Gofret daşıyıcısı üçün CVD SiC ilə örtülmüş qrafit tutucu

1. Məhsulun Üstünlükləri

• Yüksək təmizlik materialı:Yarımkeçirici dərəcəli qrafit material və sıx SiC örtük strukturu çirklənmə risklərini minimuma endirir və CVD SiC ilə örtülmüş qrafit həssaslığının etibarlılığını artırır.
• Əla istilik vahidliyi:Optimallaşdırılmış qrafit strukturu və SiC örtüyü sabit istilik köçürməsini və vafli temperaturun vahid nəzarətini təmin edir.
• Üstün Kimyəvi Müqavimət:Sıx SiC örtüyü texnoloji qazlara və aşındırıcı mühitlərə qarşı güclü müqavimət göstərir.
• Uzun xidmət müddəti:Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti yüksək temperaturlu epitaksiya şəraitində davamlılığı artırır.
• Aşağı hissəcik istehsalı:Sıx CVD SiC səthi hissəciklərin buraxılmasını azaldır və vafli prosesinin etibarlılığını artırır.
• Xüsusi dizayn qabiliyyəti:Avadanlıq tələblərinə uyğun olaraq müxtəlif ölçülərdə, strukturlarda və konfiqurasiyalarda mövcuddur.

2. Texniki spesifikasiyalar

3. Proqramlar

• SiC Epitaksiya Prosesi:Qrafit qəbuledicisi SiC epitaksial avadanlığında vafli daşıyıcı kimi istifadə olunur, yüksək temperaturda epitaksial böyümə zamanı SiC substratlarını dəstəkləyir.
• Silikon Epitaksiya Prosesi:Vafliləri dəstəkləmək və sabit istilik şəraitini saxlamaq üçün silikon epitaksial reaktorlarda tətbiq olunur.
• MOCVD Epitaksiyası:VETEK qrafit qəbulediciləri MOCVD, LED epitaksiya, GaN epitaksiya, silikon epitaksiya və əla istilik vahidliyi və kimyəvi sabitlik tələb edən digər yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün uyğundur.
• Yarımkeçiricilərin istehsalı üçün avadanlıq:LPE üfüqi sobaları, Aixtron, NuFlare və əlaqəli yarımkeçirici avadanlıqlar da daxil olmaqla müxtəlif epitaksiya platformaları ilə uyğun gəlir.

4. Niyə VETEK-i seçməlisiniz?

VETEK, qrafitin təmizlənməsi, dəqiq emal, CVD örtüyü və yoxlama imkanlarını birləşdirən fərdiləşdirilmiş CVD SiC örtüklü qrafit qəbuledici həllər təqdim edir. Yarımkeçirici dərəcəli qrafit qoruyucu məhsullarımız yüksək təmizlik, vahid örtük qalınlığı, əla istilik performansı və tələbkar vafli daşıyıcı tətbiqlər üçün uzun xidmət müddətinə malikdir.