrafiya kimi tələb olunan tətbiqlər üçün ideal hala gətirir. Onun ultra düz bir səthi sabit vaffer dəstəyinə zəmanət verir, qüsurları minimuma endirir və proses məhsuldarlığını artırır. Bu vakuum Chuck, yüksək performanslı vafli işləmə üçün etibarlı seçimdir.

Veteksemi Solid SIC Focus Ring, elektrik sahəsini və hava axını vaffin kənarında dəqiq nəzarət etməklə ayırma vahidliyini və emal sabitliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır. Silikon, dielektriklər və mürəkkəb yarımkeçirici materiallar üçün dəqiq ayırma proseslərində geniş istifadə olunur və kütləvi istehsal məhsuldarlığı və uzunmüddətli etibarlı avadanlıq əməliyyatının təmin edilməsi üçün əsas komponentdir.