Silikon nitridi

1. Əla kimyəvi sabitlik

Silikon nitridi keramikaları əla kimyəvi sabitliyə malikdir və müxtəlif güclü turşulara, qələvilərə və aşındırıcı qazlara tab gətirə bilər. Yarımkeçirici istehsal prosesində tez-tez korroziv kimyəvi maddələrlə məşğul olmaq lazımdır, silikon nitrid keramika uzunmüddətli sabit performans zəmanəti təmin edə bilər.

2. Əla mexaniki xüsusiyyətlər

Silikon nitridi keramikaları yüksək sərtliyə malikdir, əla kompressiv güc və aşınma müqaviməti, deformasiya və ya yırtılması asan olmayan mexaniki stres və səth aşınmaya tab gətirə bilən, əla kompressiv güc və müqavimət göstərir. Bu mexaniki mülk, yarımkeçirici avadanlıqlarda struktur və proses hissələri üçün bir material kimi çox uyğundur.

3. Yüksək temperaturlu sabitlik

Silikon nitridi keramika yüksək temperaturlu mühitlərdə sabitliyi qoruya bilər, yumşaldır və əriməsi asan deyil və yarımkeçirici istehsal prosesində yüksək temperatur emalı və işləməyə tab gətirə bilər. Bu, yüksək temperaturlu proses avadanlığı əsas komponentləri, məsələn, tutma, reaksiya kamerası komponentləri və s.

4. Əla izolyasiya xüsusiyyətləri

İzolyasiya xüsusiyyətləri yarımkeçirici cihaz istehsalında kritikdir. Silikon nitridi keramikaları, effektiv şəkildə təcrid-incə təcrid və ya cihazın sabitliyini və elektromaqnit müdaxiləsindən səmərəli təcrid və ya elektromaqnit müdaxiləsini qoruyub saxlaya bilən yaxşı izolyasiya xüsusiyyətlərinə malikdir.

5. İstilik keçiriciliyi və istilik keçiriciliyi

Silikon nitridi keramika yüksək istilik keçiriciliyi var, cihazın yaratdığı istiliyi effektiv şəkildə apara və yaymaq, cihazın temperaturun sabitliyini əməliyyat prosesində saxlamağa kömək edə bilər. Bu, yarımkeçirici cihazların yüksək performanslı işləməsi üçün vacibdir.

1. Elektrostatik chucks və etching kamera komponentləri

Silikon nitridi keramika, mükəmməl kimyəvi sabitlik və yüksək temperatur müqavimətlərinə görə yarımkeçirici istehsal edən elektrostatik chucks və yarımkeçirici istehsal edən otaq komponentləri kimi istifadə olunur. Elektrostatik chucks wafters və ya substratları düzəltmək və sabitləşdirmək üçün istifadə olunur, iftar kamerası komponentləri isə korroziv qazlara və yüksək temperaturlu mühitlərdə saxlamaq üçün istifadə olunur.

2. Qaz paylama plitələri və reflektorlar

Silikon nitridi keramika, qaz paylama plitələrində və reflektorlarda yarımkeçirici avadanlıq istehsalında da istifadə olunur. Qaz paylama plitələri reaksiya və ya qoruyucu qazları reaksiya otağına bərabər paylamaq üçün istifadə olunur, reflektorlar reaksiya otağında reaksiya effektivliyini və vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün reaksiya otağında işığın əksini optimallaşdırmaq üçün istifadə olunur.

3. Sahiblər və istilik komponentləri

Silikon nitridi keramikaları çox vaxt yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında sahibkarlar və istilik idarəetmə komponentləri kimi istifadə olunur. Bu komponentlərin yaxşı mexaniki gücə sahib olması, sabit avadanlıq işləməsini və cihazın işləmə dəqiqliyini təmin etmək üçün əldən-istilik keçiriciliyi olmalıdır.

4. Kimyəvi mexaniki cilalanma (CMP) yastiqciqlar

Silikon nitridi keramikası kimyəvi mexaniki cilalanma (CMP) prosesində pad materialı kimi geniş istifadə olunur. Mükəmməl düzlük və aşınma müqavimətinə malikdir və yarımkeçirici vaffer səthinin düzlüyü və dəqiqliyini təmin etmək üçün cilalama prosesi zamanı sabit dəstək verə bilər.