Məhsullar

Veteksemiconun CVD SIC SIC örtükləri Suseptor, Yarımkeçirici epitaxial proseslər üçün ən qabaqcıl bir həlldir, ultra yüksək saflıq (≤100ppb, ICP-E10 sertifikatlı) və çirklənmə davamlı böyüməsi üçün müstəsna istilik / kimyəvi sabitlik və silikon əsaslı epi-təbəqələr təklif edir. Precision CVD texnologiyası ilə mühəndis, 6 "/ 8" / 12 "Wafters, minimal istilik stresini təmin edir və 1600 ° C-ə qədər həddindən artıq temperaturu təmin edir.

SIC örtülmüş planetary suseptorumuz yarımkeçirici istehsalın yüksək temperatur prosesində əsas komponentdir. Dizayn, istilik idarəetmə performansının, kimyəvi sabitlik və mexaniki gücün hərtərəfli optimallaşdırılmasına nail olmaq üçün silikon karbid örtüyü ilə qrafit substratını birləşdirir.

Məsaməli SIC keramika plitələrimiz, əsas komponent kimi silikon karbiddən hazırlanmış və xüsusi proseslər tərəfindən işlənmiş məsaməli keramika materiallarıdır. Onlar yarımkeçirici istehsal, kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) və digər proseslərdə əvəzolunmaz materiallardır.

Epitaxy üçün SIC örtülmüş möhürləmə ringimiz, SIC-nin ekstremal ekoloji müqavimət göstərən və yarımkeçirici epitaxial avadanlıq (məsələn, yarımkeçirici epitaksial avadanlıqlar üçün hazırlanmış kimyəvi buxar depozit (CVD) ilə örtülmüş, və ya karbon karbonlu komponentlərdir.

Yüksək saflıq kvars gəmimiz əridilmiş kvarsdan hazırlanmışdır (Sio₂ məzmunu ≥ 99.99%). Ekstremal mühitlərə mükəmməl müqavimət, aşağı istilik genişləndirmə əmsalı və uzun ömür dövrü, yarımkeçirici və yeni enerji sənayesində istehlak edilə bilən bir açar halına gəldi.

Etching üçün diqqət üzüyü, prosesin dəqiqliyini və sabitliyini təmin etmək üçün əsas komponentdir. Bu komponentlər, plazma paylanmasının, kənar temperaturun və elektrik sahəsinin vahidliyini dəqiq nəzarət etməklə vaffer səthində nanoskale quruluşlarının vahid səthində vahid yerləşdirilməsini dəqiq şəkildə toplanmışdır.