Silisium karbidlə örtülmüş epi həb

Yarımkeçirici epitaksiya qaz fazı, maye faza və ya molekulyar şüa çöküntüsü kimi üsullarla substrat materialının səthində xüsusi qəfəs quruluşuna malik nazik təbəqənin böyüməsinə aiddir, beləliklə, yeni yetişən nazik film təbəqəsi (epitaksial təbəqə) substratla eyni və ya oxşar qəfəs quruluşu və istiqaməti. 

Epitaksiya texnologiyası yarımkeçiricilərin istehsalında, xüsusilə yüksək performanslı cihazların istehsalı üçün istifadə olunan monokristal təbəqələr, heterostrukturlar və kvant strukturları kimi yüksək keyfiyyətli nazik filmlərin hazırlanmasında mühüm əhəmiyyət kəsb edir.

Silisium karbidlə örtülmüş Epi susseptor epitaksial böyümə avadanlığında substratı dəstəkləmək üçün istifadə olunan əsas komponentdir və Silikon epitaksiyada geniş istifadə olunur. Epitaksial postamentin keyfiyyəti və performansı epitaksial təbəqənin böyümə keyfiyyətinə birbaşa təsir göstərir və yarımkeçirici cihazların son performansında mühüm rol oynayır.

Vetek yarımkeçiricisi, CVD metodu ilə SGL qrafitinin səthində sic örtüklü bir təbəqəni örtdü və yüksək temperatur müqaviməti, oksidləşmə müqaviməti, korroziya müqaviməti və istilik vahidliyi kimi xüsusiyyətləri olan sic örtülmüş EPI suseptoru əldə etdi.

Tipik bir barel reaktorunda, silikon karbid örtüklü EPI suseptoru bir barel quruluşuna malikdir. SIC örtülmüş EPI suseptorunun dibi fırlanan şaftla bağlıdır. Epitaxial böyümə prosesi zamanı saat yönünün əksinə və saat yönünün əksinə dəyişir. Reaksiya qazı, qaz axını reaksiya otağında kifayət qədər vahid paylama meydana gətirməsi və nəhayət vahid epitaxial təbəqə böyüməsi meydana gətirməsi üçün reaksiya qazı

SIC örtülmüş qrafitinin və oksidləşmə vaxtının kütləvi dəyişməsi arasındakı əlaqə

Dərc olunan tədqiqatların nəticələri göstərir ki, 1400 ℃ və 1600 ℃-də, SIC örtüklü qrafit kütləsi çox az artır. Yəni, Sic örtüklü qrafit güclü bir antioksidan tutumuna malikdir. Buna görə, sic örtülmüş EPI suseptoru ən çox epitaxial sobalarda uzun müddət işləyə bilər. Daha çox tələbləriniz və ya fərdi ehtiyaclarınız varsa, bizimlə əlaqə saxlayın. Biz ən keyfiyyətli SiC ilə örtülmüş Epi həssas həlləri təqdim etməyə sadiqik.

CVD SIC örtüklərinin əsas fiziki xüsusiyyətləri

VeTek yarımkeçiriciSilicon Carbide örtüklü Epi susseptor mağazalar