Yüksək saflıq sic cantilever avar

Yüksək saflıq SIC Cantilever Paddle, yarımkeçirici emal avadanlıqlarında istifadə olunan əsas komponentdir. Məhsul yüksək saflıq silikon karbiddən (SIC) materialdan hazırlanmışdır.  Müştərilər sərbəst sikilmiş sic materialı və ya recrystaled sic materialını sərbəst seçə bilərlər. Yüksək saflıq, yüksək istilik sabitliyi və korroziyaya davamlılığının əla xüsusiyyətlərinin köməyi ilə, vaffer ötürmə, dəstək və yüksək temperatur emalı, prosesin dəqiqliyini və məhsul keyfiyyətini təmin etmək üçün etibarlı zəmanət vermək kimi proseslərdə geniş istifadə olunur.

Yüksək saflıq SIC Cantilever Avar, yarımkeçirici emal prosesində aşağıdakı xüsusi rolları oynayır:

Vaffer: Yüksək saflıq sic cantilever avar, ümumiyyətlə yüksək temperaturlu diffuziya və ya oksidləşmə sobalarında vafli köçürmə cihazı kimi istifadə olunur. Yüksək sərtliyi, taxılmaya davamlı və uzunmüddətli istifadə zamanı deformasiya etmək asan deyil və ötürmə prosesi zamanı vafferin dəqiq yerləşdirilməsini təmin edə bilər. Yüksək temperaturu və korroziya müqaviməti ilə birlikdə, vafonların geniş temperaturu içərisində və boşaltma mühitində soba borusuna təhlükəsiz bir şəkildə köçürə bilər.

Vaffer: SIC materialı, istilik genişlənməsinin aşağı əmsalına malikdir, bu da onun ölçüsü, temperatur dəyişdikdə, bu müddətdə dəqiq nəzarəti qorumağa kömək edəndə daha az dəyişir. Kimyəvi buxarda (CVD) və ya fiziki buxarlanma (PVD) proseslərində (PVD) proseslərində, sic cantilever yastığı, depozit prosesi zamanı vaflonun sabit və düz qalmasını təmin etmək üçün vaflonu dəstəkləmək və düzəltmək üçün istifadə olunur.

Yüksək temperatur proseslərinin tətbiqi: Sic Cantilever avarası əla istilik sabitliyi və 1600 ° C-ə qədər temperaturdan yapışa bilər. Buna görə, bu məhsul yüksək temperaturun təmizlənməsi, oksidləşmə, yayılma və digər proseslərdə geniş istifadə olunur.

Yüksək saflıq sic cantilever avarisinin əsas fiziki xüsusiyyətləri:

Yüksək saflıq sic cantilever avardükan:

Yarımkeçirici Chip Epitaxy Sənaye Zəncirinə Baxış: