QR kodu

Bizim haqqımızda
Məhsullar
Bizimlə əlaqə saxlayın
Telefon
Faks
+86-579-87223657
E-poçt
Ünvan
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çini
Vetek yarımkeçisi, yarımkeçirici sənayesi üçün məsaməli SIC keramikasının aparıcı istehsalçısıdır. Keçmiş ISO9001, Vetek yarımkeçiricisi keyfiyyətə yaxşı nəzarət edir. Vetek yarımkeçiricisi həmişə məsaməli SIC keramika sənayesində yenilikçi və lider olmağa sadiqdir.
Məsaməli sic keramika disk
Məsaməli SIC keramika yüksək temperaturda atəşə tutulan və içərisində çox sayda və ya qapalı məsamə sahibi olan keramika materialdır. Həm də mikroporlu bir vakuum emiş kuboku kimi tanınır, 2-dən 100-ə qədər olan məsam ölçüləri.
Məsaməli SIC keramika metallurgiya, kimya sənayesi, ətraf mühitin qorunması, biologiya, yarımkeçirici və digər sahələrdə geniş istifadə edilmişdir. Məsaməli SIC keramika köpükləmə üsulu, Sol Gel üsulu, lent tökmə üsulu, bərk üsulu metodu və emprenye piroliz metodu ilə hazırlana bilər.
Sintering metodu ilə məsaməli SIC keramikalarının hazırlanması
Fərqli üsullar tərəfindən hazırlanmış məsaməli silikon karbid keramikasının xüsusiyyətləri, məsaməsizliyin funksiyası kimi hazırlanmışdır
Yarımkeçirici gofret istehsalında məsaməli SIC keramika əmzik fincanları
Vetek yarımkeçiricinin məsaməli SIC keramika, yarımkeçirici istehsalda kassanma və gəzinti rolunu oynayır. Onlar sıx və vahid, yüksək səviyyədə, hava keçiriciliyində və adsorbsiyada vahiddir.
Onlar vaffer girinti və çip elektrostatik parçalanma kimi bir çox çətin problemləri təsirli şəkildə həll edir və son dərəcə yüksək keyfiyyətli vafizlərin emalına kömək edir.
Məsaməli SIC keramikasının iş diaqramı:
Məsaməli SIC keramikasının iş prinsipi: Silikon vafi vakuum adsorbsiya prinsipi ilə müəyyən edilir. Emal zamanı, məsaməli SIC keramikasındakı kiçik deliklər, silikon vafi və keramika səthi ilə keramika səthi arasında havanı çıxarmaq üçün istifadə olunur, beləliklə silikon vafi və keramika səthi aşağı təzyiqdədir, bununla da silikon vafleri düzəldir.
Emal edildikdən sonra, silikon vaflonun keramika səthinə yapışmasının qarşısını almaq üçün plazma suları çuxurlardan axır və eyni zamanda silikon vafleri və keramika səthi təmizlənir.
Məsaməli SIC keramikalarının microtrukturu
Üstünlükləri və xüsusiyyətləri vurğulayın:
● Yüksək temperaturda müqavimət
● Geyinməyə müqavimət
● Kimyəvi müqavimət
● Yüksək mexaniki güc
● Yeniləmək asandır
● Əla istilik şok müqaviməti
maddə
vahidi
məsaməli sic keramika
Məsamə diametri
bir
10 ~ 30
Sıxlıq
g / sm3
1.2 ~ 1.3
Səthi routhness
bir
2.5 ~ 3
Hava udma dəyəri
Kpa
-45
Çevik güc
Mpa
30 Dielektrik davamlı
1MHz
33 İstilikkeçirmə
W / (m · k)
60 ~ 70
Məsaməli SIC keramika üçün bir neçə yüksək tələb var:
1. Güclü vakuum adsorbsiya
2. Düzlük çox vacibdir, əks halda əməliyyat zamanı problemlər olacaq
3. Deformasiya və metal çirkləri yoxdur
Buna görə, Vetek yarımkeçiricisinin məsaməli SIC keramikalarının hava udma dəyəri -45KPA-ya çatır. Eyni zamanda, çirkləri aradan qaldırmaq üçün zavoddan ayrılmadan 1,5 saat əvvəl 1200 ℃-də temperti aparırlar və vakuum çantalarında qablaşdırılır.
Məsaməli SIC keramika geniş yayımlama texnologiyası, köçürmə və digər bağlantılarda geniş istifadə olunur. Bağlama, Diking, Quraşdırma, Cilalama və digər bağlantılarda böyük nailiyyətlər qazandılar.
Order precision-engineered Porous SiC ceramics from Veteksemicon—ideal for thermal uniformity and gas control in semiconductor systems.
Veteksemicon’s porous silicon carbide (SiC) components are engineered for high-temperature plasma processes and advanced gas flow control. Ideal for PECVD, ALD, vacuum chucks, and gas distribution plates (showerheads), these components offer excellent thermal conductivity, thermal shock resistance, and chemical stability.
Our porous SiC features a controlled pore structure for consistent gas permeability and uniform temperature distribution, reducing defect rates and enhancing yield. It is widely used in wafer handling platforms, temperature equalizing plates, and vacuum holding systems. The material ensures mechanical durability under corrosive and high-load thermal conditions.
Contact Veteksemicon today to request custom Porous SiC solutions or detailed engineering parameters.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çini
Müəllif hüquqları © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co, Ltd Bütün hüquqlar qorunur.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |