CVD SIC örtülmüş qrafit duşu başı

Veteksemicon CVD SIC örtülmüş qrafit duşu başlığı, dəqiq mühəndis səthi, gofret boyunca ardıcıl film çöküntüsünə çatmaq üçün kritik olan vahid qaz paylamasını təmin edir. BuSic örtükYalnız aşınma müqavimətini və oksidləşmə müqavimətini artırır, həm də sərt proses şəraitində xidmət həyatını da genişləndirir.

Yarımkeçirici gofret istehsalında, epitaxy və incə film çöküntüsündə geniş tətbiq olunan, CVD SIC örtülmüş qrafit duşu başlığı, növbəti nəsil yarımkeçirici istehsalının tələblərinə cavab verən etibarlı, yüksək saflıq və uzun müddət davam edən proses komponentləri axtaran istehsalçılar üçün ideal bir seçimdir.

Veteksemi CVD Silikon Carbide Duş başlığı yüksək saflıq kimyəvi buxardan hazırlanmış silikon karbiddən əmələ gətirilir və yarımkeçirici, LED və qabaqcıl elektronika sənayesində CVD və Mocvd prosesləri üçün optimallaşdırılmışdır. Görkəmli istilik sabitliyi, korroziyaya qarşı müqavimət və vahid qaz paylanması yüksək temperatur, yüksək aşındırıcı mühitlərdə uzunmüddətli sabit əməliyyat təmin edir, proses təkrarlılığı və məhsuldarlığı xeyli yaxşılaşdırır.

Veteksemicon CVD SIC örtülmüş qrafit duşunun başlığı əsas üstünlükləri

● Ultra yüksək saflıq və sıxlıq

CVD SIC örtülmüş qrafit duşu başlığı, hər hansı bir metal çirkləri aradan qaldıraraq, ≥99.9995%, maddi saflığı təmin edən yüksək saflıq CVD prosesindən istifadə edərək istehsal olunur. Gözyaronçu olmayan quruluşu, son dərəcə yüksək təmizliyi tələb edən yarımkeçirici epitaxy və qabaqcıl qablaşdırma prosesləri üçün ideal hala gətirərək qaz permersion və hissəcik tökülməsinin qarşısını alır. Ənənəvi sintited SIC və ya qrafit komponentləri ilə müqayisədə, məhsulumuz uzun müddət yüksək temperaturlu işləmədən, təmir tezliyini və istehsal xərclərini azaltmaqdan da sabit performans saxlayır.

● Əla istilik sabitliyi

Yüksək temperaturlu CVD və MOCVD proseslərində şərti materiallar istilik stresinə görə deformasiyaya və ya çatlamağa həssasdır. CVD SIC Duşhead, 1600 ° C-ə qədər temperaturdan ibarətdir və sürətli temperaturda struktur sabitliyini təmin etmək və azalma zamanı struktur sabitliyini təmin etmək üçün olduqca aşağı bir əmsaldır. Onun vahid istilik keçiriciliyi reaksiya otağı daxilində temperaturun paylanmasını daha da optimallaşdırır, vafli kənar və mərkəzi arasındakı çökmə dərəcəsi fərqlərini minimuma endirir və film vahidliyini artırır.

● Anti-plazma korroziyası

Etching və ya çökmə prosesləri zamanı yüksək aşındırıcı qazlar (məsələn, CF kimi)₄, Cl₂, və hbr) adi kvars və ya qrafit komponentlərini sürətlə aşın. CVD SIC materialı, plasma mühitində müstəsna korroziya müqaviməti, adi materiallardan 3-5 dəfə bir ömrü olan müstəsna korroziyaya qarşı müqavimət göstərir. Həqiqi müştəri testi göstərdi ki, 2000 saat davamlı əməliyyatdan sonra da, məsaməli ölçüsü dəyişkənliyi, uzunmüddətli sabit qaz axınının paylanmasını təmin etmək üçün ± 1% -i daxilində qalır.

● Uzun ömür və aşağı texniki xidmət

Ənənəvi qrafit komponentləri tez-tez dəyişdirilməsini tələb edərkən, SIC örtüklü CVD duş başlığı hətta sərt mühitlərdə də sabit performans saxlayır. Bu, ümumi xərcləri 40% -dən çox azaldır. Bundan əlavə, materialın yüksək mexaniki gücü rəftar və ya quraşdırma zamanı təsadüfən zərərin qarşısını alır.

● Ekoloji zəncir yoxlama təsdiqlənməsi

Veteksemicon CVD Silikon Carbide Duşunun başlığı 'ekoloji zəncir yoxlanılması, beynəlxalq standart sertifikatlaşdırılan xammalları və yeni enerji sahələrində etibarlılığını və davamlılığını təmin etmək üçün bir sıra patentli texnologiyalara sahibdir.

Texniki parametrlər

Layihə	Parametr
Material	CVD SIC (örtük variantları mövcuddur)
Diametrli	100 mm-450mm (özelleştirilebilir)
Qalınlıq dözümlülüyü	± 0.05mm
Səthi pürüzlülük	≤0.2μm
Tətbiq olunan proses	CVD / MOCVD / PECVD / ETCHING / EPITAXY

Əsas tətbiq sahələri

Tətbiq istiqaməti	Tipik ssenari
Yarımkeçirici İstehsalat	Silikon Epitaxy, Gan / Gaas Cihazları
Güc Elektronikası	Sic epitaxial vafli istehsalı
Başlı	Mocvd sapfir substrate çəngəl
Elmi tədqiqat avadanlığı	Yüksək dəqiqlikli nazik film çəngəl sistemi

Ekoloji zəncir yoxlama təsdiqlənməsi

Veteksemicon CVD Silikon Carbide Duşunun başlığı 'ekoloji zəncir yoxlanılması, beynəlxalq standart sertifikatlaşdırılan xammalları və yeni enerji sahələrində etibarlılığını və davamlılığını təmin etmək üçün bir sıra patentli texnologiyalara sahibdir.

Ətraflı texniki xüsusiyyətlər, ağ sənədlər və ya nümunə test tənzimləmələri üçün xahiş edirəmTexniki dəstək komandamızla əlaqə saxlayınVeteksemikanın necə proses səmərəliliyinizi necə artıra biləcəyini araşdırmaq.