VeTek Semiconductor-un unikal karbid örtükləri tələbkar yarımkeçirici və kompozit yarımkeçirici materialların emalı üçün SiC Epitaksiya Prosesində qrafit hissələri üçün üstün qoruma təmin edir. Nəticə qrafit komponentinin ömrünün uzadılması, reaksiya stoxiometriyasının qorunması, epitaksiya və kristal böyüməsi tətbiqlərinə çirkin miqrasiyasının qarşısını alır, nəticədə məhsuldarlıq və keyfiyyət yüksəlir.
Bizim tantal karbid (TaC) örtüklərimiz kritik soba və reaktor komponentlərini yüksək temperaturda (2200°C-ə qədər) isti ammonyak, hidrogen, silisium buxarları və ərimiş metallardan qoruyur. VeTek Semiconductor sizin fərdi tələblərinizə cavab vermək üçün geniş çeşiddə qrafit emalı və ölçmə imkanlarına malikdir, buna görə də biz sizin və xüsusi tətbiqiniz üçün düzgün həlli dizayn etməyə hazır olan ekspert mühəndis komandamızla ödənişli örtük və ya tam xidmət təklif edə bilərik. .
Mürəkkəb yarımkeçirici kristallar
VeTek Semiconductor müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi TaC örtükləri təmin edə bilər. VeTek Semiconductor-un sənayedə aparıcı örtük prosesi vasitəsilə TaC örtüyü yüksək təmizlik, yüksək temperaturda sabitlik və yüksək kimyəvi müqavimət əldə edə bilər, beləliklə, kristal TaC/GaN) və EPl təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır və kritik reaktor komponentlərinin ömrünü uzadır.
İstilik izolyatorları
SiC, GaN və AlN kristal böyümə komponentləri, o cümlədən, tigelər, toxum tutucular, deflektorlar və filtrlər. Rezistiv qızdırıcı elementlər, ucluqlar, qoruyucu üzüklər və lehimləmə qurğuları, vafli daşıyıcıları, peyk qabları, duş başlıqları, qapaqlar və postamentlər, MOCVD komponentləri daxil olmaqla GaN və SiC epitaksial CVD reaktor komponentləri daxil olmaqla sənaye qurğuları.
Məqsəd:
● LED(İşıq Yayan Diod) Gofret Daşıyıcısı
● ALD (Yarımkeçirici) Qəbuledici
● EPI Reseptoru (SiC Epitaksi Prosesi)
SiC Kaplama və TaC Kaplamanın müqayisəsi:
|
|
SiC
|
TaC
|
|
Əsas Xüsusiyyətlər
|
Ultra yüksək təmizlik, Əla Plazma müqaviməti
|
Əla yüksək temperatur sabitliyi (yüksək temperatur prosesinə uyğunluq)
|
|
Saflıq
|
>99,9999%
|
>99,9999%
|
|
Sıxlıq (q/sm3)
|
3.21
|
15
|
|
Sərtlik (kq/mm2)
|
2900-3300
|
6.7-7.2
|
|
Müqavimət [Ωcm]
|
0,1-15,000
|
<1
|
|
İstilik keçiriciliyi (W/m-K)
|
200-360
|
22
|
|
İstilik genişlənmə əmsalı (10-6/℃)
|
4.5-5
|
6.3
|
|
Ərizə
|
Yarımkeçirici Avadanlıq Seramik cig (Fokus Halqası, Duş Başlığı, Dummy Gofret)
|
SiC Tək kristal artımı, Epi, UV LED Avadanlıq hissələri
|
