VeTek yarımkeçirici yarımkeçirici sənayesi üçün Tantal Karbid Kaplama materiallarının aparıcı istehsalçısıdır. Əsas məhsul təkliflərimizə CVD tantal karbid örtük hissələri, SiC kristallarının böyüməsi üçün sinterlənmiş TaC örtük hissələri və ya yarımkeçirici epitaksiya prosesi daxildir. ISO9001-dən keçdi, VeTek Semiconductor keyfiyyətə yaxşı nəzarət edir. VeTek Semiconductor davamlı tədqiqat və təkrarlanan texnologiyaların inkişafı vasitəsilə Tantal Karbid Kaplama sənayesində yenilikçi olmağa həsr edilmişdir.
Əsas məhsullar TaC ilə örtülmüş bələdçi halqa, CVD TaC örtüklü üç ləçəkli bələdçi üzük, Tantal Karbid TaC örtüklü Yarımay, CVD TaC örtüklü planetar SiC epitaksial qoruyucu, Tantal Karbid Örtük Üzük, Tantal Karbidlə örtülmüş məsaməli qrafit, TaC Kaplamalı Rotasiya R, TantaC Kaplamadır. Boşqaba, TaC örtülmüş vafli qapaq, TaC örtüklü deflektor üzük, CVD TaC örtük örtüyü, TaC örtüklü çubuq və s., təmizlik 5ppm-dən aşağıdır, müştəri tələblərinə cavab verə bilər.
TaC örtüklü qrafit yüksək təmizlikli qrafit substratının səthinin xüsusi Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (CVD) prosesi ilə incə tantal karbid təbəqəsi ilə örtülməsi ilə yaradılmışdır. Üstünlük aşağıdakı şəkildə göstərilmişdir:
Tantal karbid (TaC) örtüyü 3880°C-ə qədər yüksək ərimə nöqtəsi, əla mexaniki gücü, sərtliyi və termal şoklara qarşı müqaviməti ilə diqqəti cəlb edir və onu Aixtron MOCVD sistemi və LPE SiC kimi daha yüksək temperatur tələbləri olan mürəkkəb yarımkeçirici epitaksiya proseslərinə cəlbedici alternativ edir.
Əsas Xüsusiyyətlər
● 2500°C-ə qədər temperatur sabitliyi, termal zərbəyə əla müqavimət.
● Ultra yüksək təmizlik (<5ppm) və minimal hissəcik əmələ gəlməsi üçün qrafitə güclü yapışma.
● Sərt proses mühitlərində H₂, NH₃, SiH₄ və Si buxarlarına qarşı üstün müqavimət.
● 750 mm diametrə qədər ölçü qabiliyyəti olan uyğun örtük örtüyü, Çində unikal şəkildə mövcuddur.
Məhsulun spesifikasiyası
VeTek Yarımkeçirici Tantal Karbid Kaplamasının Parametri:
| TaC örtüyünün fiziki xassələri |
| Sıxlıq |
14,3 q/sm³ |
| Sərtlik |
2000 HK |
| Termal genişlənmə |
6,3×10⁻⁶/K |
| Müqavimət |
1×10⁻⁵ Ohm·sm |
| İstilik sabitliyi |
<2500°C |
| Kaplama qalınlığı |
≥20μm (tipik 35±10μm) |
mikroskopik kəsikdə karbid (TaC) örtüyü:
TaC örtük EDX məlumatları:
TaC örtük kristal quruluşu məlumatları:
| Element |
Atom faizi |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
Orta |
| C K |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Ta M |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Tətbiqlər
Yarımkeçirici proseslərin müxtəlif ehtiyaclarını ödəmək üçün VeTek hədəflənmiş Tantal Karbid Kaplama məhsulları təklif edir. Aşağıdakı cədvəl onları əsas tətbiq sahələrinə görə təsnif edir, tipik komponentləri və tətbiq olunan prosesləri sadalayır:
| Tətbiq sahəsi |
Tipik Məhsullar |
Tətbiq təsviri |
| SiC Epitaksiyası |
CVD TaC ilə örtülmüş planetar həssas,TaC ilə örtülmüş gofret qəbuledicisi,TaC örtüklü bələdçi üzük
|
Filmin vahidliyini təmin etmək üçün yüksək istilik sabitliyi və aşağı çirklənmə interfeysi təmin edən yüksək temperaturlu SiC epitaksial proseslər (məsələn, LPE üsulu) üçün uyğundur. |
| GaN / LED Epitaksiyası (MOCVD) |
Duş başlığı, peyk diski, maskalama halqası, istilik qoruyucusu, enjeksiyon başlığı |
Aixtron MOCVD sistemləri üçün uyğundur, H₂/NH₃ korroziyasına davamlıdır, hissəciklərin çirklənməsini azaldır və LED epitaksial məhsuldarlığını artırır. |
| SiC Crystal Growth (PVT Metod) |
TaC örtüklü məsaməli qrafit,TaC örtüklü yarım ay,bələdçi üzük,qapaq,çak
|
PVT SiC külçə artımında istifadə olunur, 2500°C-yə qədər davam edir, qrafit reaksiyalarının qarşısını alır və kristal təmizliyini təmin edir. |
| Yüksək Temperaturlu İstilik və Dəstəkləyici Komponentlər |
İnduktiv qızdırıcı,rezistiv qızdırıcı element, gofret daşıyıcısı
|
İnduksiya və ya rezistiv isitmə sistemləri üçün uyğundur, yüksək sərtlik və termal şok müqaviməti təklif edir, komponentin ömrünü 3-5 dəfə artırır. |
Daha ətraflı proses uyğun həllər üçün müraciət edinSilikon karbid epitaksisiəlaqəli tətbiq səhifəsi.
Müştəri tələblərinə əsaslanan fərdiləşdirilmiş xidmətləri dəstəkləyirik. Yaxşı keyfiyyət nəzarəti ilə ISO9001-dən keçdi.
Əlavə məsləhətləşmələr üçün bizimlə əlaqə saxlamağa və ya mesaj buraxmağa xoş gəlmisiniz
