TAC örtükləri

Vetek yarımkeçiricisi Tac örtülmüş suseptoru vəTAC örtülmüşdürüzükLPE silikon karbiddə epitaksial böyümə reaktorunda birlikdə işləmək:

● Yüksək temperaturlu müqavimət: TheTac örtüklüSuseptor, 1500 ° C-ə qədər ekstremal temperatura tab gətirə bilən əla yüksək temperatur müqavimətinə malikdirLpe reaktoru. Bu, avadanlıq və komponentlərin uzunmüddətli əməliyyat zamanı deformasiya və ya zədələnməməsini təmin edir.

● Kimyəvi sabitlik: TAC örtüklü suseptor, korroziv silikon karbidin böyümə mühitində olduqca yaxşı yerinə yetirir, reaktor komponentlərini aşındırıcı kimyəvi hücumdan effektiv şəkildə qoruyur və bununla da xidmət həyatını uzadır.

● İstilik sabitliyi: TAC örtükləri suseptoru, silikon karbid epitaksial təbəqələrinin yüksək keyfiyyətli böyüməsi üçün faydalı olan reaktorun temperatur sahəsinin vahidliyini təmin etmək üçün səth morfologiyasını və pürüzünün təmin edilməsini təmin edən yaxşı istilik sabitliyinə malikdir.

● çirkləndirmə əleyhinə: Hamar TAC örtülmüş səthi və üstün TPD (temperatur proqramlaşdırılmış desorbsiya) performansı, epitaksial təbəqələrin çirklənməsinə mane olan reaktorun içərisində hissəciklər və çirklərin yığılması və çirkləri yığıncaq və çirklərin adsorbsiyasını minimuma endirə bilər.

Xülasə, TAC örtülmüş suseptor və üzük LPE silikon karbid epitaxial böyümə reaktorunda, avadanlıqların uzunmüddətli sabit işləməsini və epitaksial təbəqələrin yüksək keyfiyyətli böyüməsini təmin edən kritik qoruyucu rol oynayır.