CVD SIC haqqında nə qədər bilirsiniz? - Vetek yarımkeçiricisi

CvdSIC(Kimyəvi buxarlanma çökmə silikon karbid) kimyəvi buxar çöküntüsü ilə istehsal olunan yüksək saflıq silikon karbidli bir materialdır. Əsasən müxtəlif komponentlər və yarımkeçirici emal avadanlıqlarında örtüklər üçün istifadə olunur. CvdSic materialMükəmməl istilik sabitliyi, yüksək sərtlik, aşağı istilik genişləndirmə əmsalı və əla kimyəvi korroziya müqavimətinə malikdir, ekstremal proses şəraitində istifadə üçün ideal bir material halına gətirir.

CvdSIC materialı, yüksək temperatur, yüksək aşındırıcı mühit və yarımkeçirici istehsal prosesində yüksək mexaniki streslə əlaqəli komponentlərdə geniş istifadə olunur.

CvdSICKomponentlərəsasən aşağıdakı məhsullar daxil olmaqla

● Cvdsic örtük

Substratın yüksək temperatur, kimyəvi korroziya və mexaniki geyimi ilə zədələnməsinin qarşısını almaq üçün yarımkeçirici emal avadanlığı üçün qoruyucu bir təbəqə kimi istifadə olunur.

● Sic vafli qayıq

Wafters və proseslərin sabitliyini təmin etmək üçün geniş temperaturlu proseslərdə (məsələn, yayılma və epitaxial böyümə kimi) gəmilərin (diffuziya və epitaxial böyümə) daşımaq və nəqliyyat etmək üçün istifadə olunur.

● SIC proses borusu

SIC Proses boruları əsasən diffuziya sobalarında və oksidləşmə sobalarında, dəqiq maddi çöküntü və vahid dopinq paylanmasını təmin edən silikon wafters üçün idarə olunan bir reaksiya mühitini təmin etmək üçün istifadə olunur.

● Sic cantilever avar

SIC Cantilever Avar, əsasən diffuziya sobalarında silikon gofreyləri və ya oksidləşmə sobalarında silikon gofreyləri daşımaq və ya dəstəkləmək üçün istifadə olunur. Xüsusilə yayılma, oksidləşmə, ilkinlik və s. Kimi yüksək temperaturda proseslərdə silikon wafters silikon gofretinin ekstremal mühitdə sabitliyini və vahid müalicəsini təmin edir.

● Cvd sic duş başlığı

Plazma ayırma avadanlıqlarında qaz paylama komponenti olaraq istifadə olunur, əla korroziya müqaviməti və vahid qaz paylaması və etching effektini təmin etmək üçün əla korroziya müqaviməti və istilik sabitliyi kimi istifadə olunur.

● Sic örtülmüş tavan

Avadanlıq reaksiya otağında, avadanlıqları yüksək temperatur və aşındırıcı qazlar tərəfindən zərərdən qorumaq və avadanlıqların xidmət həyatını genişləndirmək üçün istifadə olunur.

● Silikon epitaxy həssaslıqları

Silikon epitaxial böyümə proseslərində istifadə olunan vafli daşıyıcılar, voberlərin vahid istilik və çökmə keyfiyyətini təmin etmək üçün istifadə olunur.

Kimyəvi buxar depozit qoyulmuş silikon karbid (CVD SIC), əsasən yüksək temperatur, korroziyaya və yüksək sərtliyə davamlı olan cihaz və komponentlər istehsal etmək üçün istifadə olunan yarımkeçirici emalda geniş tətbiqlərə malikdir. 

CvdSICƏsas rol aşağıdakı cəhətlərdə əks olunur

✔ Yüksək temperaturlu mühitlərdə qoruyucu örtüklər

Funksiya: CVD SIC tez-tez yarımkeçirici avadanlıqlarda (suallar, reaksiya otağı astarları və s.) Səth örtüklərinin səthi örtükləri üçün istifadə olunur. Bu komponentlər yüksək temperaturlu mühitlərdə işləməlidirlər və CVD SIC örtükləri substratın yüksək temperaturdan zərərdən qorunması üçün əla istilik sabitliyi təmin edə bilər.

Üstünlük: Yüksək ərimə nöqtəsi və CVD SIC-nin əla istilik keçiriciliyi, komponentlərin avadanlıqların xidmət həyatını uzataraq yüksək temperatur şəraitində uzun müddət sabit işləyə biləcəyini təmin edir.

✔ Anti-korroziyaya müraciətlər

Funksiya: Yarımkeçirici istehsal prosesində CVD SIC örtükləri korroziv qazların və kimyəvi maddələrin eroziyasına təsirli şəkildə müqavimət göstərə və avadanlıq və cihazların bütövlüyünü qoruya bilər. Bu, flüoridlər və xloridlər kimi yüksək aşındırıcı qazlarla işləmək üçün xüsusilə vacibdir.

Üstünlük: CVD SIC örtüklərini komponentin səthində qoyaraq, avadanlıqların pozulmasına səbəb olan avadanlıq ziyan və təmir xərcləri çox azaldıla bilər və istehsal səmərəliliyi yaxşılaşdırıla bilər.

✔ Yüksək güc və aşınmaya davamlı tətbiqlər

Funksiya: CVD SIC materialı yüksək sərtliyi və yüksək mexaniki gücü ilə tanınır. Mexanik möhürlər, yük daşıyan komponentlər və s. Kimi taxılı müqavimət və yüksək dəqiqlik tələb edən yarımkeçirici komponentlərdə geniş istifadə olunur. Bu komponentlər əməliyyat zamanı güclü mexaniki stres və sürtünmə mərasimidir. CVD SIC bu streslərə effektiv şəkildə müqavimət göstərə və cihazın uzun ömrünü və sabit performansını təmin edə bilər.

Üstünlük: CVD SIC-dən hazırlanmış komponentlər yalnız ekstremal mühitlərdə mexaniki stresə tab gətirə bilməz, həm də uzunmüddətli istifadədən sonra ölçülü sabitliyini və səthini də qoruya bilər.

Eyni zamanda, CVD SIC-də həyati bir rol oynayırLED epitaxial böyümə, güc yarımkeçiciləri və digər sahələr. Yarımkeçirici istehsal prosesində CVD SIC substratları ümumiyyətlə istifadə olunurEPI SUSCOOPTORS. Onların əla istilik keçiriciliyi və kimyəvi sabitlik, böyüyən epitaxial təbəqələrin daha yüksək keyfiyyəti və ardıcıllığına malikdir. Bundan əlavə, CVD SIC də geniş istifadə olunurPSS Təmizləmə daşıyıcıları, RTP vafli daşıyıcıları, ICP TITCHING daşıyıcılarıvə s., cihaz performansını təmin etmək üçün yarımkeçirici ilişmə zamanı sabit və etibarlı dəstək təmin edir.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd, yarımkeçirici sənayesi üçün inkişaf etmiş örtük materiallarının aparıcı təminatçısıdır. Şirkətimiz sənayenin inkişaf etmiş həllərinə diqqət yetirir.

Əsas məhsul təkliflərimizə CVD Silikon Carbide, Tantalum Carbide (Tac) örtükləri, Tac) örtükləri, SIC SIC, SIC Tozs, SIC örtüklü SIC materialları, SIC örtüklü qrafit suseptoru, Preeheat, Tac örtülmüş Yivlər Ring, Saflıq 5pm-dən aşağı, kəsmə üzükləri müştəri tələblərinə cavab verə bilər.

Vetek yarımkeçiricisi, yarımkeçirici sənayesi üçün qabaqcıl texnologiya və məhsul inkişaf həllərinin inkişaf etdirilməsinə diqqət yetirin.Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağınıza ürəkdən ümid edirik.