SiC örtüklü yarım ay qrafit hissələri

SiC epitaksial böyümə sobasının reaksiya kamerasında SiC örtüyü Halfmoon qrafit hissələri qaz axınının paylanması, istilik sahəsinə nəzarət və reaksiya atmosferinin vahidliyini optimallaşdırmaq üçün əsas komponentlərdir. Onlar adətən SiC örtükdən hazırlanırqrafit, yarımformanın üst və aşağı qrafit hissələrində, substrat sahəsini əhatə edən, yuxarı və aşağı qrafit hissələrində yerləşən bir yarım aylıq formada hazırlanmışdır.

    •Yuxarı HalfMoon Qrafit hissəsi: reaksiya kamerasının yuxarı hissəsində, qaz girişinin yaxınlığında quraşdırılmış, reaksiya qazının substrat səthinə doğru axmasına rəhbərlik etmək üçün cavabdehdir.

    •Aşağı yarım ay qrafit hissəsi: reaksiya kamerasının dibində, adətən substrat tutucunun altında yerləşir, qaz axınının istiqamətini idarə etmək və substratın altındakı istilik sahəsini və qaz paylanmasını optimallaşdırmaq üçün istifadə olunur.

ƏrzindəSiC epitaksi prosesi, yuxarı yarım ay qrafit hissəsi qaz axınının substratda bərabər paylanmasına kömək edir, qazın substrat səthinə birbaşa təsir etməsinin qarşısını alır və yerli həddindən artıq istiləşməyə və ya hava axınının turbulentliyinə səbəb olur. Aşağı yarımay qrafit hissəsi qazın substratdan rəvan axmasına və sonra boşaldılmasına imkan verir, eyni zamanda turbulentliyin epitaksial təbəqənin böyümə vahidliyinə təsir göstərməsinin qarşısını alır.

İstilik sahəsinin tənzimlənməsi baxımından，SiC örtüyü Halfmoon qrafit hissələri forma və mövqe ilə reaksiya kamerasında istiliyi bərabər paylamağa kömək edir. Üst yarım ay qrafit hissəsi substratın üstündəki temperaturun sabit olmasını təmin etmək üçün qızdırıcının parlaq istiliyini effektiv şəkildə əks etdirə bilər. Aşağı yarımay qrafit hissəsi də oxşar rola malikdir, həddindən artıq temperatur fərqlərinin qarşısını almaq üçün istilik keçiriciliyi vasitəsilə substratın altındakı istiliyi bərabər paylamağa kömək edir.

SiC örtüyü komponentləri yüksək temperaturlara davamlı və istilik keçirici edir, beləliklə, VeTek Semiconductor-un yarım ay hissələri uzun xidmət müddətinə malikdir. Diqqətlə hazırlanmış, SiC epitaksisi üçün yarım ay qrafit hissələrimiz bir çox epitaksial reaktorlara mükəmməl şəkildə inteqrasiya oluna bilər və yarımkeçiricilərin istehsalı prosesinin ümumi səmərəliliyini və etibarlılığını yaxşılaşdırmağa kömək edir. SiC örtüyünüz Halfmoon qrafit hissələrinə nə lazımdırsa, VeTek Semiconductor ilə əlaqə saxlayın.

SuçuSiC örtüklü yarım ay qrafit hissələri mağazaları: