Silikon Karbid Kaplama

Veteksemiconun CVD SIC SIC örtükləri Suseptor, Yarımkeçirici epitaxial proseslər üçün ən qabaqcıl bir həlldir, ultra yüksək saflıq (≤100ppb, ICP-E10 sertifikatlı) və çirklənmə davamlı böyüməsi üçün müstəsna istilik / kimyəvi sabitlik və silikon əsaslı epi-təbəqələr təklif edir. Precision CVD texnologiyası ilə mühəndis, 6 "/ 8" / 12 "Wafters, minimal istilik stresini təmin edir və 1600 ° C-ə qədər həddindən artıq temperaturu təmin edir.

SIC örtülmüş planetary suseptorumuz yarımkeçirici istehsalın yüksək temperatur prosesində əsas komponentdir. Dizayn, istilik idarəetmə performansının, kimyəvi sabitlik və mexaniki gücün hərtərəfli optimallaşdırılmasına nail olmaq üçün silikon karbid örtüyü ilə qrafit substratını birləşdirir.

Epitaxy üçün SIC örtülmüş möhürləmə ringimiz, SIC-nin ekstremal ekoloji müqavimət göstərən və yarımkeçirici epitaxial avadanlıq (məsələn, yarımkeçirici epitaksial avadanlıqlar üçün hazırlanmış kimyəvi buxar depozit (CVD) ilə örtülmüş, və ya karbon karbonlu komponentlərdir.

Veteksemicon EPI Graphite Suseptor yüksək performanslı silikon karbid (SIC), Gallium Nitrite (Gan) və digər üçüncü nəsil yarımkeçirici epitaksial prosesi üçün hazırlanmışdır və kütləvi istehsalda yüksək dəqiqlikli epitaxial vərəq üçün hazırlanmışdır.

Goodse Hazırlıq Etching Prosesində istifadə olunan vacib bir komponent, plazma sıxlığını qorumaq və gofrek yarımkeçiricisi, silikon karbid, boron karbid və digər keramika materialları kimi müxtəlif materiallar olan plazma yapışdırma fokus halqasını təmin edir.

Vetek Yarımkeçirici, Çində SIC örtülmüş E-Chucks'ın aparıcı istehsalçısı və tədarükçüsüdir. Sic Coated E-Chuck, əla performans və uzun xidmət həyatı ilə, yarımkeçirici istehsalınıza hərtərəfli dəstəyi təmin etmək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Güclü emal qabiliyyətimiz sizə istədiyiniz SIC keramik susepseptoru sizə təqdim etməyə imkan verir. Soruşunuzu gözləyirik.