Cvd sic örtüklü wafer barel sahibi

Metal üzvi kimyəvi buxarlanma (MOCVD), yarımkeçirici lazer və LAZER, xüsusilə Gan Epitaxy istehsalında geniş istifadə olunan ən isti epitaxial böyümə texnologiyasıdır. Epitaxy, büllur substratdakı başqa bir kristal filmin böyüməsinə aiddir. Epitaxy texnologiyası yeni yetişən kristal filmin əsas kristal substrat ilə struktur olaraq uyğunlaşdırılmasını təmin edə bilər. Bu texnologiya, yüksək performanslı yarımkeçirici cihazların istehsalı üçün vacib olan substratda xüsusi xüsusiyyətləri olan filmlərin böyüməsinə imkan verir.

Wafer Barrel sahibi epitaxial böyümə sobasının əsas komponentidir. CVD SIC örtükləri vafli sahibi müxtəlif CVD epitaxial böyümə sobalarında, xüsusən mocvd epitaxial böyümə sobalarında geniş istifadə olunur.

Funksiyaları və feCVD SIC örtüklü korpuslu wafer barel sahibi

● daşıma və istilik substratları: CVD SIC örtülmüş barel suseptor, substratları aparmaq və MOCVD prosesi zamanı lazımi istilik vermək üçün istifadə olunur. CVD SIC örtülmüş vafli barel sahibi yüksək təmizlik qrafit və sic örtükdən ibarətdir və əla performansdan ibarətdir.

● vahidlik: MOCVD prosesi zamanı, qrafit barel sahibi epitaksial qatın vahid böyüməsinə nail olmaq üçün davamlı olaraq dönür.

● Termal sabitlik və istilik vahidliyi: SIC örtülmüş barel suseptorunun sic örtüyü əla istilik sabitliyi və termal vahidliyi və bununla da epitaksial qatın keyfiyyətini təmin edir.

● çirklənmədən çəkinin: CVD SIC ilə örtülmüş vafli barel sahibi, əməliyyat zamanı çirkləndirən çirkləndirmələrin çıxarılmaması üçün əla sabitliyinə malikdir.

● ultra uzunluğu ömrü: SIC örtükləri səbəbindən, CVD SIC ilə örtülmüş bArrel Suseptor, MOCVD-nin yüksək temperaturu və aşındırıcı qaz mühitində hələ də kifayət qədər davamlılığa malikdir.

Barel CVD reaktorunun sxematik

Vetek yarımkeçiricinin CVD sic örtülmüş vafli barel sahibinin ən böyük xüsusiyyəti

● özelleştirmənin ən yüksək dərəcəsi: Qrafit substratının maddi tərkibi, SIC örtüyünün maddi tərkibi və qalınlığı və gofret sahibinin quruluşu hamısı müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq özelleştirilebilir.

● Digər təchizatçılardan qabaq olmaq: Vetek yarımkeçiricinin SIC örtüklü qrafit barel suseptoru, ePi üçün də müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq düzəldilə bilər. Daxili divarda müştəri ehtiyaclarına cavab vermək üçün mürəkkəb nümunələr edə bilərik.

Yarandığı gündən etibarən Vetek yarımkeçiricisi SIC örtük texnologiyasının davamlı araşdırılmasına sadiqdir. Bu gün Vetek yarımkeçiricisi sənayenin aparıcı sic örtük məhsulu gücünə malikdir. Vetek Yarımkeçirici, CVD SIC örtüklü vafli barel sahibi məhsullarında ortağınızın olmasını gözləyir.

CVD SIC örtüklü film kristal quruluşunun SEM məlumatları

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri