VeTek yarımkeçirici yarımkeçirici sənayesi üçün Tantal Karbid Kaplama materiallarının aparıcı istehsalçısıdır. Əsas məhsul təkliflərimizə CVD tantal karbid örtük hissələri, SiC kristallarının böyüməsi üçün sinterlənmiş TaC örtük hissələri və ya yarımkeçirici epitaksiya prosesi daxildir. ISO9001-dən keçdi, VeTek Semiconductor keyfiyyətə yaxşı nəzarət edir. VeTek Semiconductor davamlı tədqiqat və təkrarlanan texnologiyaların inkişafı vasitəsilə Tantal Karbid Kaplama sənayesində yenilikçi olmağa həsr edilmişdir.
Əsas məhsullar bunlardırTaC örtüklü bələdçi üzük, CVD TaC örtüklü üç ləçəkli bələdçi halqası, Tantal karbid TaC örtüklü yarım ay, CVD TaC örtüklü planetar SiC epitaksial həssas, Tantal karbid örtüklü üzük, Tantal karbid örtüklü məsaməli qrafit, TaC Kaplama Fırlanma Həbçisi, Tantal karbid üzük, TaC Kaplama Fırlanma Plitəsi, TaC ilə örtülmüş gofret qəbuledicisi, TaC örtüklü deflektor halqası, CVD TaC örtük örtüyü, TaC örtüklü çubuqvə s., təmizlik 5ppm-dən aşağıdır, müştəri tələblərinə cavab verə bilər.
TaC örtüklü qrafit yüksək təmizlikli qrafit substratının səthinin xüsusi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) prosesi ilə incə tantal karbid təbəqəsi ilə örtülməsi ilə yaradılmışdır. Üstünlük aşağıdakı şəkildə göstərilmişdir:
Tantal karbid (TaC) örtüyü 3880°C-ə qədər yüksək ərimə nöqtəsi, əla mexaniki gücü, sərtliyi və termal şoklara qarşı müqaviməti ilə diqqəti cəlb edir və onu daha yüksək temperatur tələbləri ilə mürəkkəb yarımkeçirici epitaksiya proseslərinə cəlbedici alternativ edir. Aixtron MOCVD sistemi və LPE SiC epitaksi prosesi kimi. O, həmçinin PVT metodu SiC kristal artım prosesində geniş tətbiqinə malikdir.
Əsas Xüsusiyyətlər:
●Temperatur sabitliyi
●Ultra yüksək təmizlik
●H2, NH3, SiH4, Si-yə qarşı müqavimət
●Termal ehtiyata qarşı müqavimət
●Qrafitə güclü yapışma
●Konformal örtük örtüyü
● 750 mm diametrə qədər ölçü (Çində yeganə istehsalçı bu ölçüyə çatır)
Tətbiqlər:
●Gofret daşıyıcısı
● İnduktiv isitmə sensoru
● Rezistiv qızdırıcı element
●Peyk diski
●Duş başlığı
●Bələdçi üzük
●LED Epi qəbuledicisi
●Enjeksiyon başlığı
●Maskalama üzük
● İstilik qoruyucusu
Mikroskopik kəsikdə tantal karbid (TaC) örtüyü:
VeTek Yarımkeçirici Tantal Karbid Kaplamasının parametri:
|
TaC örtüyünün fiziki xassələri
|
|
Sıxlıq
|
14,3 (q/sm³)
|
|
Xüsusi emissiya
|
0.3
|
|
Termal genişlənmə əmsalı
|
6.3 10-6/K
|
|
Sərtlik (HK)
|
2000 HK
|
|
Müqavimət
|
1×10-5Ohm*sm
|
|
İstilik sabitliyi
|
<2500 ℃
|
|
Qrafit ölçüsü dəyişir
|
-10~-20um
|
|
Kaplama qalınlığı
|
≥20um tipik dəyər (35um±10um)
|
TaC örtüyü EDX məlumatları：
TaC örtük kristal strukturu məlumatları:
|
Element
|
Atom faizi
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Orta
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
M
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
