Aixtron peyk vafli daşıyıcısı

Aixtron peyk vafli daşıyıcısı, epitaksial böyümə üçün wafters aparmaq üçün xüsusi istifadə olunan Aixtron Mocvd avadanlıqlarının ayrılmaz hissəsidir. Xüsusilə uyğundurepitaxial böyüməGan və silikon karbid (SIC) cihazlarının prosesi. Onun bənzərsiz "peyk" dizaynı yalnız qaz axınının vahidliyini təmin etmir, həm də gofret səthində film çöküntüsünün vahidliyini də yaxşılaşdırır.

Aixtronunvafli daşıyıcılarıadətən edilirsilikon karbid (sic)və ya CVD örtülmüş qrafit. Bunların arasında silikon karbid (SIC) əla istilik keçiriciliyi, yüksək temperatur müqaviməti və aşağı istilik genişləndirmə əmsalı var. CVD örtülmüş qrafit, korroziya müqavimətini və mexaniki gücünü artıra bilən kimyəvi bir buxar çöküntüsü (CVD) prosesi vasitəsilə silikon karbid filmi ilə örtülmüş qrafitdir. SIC və örtülmüş qrafit materialları, 1400 ° C-1,600 ° C qədər temperaturdan yapışa və epitaksial böyümə prosesi üçün vacib olan yüksək temperaturda əla istilik sabitliyinə malikdir.

Aixtron peyk vafli daşıyıcısı əsasən gofrets aparmaq və fırlatmaq üçün istifadə olunurMocvd prosesiEpitaksial böyümə zamanı vahid qaz axınının və vahid çöküntü təmin etmək.Xüsusi funksiyalar aşağıdakı kimidir:

● gofret fırlanma və vahid çökmə: Aixtron peyk daşıyıcısının fırlanması ilə, boşalma zamanı qazın, qazın vahid yatağını təmin etmək üçün qazın geniş yayılmasına imkan verən epitaksial artım zamanı sabit hərəkəti qoruya bilər.

● Yüksək temperaturlu və sabitlik: Silikon karbid və ya örtülmüş qrafit materialları, 1,400 ° C-1,600 ° C-ə qədər temperaturdan tab gətirə bilər. Bu xüsusiyyət, vafferin yüksək temperatur epitaxial böyüməsi zamanı deformasiya edilməməsini təmin edir, daşıyıcıın istilik genişlənməsinə mane olan epitaxial prosesə təsir etməkdən çəkinir.

● azaldılmış hissəcik nəsli: Yüksək keyfiyyətli daşıyıcı materiallar (SIC kimi), buxar çöküntüsü zamanı hissəcik nəslini azaldan hamar səthlərə malikdir və bununla da yüksək saflıq, yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici materiallar istehsal etmək üçün vacib olan çirklənmə ehtimalını minimuma endirən hamar səthlərə malikdir.

Veteksemicon'un Aixtron peyk vafli daşıyıcısı 100 mm, 150mm, 200 mm və daha da böyük vaffer ölçüləri və avadanlıqlarınız və proses tələblərinizə əsasən xüsusi məhsul xidmətlərini təmin edə bilər. Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağınıza ürəkdən ümid edirik.

CVD SIC Film Kristal quruluşunun SEM məlumatları：

Aixtron peyk vafli operator istehsal sexləri: