Aixtron G10 Solid SiC planetar reaktor komponentləri

1. Əsas Xüsusiyyətlər və Üstünlüklər

• Üstün aşınma və korroziyaya davamlılıq üçün tam sıx, bağlayıcısız Bərk SiC quruluşu

• 1500 °C-dən yuxarı temperaturda əla istilik keçiriciliyi və termal zərbəyə davamlılıq

• Çirklənmə riskini minimuma endirərək, ultra aşağı hissəciklərin yaranması və yüksək saflıq

• SiC epitaksiyasında istifadə olunan texnoloji qazlara qarşı üstün kimyəvi təsirsizlik

• Təkrarlanan yüksək temperatur dövriyyəsi altında uzun xidmət müddəti

• Etibarlı uyğunlaşma və proses sabitliyi üçün dəqiq ölçülü emaldan sıx ölçülü toleranslara qədər

 2. Tipik Tətbiqlər

Bu Solid SiC aksesuarları Aixtron G10 reaktorunun əsas funksional sahələrində istifadə olunur, o cümlədən:

• Qapaq lövhələri və seçilmiş örtük elementləri

• Qoruyucu üzüklər və yüksək aşınma komponentləri

• Dəqiq sancaqlar, yuyucular və kiçik struktur hissələri

• Sıx qaz axınına və ya termal yükə məruz qalan digər xüsusi yüksək təmizlikli əlavələr

Güclü MOSFETlər, diodlar və əlaqəli geniş diapazonlu cihazlar üçün yüksək həcmli SiC epitaksial artım zamanı sabit temperatur paylanması, vahid qaz tədarükü və aşağı qüsur sıxlığını dəstəkləyir.

3. Niyə Aixtron G10 üçün VeTek Solid SiC seçməlisiniz?

Yarımkeçirici dərəcəli materialların ixtisaslaşmış istehsalçısı kimi VeTek Semiconductor aşağıdakıları təmin edir:

• Aixtron G10 sistemləri üçün hazırlanmış yüksək təmizlikli Bərk SiC komponentləri, məsələn: Qapaq halqası，Daxili/xarici qapaqlar，aşağı çəkən/dəstək lövhəsi，Peyk diski，suseptor

• Ciddi təmizliyə nəzarət və dəqiq CNC emal

• CVD SiC örtüklü qrafit və istilik sahəsini tam əhatə etmək üçün TaC örtüklü hissələr daxil olmaqla tamamlayıcı həllər

• Xüsusi proses şərtlərinə və reaktor konfiqurasiyalarına uyğunlaşdırılmış xüsusi dizaynlar

Solid SiC aksesuarlarımız müştərilərə Aixtron G10 platformasının məhsuldarlıq üstünlüklərini - yüksək vafli çıxışı, əla qalınlıq və dopinq vahidliyi və rəqabətqabiliyyətli sahiblik dəyərini maksimum dərəcədə artırmağa kömək edir, eyni zamanda komponentin ömrünü uzadır və hissəciklərlə bağlı məhsul itkisini azaldır.