Xəbərlər

PECVD qrafit gəmisinin əsas materialı yüksək təmizlik izotrop qrafit materialıdır (saflıq adətən ≥99.9999%), bu, əla elektrik keçiriciliyi, istilik keçiriciliyi və sıxlığı olan. Adi qrafit gəmiləri ilə müqayisədə, PECVD qrafit gəmiləri çox sayda fiziki və kimyəvi mülkiyyət üstünlüklərinə malikdir və əsasən yarımkeçirici və fotovoltaik sənayesində, xüsusən də PECVD və CVD proseslərində istifadə olunur.

Mocvd qrafit qabları epitaksial prosesdə mühüm rol oynayır. Bu məqalə MOCVD qrafit qablarının seçimi ilə bağlı material xüsusiyyətlərinin və tətbiq ssenarilərinin perspektivlərindən olan məlumatların seçilməsi ilə bağlı ətraflı təhlil edir.

Qrafit materiallarında geniş tətbiq ssenariləri var. Onların arasında izotrop qrafit və silikonizasiya edilmiş qrafit iki əsas müxtəlif növ qrafit materiallarıdır və onların xüsusiyyətləri, tətbiq ssenariləri və üstünlükləri əhəmiyyətli dərəcədə fərqlidir. Bu bloq üç aspektdən müqayisəli təhlil aparacaq: struktur xüsusiyyətləri, tətbiq ssenariləri və məhsul üstünlükləri.

SIC keramika kimi tanınan silikon karbid keramika, bənzərsiz xüsusiyyətləri və müxtəlif sahələrdə geniş tətbiqetmələr olan çox yönlü bir materialdır. Aşağıda maddi tərkibi, fiziki xüsusiyyətləri, xüsusi tətbiqetmələr və yarımkeçirici örtük proseslərində və emal zamanı rast gəlinən ümumi problemlərin ətraflı müzakirəsidir.