Oksidləşmə və diffuziya sobası

Oksidləşmə və diffuziya sobaları yarımkeçirici qurğular, diskret cihazlar, optoelektronik cihazlar, güc elektron cihazları, günəş hüceyrələri və geniş miqyaslı inteqrasiya edilmiş dövriyyə istehsalı kimi müxtəlif sahələrdə istifadə olunur. Onlar diffuziya, oksidləşmə, yumrulama, ərinti və yuyulma və sarsıdıcı da daxil olmaqla proseslər üçün istifadə olunur.

Vetek Yarımkeçirici, oksidləşmə və diffuziya sobalarında yüksək təmizlik qrafit, silikon karbid və kvars komponentlərinin istehsalında ixtisaslaşmış aparıcı istehsalçıdır. Yarımkeçirici və fotovoltaik sənayesi üçün yüksək keyfiyyətli soba komponentlərini təqdim etməyə və CVD-SIC, CVD-Tac, Pirokarbon və s. Kimi səth örtük texnologiyasının ön cəbhəsindədir.

Vetek yarımkeçirici silikon karbid komponentlərinin üstünlükləri:

● Yüksək temperaturda müqavimət (1600 ℃ qədər)

● Əla istilik keçiriciliyi və istilik sabitliyi

● Yaxşı kimyəvi korroziyaya qarşı müqavimət

● İstilik genişləndirilməsinin aşağı əmsalı

● Yüksək güc və sərtlik

● Uzun xidmət müddəti

Oksidləşmə və diffuziya sobalarında, yüksək temperatur və aşındırıcı qazların olması səbəbindən bir çox komponent yüksək temperatur və korroziyaya davamlı materialların istifadəsini tələb edir, bunların arasında silikon karbid (SIC) bir çox istifadə olunan bir seçimdir. Aşağıdakılar, oksidləşmə sobalarında və diffuziya sobalarında tapılan ümumi silikon karbid komponentləridir:

● gofret gəmi

Silikon Carbide Wafer Boat, yüksək temperaturdan tab gətirə biləcək və silikon gofreti ilə reaksiya göstərə biləcək silikon gofrets daşımaq üçün istifadə olunan bir konteynerdir.

● soba borusu

Ocaq borusu, silikon gofreti yerləşdirmək və reaksiya mühitinə nəzarət etmək üçün istifadə olunan diffuziya sobasının əsas komponentidir. Silikon Karbide soba borularının əla yüksək temperaturu və korroziyaya davamlı performansa malikdir.

● Baffle boşqab

Ocağın içərisində hava axını və temperatur paylanmasını tənzimləmək üçün istifadə olunur

● Termojuft qoruyucu boru

Temperatur ölçmə termokupllarını birbaşa təmasdan birbaşa təmasdan qorumaq üçün istifadə olunur.

● Cantilever avar

Silikon karbidli cantilever avarları yüksək temperatur və korroziyaya davamlıdır və silikon gofreyləri diffuziya soba borularına daşıyan silikon qayıqları və ya kvars qayıqlarını daşımaq üçün istifadə olunur.

● Qaz injektoru

Ocağa reaksiya qazını təqdim etmək üçün istifadə olunur, yüksək temperatur və korroziyaya qarşı davamlı olmalıdır.

● qayıq daşıyıcısı

Silikon Carbide Wafer Boat Carrier, yüksək güc, korroziya müqaviməti və yaxşı struktur sabitliyi kimi üstünlükləri olan silikon gofreti düzəltmək və dəstəkləmək üçün istifadə olunur.

● Soba qapısı

Silikon karbid örtükləri və ya komponentlər də sobanın qapısının içərisində də istifadə edilə bilər.

● İstilik elementi

Silikon karbidli istilik elementləri yüksək temperatur, yüksək güc üçün uyğundur və tez bir zamanda temperaturu 1000 ℃ -dən çox artıra bilər.

● SIC layneri

Ocaq borularının daxili divarını qorumaq üçün istifadə olunur, istilik enerjisinin itirilməsini azaltmağa və yüksək temperatur və yüksək təzyiq kimi sərt mühitlərə tab gətirə bilər.

