Xəbərlər

Məsaməli SIC keramika plakası yarımkeçirici istehsal sahəsində əsas materiallardan biridir. Unikal quruluşu və əla fiziki xüsusiyyətləri ilə, məsaməli SIC keramika diski yüksək temperatur və aşındırıcı mühitlərdə əvəzolunmaz bir əsas komponent halına gəldi. Bu yazıda fiziki xüsusiyyətlərini, tətbiq ssenarisini və seçim üstünlüklərini dərindən təhlil edəcəyik.

Kvars Boat, yarımkeçirici istehsal prosesində istifadə olunan əsas yük daşıyan bir komponentdir. Əsasən yayma, oksidləşmə və yumrulama kimi gofretlərin yüksək temperaturlu emalı üçün istifadə olunur. Əla istilik sabitliyi, aşağı çirklənmə xüsusiyyətləri və korroziya müqaviməti onu yarımkeçirici sənayesində əvəzolunmaz bir material halına gətirir. Bu məqalə, kvars gəmisinin material, fiziki xüsusiyyətləri, təsnifatı, tətbiq ssenarilərini və PECVD qrafit gəmisinin fərqliliyini müzakirə edəcəkdir.

PECVD qrafit gəmisinin əsas materialı yüksək təmizlik izotrop qrafit materialıdır (saflıq adətən ≥99.9999%), bu, əla elektrik keçiriciliyi, istilik keçiriciliyi və sıxlığı olan. Adi qrafit gəmiləri ilə müqayisədə, PECVD qrafit gəmiləri çox sayda fiziki və kimyəvi mülkiyyət üstünlüklərinə malikdir və əsasən yarımkeçirici və fotovoltaik sənayesində, xüsusən də PECVD və CVD proseslərində istifadə olunur.

Mocvd qrafit qabları epitaksial prosesdə mühüm rol oynayır. Bu məqalə MOCVD qrafit qablarının seçimi ilə bağlı material xüsusiyyətlərinin və tətbiq ssenarilərinin perspektivlərindən olan məlumatların seçilməsi ilə bağlı ətraflı təhlil edir.