Silikon Karbid Kaplama

Veteksemicon yüksək saflıqlı SIC Kiçik Üzüklər, Yarımkeçirici etching avadanlıqları üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, görkəmli korroziyaya qarşı müqavimət və istilik sabitliyi, gofret məhsulunu əhəmiyyətli dərəcədə artırır

Bir aparıcı Çin istehsalçısı və silikon karbid örtüklü məhsullar, Veteksemikanın SIC örtüklü vafli daşıyıcısı kimi, əla yüksək temperatur sabitliyi, görkəmli korroziyaya davamlı və yüksək istilik keçiriciliyi ilə işsiz bir əsas rol oynayır.

Veteksemiconun CVD SIC SIC örtükləri Suseptor, Yarımkeçirici epitaxial proseslər üçün ən qabaqcıl bir həlldir, ultra yüksək saflıq (≤100ppb, ICP-E10 sertifikatlı) və çirklənmə davamlı böyüməsi üçün müstəsna istilik / kimyəvi sabitlik və silikon əsaslı epi-təbəqələr təklif edir. Precision CVD texnologiyası ilə mühəndis, 6 "/ 8" / 12 "Wafters, minimal istilik stresini təmin edir və 1600 ° C-ə qədər həddindən artıq temperaturu təmin edir.

SIC örtülmüş planetary suseptorumuz yarımkeçirici istehsalın yüksək temperatur prosesində əsas komponentdir. Dizayn, istilik idarəetmə performansının, kimyəvi sabitlik və mexaniki gücün hərtərəfli optimallaşdırılmasına nail olmaq üçün silikon karbid örtüyü ilə qrafit substratını birləşdirir.

Epitaxy üçün SIC örtülmüş möhürləmə ringimiz, SIC-nin ekstremal ekoloji müqavimət göstərən və yarımkeçirici epitaxial avadanlıq (məsələn, yarımkeçirici epitaksial avadanlıqlar üçün hazırlanmış kimyəvi buxar depozit (CVD) ilə örtülmüş, və ya karbon karbonlu komponentlərdir.

Veteksemicon EPI Graphite Suseptor yüksək performanslı silikon karbid (SIC), Gallium Nitrite (Gan) və digər üçüncü nəsil yarımkeçirici epitaksial prosesi üçün hazırlanmışdır və kütləvi istehsalda yüksək dəqiqlikli epitaxial vərəq üçün hazırlanmışdır.