Silikon Karbid Kaplama

Veteksemicon SIC örtülmüş Epitaxial Reaktor Palatası, yarımkeçirici epitaxial böyümə prosesləri tələb edən əsas komponentdir. Qabaqcıl kimyəvi buxarlanma (CVD) istifadə edərək, bu məhsul yüksək səviyyədə temperaturlu sabitlik və korroziya müqaviməti ilə nəticələnən yüksək güclü bir qrafit substratında sıx, yüksək saflıq sic örtük yaradır. Bu, reaktiv qazların yüksək temperaturlu proses mühitində korroziv təsirlərinə təsirli şəkildə müqavimət göstərən, hissəciklərin çirklənməsində əhəmiyyətli dərəcədə böhranı verir, ardıcıl epitaksial maddi keyfiyyət və yüksək gəlirliliyi təmin edir və reaksiya otağının və ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə artırır. SIC və Gan kimi geniş bandgap yarımkeçiricilərin istehsal səmərəliliyinin və etibarlılığının yaxşılaşdırılması üçün əsas seçimdir.

Silikon karbid epitaksial artımının əsas prosesində Veteksemicon, süzcə performansının epitaksial qatının keyfiyyəti və istehsal səmərəliliyini birbaşa müəyyənləşdirdiyini başa düşür. Xüsusi olaraq SIC sahəsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək təmizlik EPI suseptorlarımız, xüsusi bir qrafit substratından və sıx bir CVD sic örtükdən istifadə edin. Üstün istilik sabitliyi, əla korroziya müqaviməti və olduqca aşağı hissəciklər nəsil dərəcəsi ilə, hətta sərt yüksək temperaturlu proses mühitində də müştərilər üçün misilsiz qalınlığı və dopinq vahidliyini təmin edirlər. Veteksemikon seçmək, inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün etibarlılıq və performansın təməl daşı seçmək deməkdir.

ASM üçün Veteksemicon SiC ilə örtülmüş qrafit sensoru yarımkeçirici epitaksial proseslərdə əsas daşıyıcı komponentdir. Bu məhsul yüksək temperatur və korroziyalı proses mühitlərində üstün performans və ultra uzun ömür təmin etmək üçün bizim xüsusi pirolitik silisium karbid örtük texnologiyamızdan və dəqiq emal proseslərindən istifadə edir. Biz epitaksial proseslərin substratın təmizliyi, istilik sabitliyi və tutarlılığı ilə bağlı ciddi tələblərini dərindən başa düşürük və müştərilərə avadanlığın ümumi performansını artıran sabit, etibarlı həllər təqdim etməyə sadiqik.

Veteksemicon Focus Ring, xüsusilə SIC tətbiqi tətbiqləri, xüsusilə SIC tətbiqi üçün xüsusi olaraq tələb olunan yarımkeçirici üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Elektrostatik Chuck (ESC) ətrafında quraşdırılmış, o, vafleyi ilə yaxınlıqda, əsas funksiyası, bütün vafli səthi boyunca vahid və diqqət mərkəzində olan plazma hərəkətini təmin edən reaksiya otağında elektromaqnit sahəsindəki paylamasını optimallaşdırmaqdır. Yüksək performanslı bir mərkəz üzüyü əhəmiyyətli dərəcədə etch dərəcəsi vahidliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır və kənar effektləri azaldır, məhsul gəlirini və istehsal səmərəliliyini artırır.

Veteksemicon Silikon Carbide Carbide Carabide Carching Carbide Carriging, xüsusi olaraq LED çip istehsalı üçün hazırlanmış, incə bir şəkildə istifadə edilən bir əsasdır. Dəqiqləşdirilmiş yüksək saflı silikon karbiddən hazırlanmışdır, güclü turşular, bazalardan və plazmadan korroziyaya təsirli olan müstəsna kimyəvi müqavimət və yüksək temperaturlu ölçülü sabitlik təklif edir. Onun aşağı çirklənmə xüsusiyyətləri, LED epitaxial waferlər üçün yüksək məhsuldarlığı təmin edir, davamlılığı, ənənəvi materiallardan çox uzaqdır, müştərilərə ümumi əməliyyat xərclərini azaltmağa kömək edir, bu da işləmə prosesinin səmərəliliyini və ardıcıllığını yaxşılaşdırmaq üçün etibarlı seçim halına gətirməyə kömək edir.

Veteksemi Solid SIC Focus Ring, elektrik sahəsini və hava axını vaffin kənarında dəqiq nəzarət etməklə ayırma vahidliyini və emal sabitliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır. Silikon, dielektriklər və mürəkkəb yarımkeçirici materiallar üçün dəqiq ayırma proseslərində geniş istifadə olunur və kütləvi istehsal məhsuldarlığı və uzunmüddətli etibarlı avadanlıq əməliyyatının təmin edilməsi üçün əsas komponentdir.