Diffuziya sobası üçün kvars soba borusu

1. Əsas Xüsusiyyətlər və Üstünlüklər

• ppb səviyyələrində idarə olunan metal çirkləri və son dərəcə aşağı hidroksil tərkibi ilə ultra yüksək saflıqda dehidroksilləşdirilmiş əridilmiş kvars (SiO₂ ≥ 99,999%)

• 1100 °C-ə qədər uzunmüddətli işləmə temperaturu; 1200 °C-ə qədər qısamüddətli zirvə müqaviməti

• Tam gərginlik aradan qaldıran tavlamadan sonra əla termal zərbəyə davamlılıq—sürətli temperatur dəyişiklikləri zamanı çatlamağa davamlıdır

• Oksidləşdirici, reduksiya edən və halogen tərkibli texnoloji qazlara qarşı üstün kimyəvi təsirsizlik; plazma və aşındırıcı atmosferlər üçün uyğundur

• Çox az vakuum qazı çıxarma; hamar daxili divar əlavə məhsul yığılmasını minimuma endirir və prosesin təkrarlanmasını dəstəkləyir

• Etibarlı sızdırmazlıq üçün vahid divar qalınlığı, yüksək koaksiallıq və dəqiq işlənmiş ucları olan bir parça formalaşdırma

• Fərdiləşdirilə bilən strukturlar: düz borular, reduktor borular, flanşlı borular, uzadılmış uzunluqlar və şaquli və ya üfüqi sobalar üçün xüsusi son konfiqurasiyalar

2. Tipik Tətbiqlər

VeTek kvars soba boruları əsas reaksiya kamerası kimi geniş istifadə olunur:

• Termik oksidləşmə sobaları (quru/yaş oksidləşmə)

• Əlavə maddələrin daxil edilməsi üçün diffuziya sobaları (B, P, As və s.)

• nazik təbəqənin çökməsi üçün LPCVD sistemləri

• Vakuumla tavlama və digər yüksək temperaturlu istilik müalicəsi prosesləri

• 4 düym, 6 düym, 8 düym və 12 düymlük vafli platformalara uyğundur (Si, SiC, GaN, sapfir substratlar)

Onlar sabit temperatur vahidliyi, qaz axınına nəzarət və ultra təmiz proses mühitləri tələb edən məntiq, yaddaş, güc qurğusu, MCU, LED, MEMS və geniş diapazonlu yarımkeçirici istehsal xətlərini dəstəkləyir.

3. Əsas Texniki Parametrlər

• Material: Yarımkeçirici dərəcəli dehidroksilləşdirilmiş əridilmiş kvars (SiO₂ ≥ 99,999%), aşağı hidroksil, aşağı metal çirkləri

• Gofret uyğunluğu: 4/6/8/12 düym

• Uzunmüddətli iş temperaturu: −20 °C ilə 1100 °C arasında; 1200 °C-ə qədər qısamüddətli pik

• Proses: Bir hissəli termal formalaşdırma, divarın homogenləşdirilməsi, son bitirmə, gərginlik aradan qaldırıcı yumşalma, helium sızması testi, ultra təmiz təmizləmə

• Mövcud strukturlar: Düz boru, reduktor borusu, flanşlı boru, uzadılmış / xüsusi uzunluqlu boru, xüsusi son konfiqurasiyalar

• Fərdiləşdirmə: Daxili/xarici diametr, uzunluq, divar qalınlığı, flanş xüsusiyyətləri və müştəri təsvirlərinə görə xüsusi həndəsələr

4. Niyə VeTek Kvars soba borularını seçməlisiniz?

Yarımkeçirici kvars komponentlərinin peşəkar istehsalçısı kimi VeTek Semiconductor təklif edir:

• Oksidləşmə, diffuziya, LPCVD və yumşalma avadanlığı üçün hazırlanmış yüksək təmizlikli kvars soba boruları

• Ciddi təmizliyə nəzarət, ölçü dəqiqliyi və Sinif 10 / Class 100 təmiz otaq istehsalı üçün uyğun təmizlik

• Şaquli və üfüqi boru sobaları üçün tam fərdiləşdirmə və OEM-ə uyğun dizaynlar

• Tamamlayıcı yarımkeçirici kvars məhsulları, o cümlədən vafli qayıqlar, tigelər, laynerlər və digər proses komponentləri

Kvars soba borularımız sabit istilik və qaz axını şəraitini saxlamağa, hissəciklərin və metalların çirklənməsini minimuma endirməyə və davamlı yüksək temperatur dövriyyəsi altında xidmət müddətini uzatmağa kömək edir - yarımkeçiricilərin istilik emalında daha yüksək məhsuldarlığı və daha aşağı sahiblik dəyərini dəstəkləyir.