View as

Silikon karbid robot qolu

Silikon karbidimiz (SIC) Robot Qolum, inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsalında yüksək performanslı vafli işləmə üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək saflıq silikon karbiddən hazırlanmış, bu robot qolu, təmiz otaq mühitində etibarlı əməliyyat təmin edən yüksək temperatur, plazma korroziyaya və kimyəvi hücumlara müstəsna müqavimət göstərir. Onun müstəsna mexaniki gücü və ölçülü sabitliyi, çirklənmə risklərini minimuma endirərkən, mocvd, epitaxy, ion implantasiyası və digər kritik vaffer tətbiqetmələri üçün ideal bir seçim halına gətirərkən dəqiq vafli işləmə imkanı verir. Sorğularınızı alqışlayırıq.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Silikon karbidli sic gofer gəmi

Veteksemik SIC gəmiləri, silikon əsaslı inteqrasiya edilmiş sxemlər üçün oksidləşmə, yayılma və yanma prosesləri üçün etibarlı daşıyıcı, yayımlanan istehsalçı, yayımçı istehsalında kritik yüksək temperaturlu proseslərdə geniş istifadə olunur. Epitaksial böyüməsi (EPI) və metal üzvi kimyəvi buxarlanma (mocvd) kimi tələb olunan proseslər üçün mükəmməl bir şəkildə uyğun olan üçüncü nəsil yarımkeçirici sektorda üstündürlər. Fotovoltaik sənayesində yüksək səmərəli günəş hüceyrələrinin yüksək temperaturun yüksək səviyyədə qurulmasına da dəstək olurlar. Əlavə məsləhətləşməni gözləyirik.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Sic cantilever avarles

Veteksemik SIC Cantilever avarları, üfüqi diffuziya sobalarında və epitaxial reaktorlarda vafli işləmə üçün hazırlanmış yüksək safi silikon karbid dəstəyi olan silahlardır. Fövqəladə istilik keçiriciliyi, korroziya müqaviməti və mexaniki gücü ilə bu yastıqlar, yarımkeçirici mühitlərdə sabitlik və təmizliyini təmin edir. Xüsusi ölçülərdə mövcuddur və uzun xidmət müddəti üçün optimallaşdırılmışdır.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Sic keramika membran

Veteksemik SIC Keramika membranları qeyri-üzvi membran növüdür və membran ayırma texnologiyasında bərk membran materiallarına aiddir. Sic membranlar 2000-ci ildən yuxarı bir temperaturda atəşə tutulur. Hissəciklərin səthi hamar və yuvarlaqdır. Dəstək təbəqəsində və hər təbəqədə qapalı məsamələr və ya kanallar yoxdur. Onlar ümumiyyətlə müxtəlif məsaməli ölçüləri olan üç təbəqədən ibarətdir.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Məsaməli sic keramika plakası

Məsaməli SIC keramika plitələrimiz, əsas komponent kimi silikon karbiddən hazırlanmış və xüsusi proseslər tərəfindən işlənmiş məsaməli keramika materiallarıdır. Onlar yarımkeçirici istehsal, kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) və digər proseslərdə əvəzolunmaz materiallardır.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Sic keramika vafli qayıq

Vetek Yarımkeçirici, Çində istehsalçı, istehsalçı və fabrikinin aparıcı SIC keramika gəmi təchizatçısıdır. SIC keramika vafli gəmimiz, inkişaf etmiş vaffer işləmə proseslərində, fotovoltaik, elektronika və yarımkeçirici sənayesinə iaşə olan həyati bir komponentdir. Məsləhətinizi gözləyirəm.

Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Çində peşəkar Oksidləşmə və diffuziya sobası istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Oksidləşmə və diffuziya sobası almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.

QR kodu

Bizim haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon
+86-18069220752
Faks
+86-579-87223657
E-poçt
anny@veteksemi.com
Ünvan
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çini

Veb Menyu

Məhsul Axtarışı

Dil

Menyudan çıxın

Oksidləşmə və diffuziya sobası

Vetek yarımkeçirici silikon karbid komponentlərinin üstünlükləri:

Silikon karbid robot qolu

Silikon karbidli sic gofer gəmi

Sic cantilever avarles

Sic keramika membran

Məsaməli sic keramika plakası

Sic keramika vafli qayıq

Sorğu göndərin

QR kodu

Bizim haqqımızda

Məhsullar

Bizimlə əlaqə saxlayın

Telefon

Faks

E-poçt

Ünvan