Xəbərlər

MOCVD epitaxy qrafit susseptorlarında silisium karbid örtüyünün kənarlarının saralması və soyulmasının səbəblərinin dərin təhlili. VeTek CVD-nin ilkin çökmə sürətinə və axın sahəsinə dəqiq nəzarət etməklə, örtük məhsuldarlığını 50%-dən 90%-ə qədər artırmaqla və yüksək təmizlikli qrafit hissələrinin xidmət müddətini uzatmaqla mikro-stressi aradan qaldırdı.

Çox cibli silikon epitaksili qrafit qəbuledicilərində 1,4% cibdən cibə qalınlıq dəyişikliyinə diqqət yetirərək, VeTek Semi, CVD axını sahəsinin simulyasiyası və ultra dəqiqlikli SiC örtüyü vasitəsilə qəbuledicinin düzlüyünü <0,08 mm-ə qədər yaxşılaşdırdı və variasiyanı 0,69%-ə endirdi və vaflinin məhsuldarlığını artırdı.

Vetek-in böyük ölçülü MOCVD SiC ilə örtülmüş qrafit tutucularında radial krekinqləri necə aradan qaldırdığını öyrənin. Struktur gərginlik tamponunun yenidən dizaynı və CTE uyğunluğu xidmət müddətini 300%+ artırdı.

SiC təkamülünün onilliyi - erkən 4 düymlük kommersiya problemlərindən bugünkü 8 düymlük vafli keçidə qədər. CVD SiC örtüklərinin, Solid SiC və TaC materiallarının etibarlı yarımkeçirici istehsalına necə imkan verdiyini kəşf edin.

SiC, GaN, LED və silikon yarımkeçiricilərin istehsalında istilik vahidliyini yaxşılaşdırmaq, çirklənməni azaltmaq və komponentlərin ömrünü uzatmaqla CVD SiC ilə örtülmüş qrafit reseptorlarının epitaksial böyüməni necə gücləndirdiyini öyrənin.

TaC ilə örtülmüş qrafit qızdırıcıların adi pBN örtüklü qızdırıcılarla müqayisədə GaN MOCVD epitaksiyasında temperaturun vahidliyini necə artırdığını, enerji istehlakını azaltdığını və xidmət müddətini necə uzatdığını kəşf edin.

CVD TaC örtüyünün karbon çirklənməsini azaltmaqla, qrafit komponentlərini qorumaqla, xidmət müddətini uzatmaqla və qabaqcıl yarımkeçiricilər istehsalı üçün kristal keyfiyyətini artırmaqla PVT sobalarında SiC kristal artımını necə yaxşılaşdırdığını kəşf edin.

CVD TaC örtüyünün niyə yarımkeçirici qrafit komponentləri üçün üstünlük verilən qoruyucu həllə çevrildiyini kəşf edin. Onun üstünlüklərini, SiC kristal artımında, GaN MOCVD və gofret daşıyıcılarında tətbiqlərini və davamlılığı, təmizliyi və prosesin sabitliyini necə yaxşılaşdırdığını öyrənin.

VETEK Pirolitik Karbon (PyC) ilə örtülmüş qrafit halqalarının SiC kristallarının böyüməsi, epitaksiya, CVD və yüksək temperaturlu yarımkeçirici proseslərdə istilik sabitliyini necə yaxşılaşdırdığını, çirklənməni azaltdığını və komponentin ömrünü necə uzatdığını öyrənin.

CVD TaC örtüyünün SiC kristalının böyüməsini və yarımkeçirici istehsalını ultra yüksək istilik sabitliyi, korroziyaya davamlılıq, çirklənmənin qarşısını almaq və MOCVD və epitaksiya tətbiqlərində üstün performansla necə yaxşılaşdırdığını kəşf edin.

Yüksək temperaturlu SiC epitaksiya sistemləri üçün əsas Aixtron G10 Komponentlərinə nəzər salın. Biz CVD SiC örtüklü qrafit hissələrini, TaC örtüklü komponentləri və istilik sahəsi strukturlarını əhatə edirik - və onların qabaqcıl yarımkeçirici istehsalında prosesin sabitliyinə, təmizliyə nəzarət və vafli məhsuldarlığına necə kömək etdiyini əhatə edirik.

LPE reaksiya kamerasında Halfmoon komponentinin nə olduğunu və onun SiC epitaksiya sistemlərində istilik sabitliyini, qaz axınının idarə edilməsini və reaktor quruluşunu necə dəstəklədiyini öyrənin. Qrafit materialları, CVD SiC örtüyü, TaC örtüyü və müasir yarımkeçirici reaktor texnologiyalarını araşdırın.

MicroLED gəlir dərəcələri ilə mübarizə aparırsınız? Sənaye liderlərinin istilik gərginliyini və hissəciklərin çirklənməsini həll etmək üçün niyə SiC substratlarına və TaC ilə örtülmüş MOCVD komponentlərinə keçdiyini kəşf edin. Növbəti nəsil GaN displeyləri üçün CVD SiC-nin texniki üstünlüyünü öyrənin

CVD SiC örtüyünün strukturu, performans xüsusiyyətləri və tipik tətbiqləri daxil olmaqla, yarımkeçirici proseslərdə necə istifadə edildiyini, həmçinin yüksək temperatur tətbiqlərindəki aktuallığını araşdırın.

CVD Solid SiC investisiya etməyə dəyərmi? Monolitik SiC-nin ROI-ni ənənəvi qrafit örtüklərlə müqayisə edin. Üstün plazma müqavimətinin və uzadılmış MTBC-nin 12 düymlük HVM xətləri üçün daha aşağı vafli qırıntı dərəcələrinə və daha yüksək avadanlıq işləmə müddətinə necə çevrildiyini öyrənin.

Yarımkeçiricilərin istehsalı üçün yüksək təmizlikli materiallar vacibdir. Bu proseslərə həddindən artıq istilik və aşındırıcı kimyəvi maddələr daxildir. CVD-SiC (Kimyəvi Buxar Depoziti Silikon Karbid) lazımi sabitliyi və möhkəmliyi təmin edir. İndi yüksək təmizliyi və sıxlığı səbəbindən qabaqcıl avadanlıq hissələri üçün əsas seçimdir.