ICP/PSS aşındırma prosesi

VeTek Yarımkeçirici ICPPSS (İnduktiv Qoşulmuş Plazma Fotorezist Soyma) Aşınma Prosesi Gofret Daşıyıcısı yarımkeçirici sənayenin aşındırma proseslərinin tələblərinə cavab vermək üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Qabaqcıl xüsusiyyətləri ilə o, aşındırma prosesi boyunca optimal performans, səmərəlilik və etibarlılığı təmin edir.

VeTek Yarımkeçirici ICP/PSS Aşınma Prosesi Susveptors üstünlüyü:

Təkmilləşdirilmiş Kimyəvi Uyğunluq: Gofret daşıyıcısı aşındırma prosesinin kimyaları ilə əla kimyəvi uyğunluq nümayiş etdirən materiallardan istifadə etməklə tikilmişdir. Bu, kimyəvi reaksiyalar və ya çirklənmə riskini minimuma endirərək, geniş çeşiddə aşındırıcılar, soyuducular və təmizləyici məhlullarla uyğunluğu təmin edir.

Yüksək Temperatur Müqaviməti: Gofret daşıyıcısı aşındırma prosesi zamanı qarşılaşılan yüksək temperaturlara tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur. Struktur bütövlüyünü və mexaniki möhkəmliyini qoruyur, hətta həddindən artıq istilik şəraitində deformasiya və ya zədələnmənin qarşısını alır.

Üstün Etch Uniformity: Daşıyıcı vafli səthi boyunca aşındırıcıların və qazların vahid paylanmasını təşviq edən dəqiq dizayn edilmiş dizayna malikdir. Bu, dəqiq və etibarlı aşındırma nəticələrinə nail olmaq üçün vacib olan ardıcıl aşındırma dərəcələri və yüksək keyfiyyətli, vahid nümunələrlə nəticələnir.

Əla vafli sabitliyi: Daşıyıcı stabil yerləşdirməni təmin edən və aşındırma prosesi zamanı vaflinin hərəkətinin və ya sürüşməsinin qarşısını alan təhlükəsiz vafli saxlama mexanizmini özündə birləşdirir. Bu, qüsurları və məhsul itkilərini minimuma endirərək dəqiq və təkrarlanan aşındırma nümunələrinə zəmanət verir.

Təmiz Otaq Uyğunluğu: Gofret daşıyıcısı ciddi təmiz otaq standartlarına cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuşdur. O, aşağı hissəcik əmələ gəlməsinə və mükəmməl təmizliyə malikdir, aşındırma prosesinin keyfiyyətinə və məhsuldarlığına xələl gətirə biləcək hər hansı hissəcik çirklənməsinin qarşısını alır. Çirklənmə 5 ppm-dən aşağıdır.

Sağlam və Davamlı Konstruksiya: Daşıyıcı davamlılığı və uzun ömür müddəti ilə tanınan yüksək keyfiyyətli materiallardan istifadə etməklə hazırlanmışdır. Performansını və ya struktur bütövlüyünü pozmadan təkrar istifadəyə və ciddi təmizləmə proseslərinə tab gətirə bilər.

Özelleştirilebilir Dizayn: Biz xüsusi müştəri tələblərinə cavab vermək üçün fərdiləşdirilə bilən seçimlər təklif edirik. Daşıyıcı müxtəlif vafli ölçüləri, qalınlıqları və proses spesifikasiyalarını yerləşdirmək üçün uyğunlaşdırıla bilər, müxtəlif aşındırma avadanlığı və prosesləri ilə uyğunluğu təmin edir.

Yarımkeçirici sənayesində aşındırma prosesini optimallaşdırmaq üçün nəzərdə tutulmuş ICP/PSS Aşınma Prosesi Gofret Daşıyıcımızın etibarlılığını və performansını təcrübədən keçirin. Onun təkmilləşdirilmiş kimyəvi uyğunluğu, yüksək temperatura davamlılığı, üstün aşındırma vahidliyi, vaflinin əla dayanıqlığı, təmiz otaq uyğunluğu, möhkəm konstruksiyası və fərdiləşdirilə bilən dizaynı onu aşındırma tətbiqləriniz üçün ideal seçim edir.

PSS aşındırma lövhəsi ICP aşındırma lövhəsi ICP Etching Sensoru