Bərk Silikon Karbid Fokuslama Üzük

Veteksemicon Solid Silicon Carbide Focusing Ring yarımkeçirici istehsalında əsas komponentdir və strateji olaraq birbaşa əlaqə saxlamaq üçün vaflidən kənarda yerləşdirilir. Tətbiq olunan gərginlikdən istifadə edərək, bu halqa plazmanı onun üzərindən keçən plazmaya yönəldir və bununla da vaflidə prosesin vahidliyini artırır. Yalnız Kimyəvi Buxar Depoziti Silikon Karbidindən (CVD SiC) hazırlanmış bu fokuslama halqası yarımkeçirici sənayenin tələb etdiyi müstəsna keyfiyyətləri özündə cəmləşdirir. Biz Veteksemicon-da yüksək keyfiyyəti qənaətcilliklə birləşdirən yüksək performanslı Bərk Silikon Karbid Fokuslama Üzüklərinin istehsalına və təchizatına həsr olunmuşuq.

Məhsulun Üstünlükləri

Ənənəvi ilə müqayisədəSilikon (Si) və ya Sinterləşdirilmiş Silikon Karbid (Sintered SiC) fokus halqaları, məhsulumuz əsas ölçülərdə üstündür:

Xüsusilə, silisium karbidin keçiriciliyi və ion aşındırılmasına qarşı müqaviməti silisiuma yaxındır və təkmilləşdirilmiş performans təmin edərkən mövcud yarımkeçirici istehsal prosesləri ilə uyğunluğu təmin edir - Veteksemicon Solid Silicon Carbide Focusing Ring-i bu kritik tətbiq üçün ideal material seçimi edir.

Veteksemicon Solid Silicon Carbide Focusing Ring, yarımkeçiricilər istehsalı sahəsində ən müasir həll yolu kimi dayanır. Etibarlı, yüksək dəqiqlikli və yüksək effektiv aşındırma proseslərini asanlaşdırmaq üçün  CVD SiC-nin unikal material üstünlüklərindən tam şəkildə istifadə edir və gələcək nəsil yarımkeçirici texnologiyasının inkişafına əhəmiyyətli dərəcədə töhfə verir.