CVD SiC örtüklü qrafit hissələrinin təmizlənməsi xidməti

1. Qarşılaşa biləcəyiniz Çətinliklər

• Çətin Çıxarılan AlN Qatı:1300°C termal təmizləmə hələ də qalıq AlN təbəqəsini effektiv şəkildə aşındıra bilmir.

• Təkrarlanan Yaddaş Effekti:Səthi yaddaş effekti reaktorda qeyri-sabit qaz axınına səbəb olur və prosesin ardıcıllığına təsir göstərir.

• Təmizləmə dövrü zərbəsits Məhsuldarlıq:Tipik olaraq, hər 16 proses dövründən (4-5 həblər) xarici təmizləmə tələb olunur.

• Bahalı örtüklərin zədələnməsi ilə bağlı narahatlıq:Evdə kimyəvi təmizləmə təcrübəsinin olmaması operatorları aqressiv təmizləmə cəhdində tərəddüd edir.

2. Həllimiz – GaN / AlN / AlGaN Prosesləri üçün nəzərdə tutulmuşdur

• Peşəkar Təmizlik:CVD SiC örtüklü qrafit hissələri üçün xüsusi olaraq hazırlanmış xüsusi proses. Müştəridən heç bir kimyəvi formula tələb olunmur.

• Kaplama Təhlükəsizliyi:100 µm CVD SiC örtüyünü ciddi şəkildə qoruyur. Təmizləmədən sonra mütləq sıfır qalınlıq itkisi.

• Təsdiq edilə bilən nəticələr:Beş əsas ölçüsü əhatə edən Tam Təhlil Sertifikatı (COA). Məlumat arxivə və keyfiyyət auditinə hazırdır.

3. Beş Əsas Qəbul Kriteriyası

Yarımkeçirici epitaksiya istifadəçilərinin kritik tələblərinə ciddi şəkildə uyğundur:

1. Sıfır örtük itkisi– SiC örtüyünün qalınlığı təmizləndikdən sonra heç vaxt azalmır (qalınlığın əvvəlki/sonrası müqayisəsi).

2. Səthin deformasiyası yoxdur– Fiziki deformasiyanın olmaması üçün düzlük və həndəsi dəqiqlik ciddi şəkildə yoxlanılır.

3. Yaddaş Effektini aradan qaldırın– Al/Ga qalığı üçün XPS təhlili yaddaş effekti mənbələrinin hərtərəfli silinməsini təsdiqləyir.

4. Sıfır metal qalığı– Fe, Cu, Ni və digər metallar üçün ICP-MS sınağı sıfır qalıq metal çirkləri yoxlayır.

5. Həddindən artıq hissəciklər yoxdur– QIII hissəcik testi və təmizliyin yoxlanılması qalıq hissəciklərin yaratdığı qaz axınının qeyri-sabitliyinin qarşısını alır.

4. Çatdırılma Təftişi və COA Hesabatı

Hər bir partiya beş əsas ölçü üzrə tam yoxlama məlumatları ilə çatdırılır:

5. Tətbiq olunan Məhsullar və Proses Məlumatı

Məhsul parametrləri

Xidmət Prosesi

1. Sorğu– Qiymətləndirmə üçün hissə fotoşəkilləri / modeli / miqdarını göndərin.

2. Sitat– Texniki qiymətləndirmə və kotirovka ilə ətraflı təmizləmə təklifi.

3. Çatdırılma– Hissələri bizə göndərin və ya götürmə xidməti təşkil edin.

4. Təmizləmə– Peşəkar təmizlik + tam çoxölçülü yoxlama.

5. Hesabat– COA hesabatı verildi və təmizlənmiş hissələr geri qaytarıldı.

6. Təqib– Effektin izlənməsi və davamlı texniki dəstək.

6. Niyə VETEK Təmizlik Xidmətini Seçməlisiniz?

VETEK CVD SiC örtük texnologiyası üzrə dərin təcrübəni yüksək qiymətli qrafit tutucular üçün xüsusi təmizləmə imkanları ilə birləşdirir. Biz GaN/AlN epitaksiyasında örtük bütövlüyünün, hissəciklərə nəzarətin və proses təmizliyinin kritik əhəmiyyətini başa düşürük. Xidmətimiz yaddaş effekti və qaz axınının qeyri-sabitliyi məsələlərini tamamilə həll edərkən bahalı CVD SiC örtükləri üçün mütləq təhlükəsizlik tələb edən müştərilər üçün nəzərdə tutulmuşdur.

· Kiçik partiyalı yoxlama üçün sınaq təmizliyi mövcuddur

· Hər bir çatdırılma ilə təmin edilən tam COA hesabatı

· Örtüyün zədələnməsi və ya yeni çirklənmə riski sıfırdır

· Peşəkar · Təhlükəsiz · Doğrulana bilər