Məhsullar

Veteksemicon SIC örtülmüş Epitaxial Reaktor Palatası, yarımkeçirici epitaxial böyümə prosesləri tələb edən əsas komponentdir. Qabaqcıl kimyəvi buxarlanma (CVD) istifadə edərək, bu məhsul yüksək səviyyədə temperaturlu sabitlik və korroziya müqaviməti ilə nəticələnən yüksək güclü bir qrafit substratında sıx, yüksək saflıq sic örtük yaradır. Bu, reaktiv qazların yüksək temperaturlu proses mühitində korroziv təsirlərinə təsirli şəkildə müqavimət göstərən, hissəciklərin çirklənməsində əhəmiyyətli dərəcədə böhranı verir, ardıcıl epitaksial maddi keyfiyyət və yüksək gəlirliliyi təmin edir və reaksiya otağının və ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə artırır. SIC və Gan kimi geniş bandgap yarımkeçiricilərin istehsal səmərəliliyinin və etibarlılığının yaxşılaşdırılması üçün əsas seçimdir.

Veteksemikondan silikon kaset gəmisi, oksidləşmə, yayılma, sürmə, sürmə, sürmə, sürmə, sürmə, sürmə və ilkinlik daxil olmaqla yüksək temperaturlu yarımkeçirici soba tətbiqləri üçün xüsusi hazırlanmış dəqiq mühəndisli bir operatordur. Ultra yüksək saflıq silikonundan hazırlanan və qabaqcıl çirklənmə idarəetmə standartlarına uyğun olaraq, silikon gofreylərinin xüsusiyyətlərinə yaxından uyğun bir termal sabit, kimyəvi cəhətdən inert bir platforma təmin edir. Bu hizalanma istilik stresini minimuma endirir, sürüşmə və qüsurlu formalaşmanı azaldır və dəstə boyunca müstəsna vahid istilik paylamasını təmin edir

Silikon karbid epitaksial artımının əsas prosesində Veteksemicon, süzcə performansının epitaksial qatının keyfiyyəti və istehsal səmərəliliyini birbaşa müəyyənləşdirdiyini başa düşür. Xüsusi olaraq SIC sahəsi üçün xüsusi olaraq hazırlanmış yüksək təmizlik EPI suseptorlarımız, xüsusi bir qrafit substratından və sıx bir CVD sic örtükdən istifadə edin. Üstün istilik sabitliyi, əla korroziya müqaviməti və olduqca aşağı hissəciklər nəsil dərəcəsi ilə, hətta sərt yüksək temperaturlu proses mühitində də müştərilər üçün misilsiz qalınlığı və dopinq vahidliyini təmin edirlər. Veteksemikon seçmək, inkişaf etmiş yarımkeçirici istehsal prosesləri üçün etibarlılıq və performansın təməl daşı seçmək deməkdir.

Veteksemik SIC örtüklü qrafit Suseptoru ASM, yarımkeçirici epitaxial proseslərdə əsas bir daşıyıcı komponentidir. Bu məhsul, yüksək performans və yüksək temperatur və aşındırıcı proses mühitində ultra uzun ömrü təmin etmək üçün mülkiyyət pirolitik silikon karbid örtük örtükləri və dəqiq emal proseslərimizdən istifadə edir. Substrat saflığı, istilik sabitliyi və ardıcıllıqla epitaxial proseslərin ciddi tələblərini dərindən başa düşürük və ümumi avadanlıq performansını artıran sabit, etibarlı həllər olan müştərilərə təqdim etmək üçün sadiqik.

Veteksemik yarımkeçirici-sinif kvarsları çarxları Czoxralski vahid kristal böyümə prosesində əsas istehlak materiallarıdır. Həddindən artıq saflıq və üstün istilik sabitliyi ilə əsas diqqətimiz kimi, temperatur və yüksək temperatur və yüksək təzyiq mühitində kristallaşmanın caralizasiyaya və əla müqavimət göstərən yüksək keyfiyyətli məhsullarla müştərilərlə təmin etmək əzmindədir. Bu, büllur çubuqların keyfiyyətini təmin edir, yarımkeçirici silikon vafli istehsalına daha yüksək məhsul və daha yaxşı xərclilik əldə etməyə kömək edir.

Veteksemicon Focus Ring, xüsusilə SIC tətbiqi tətbiqləri, xüsusilə SIC tətbiqi üçün xüsusi olaraq tələb olunan yarımkeçirici üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Elektrostatik Chuck (ESC) ətrafında quraşdırılmış, o, vafleyi ilə yaxınlıqda, əsas funksiyası, bütün vafli səthi boyunca vahid və diqqət mərkəzində olan plazma hərəkətini təmin edən reaksiya otağında elektromaqnit sahəsindəki paylamasını optimallaşdırmaqdır. Yüksək performanslı bir mərkəz üzüyü əhəmiyyətli dərəcədə etch dərəcəsi vahidliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır və kənar effektləri azaldır, məhsul gəlirini və istehsal səmərəliliyini artırır.