Məsaməli tantal karbid (TaC) ilə örtülmüş qrafit üzük

Məhsul Xüsusiyyətləri

• Əsas Avadanlıq:PVT texnologiyası ilə işləyən SiC monokristal inkişaf sobaları üçün nəzərdə tutulub.
• Əsas tətbiq:Üçüncü nəsil yarımkeçirici SiC kristal artımında istilik sahə sistemləri üçün uyğundur.
• Yüksək temperaturda sabitlik:TaC örtüyü ultra-yüksək temperaturda struktur bütövlüyünü saxlayır və tələbkar istilik mühitlərində uzun müddət işləməyi dəstəkləyir.
• Korroziyadan qorunma:Sıx CVD TaC təbəqəsi qrafit substratını SiC-nin böyüməsi zamanı rast gəlinən silikon buxarından, karbon daşıyan qazlardan və digər korroziyalı növlərdən qoruyur.
• Termal Sahə Performansı:Məsaməli qrafit bazası sabit böyümə şəraitini saxlamağa kömək edən istilik paylanmasına və buxar daşınmasına kömək edir.
• Aşağı çirklənmə:Yüksək təmizlikli başlanğıc materialları və sıx örtük, kristal keyfiyyətindən faydalanaraq, çirkin buraxılmasını və hissəciklərin tökülməsini məhdudlaşdırır.
• Uzadılmış Ömrü:TaC təbəqəsi oksidləşmə müqavimətini, səth sərtliyini və yüksək temperaturda ümumi dayanıqlığı yaxşılaşdırır.
• Kaplama yapışması:CVD prosesi TaC filmi ilə qrafit substratı arasında güclü bir əlaqə yaradır.
• Fərdi Seçimlər:Ölçülər, struktur detallar və örtük spesifikasiyası müxtəlif SiC artım soba tələblərinə uyğunlaşdırıla bilər.

Texniki Spesifikasiyalar

Tətbiqlər

VETEK məsaməli TaC örtüklü qrafit üzük əsasən aşağıdakılarda istifadə olunur:

• PVT vasitəsilə SiC tək kristal artımı
• Üçüncü nəsil yarımkeçiricilərin istehsalı
• SiC substratının istehsalı
• Kristal yetişdirmə sobalarında istilik sahəsi sistemləri
• Yüksək temperaturlu yarımkeçiricilərin emalı
• Qabaqcıl qrafit isti zona komponentləri

Tez-tez verilən suallar

1. Məsaməli TaC ilə örtülmüş qrafit üzük nədir?

Bu, SiC kristal inkişaf sobaları üçün termal sahə komponentidir. O, termal idarəetmə və yüksək temperatur korroziyasına qarşı qorunma təmin etmək üçün məsaməli qrafit strukturunu CVD TaC örtüyü ilə birləşdirir.

2. SiC kristalının böyüməsi üçün niyə TaC örtüyü istifadə olunur?

TaC yüksək temperatur sabitliyi və kimyəvi müqavimət təmin edir. O, qrafiti silikon buxarının hücumundan qoruyur və təmiz, sabit böyümə mühitini saxlamağa kömək edir.

3. Məsaməli qrafit strukturu nə təklif edir?

Məsaməli dizayn istilik paylanması və soba daxilində qaz nəqlini dəstəkləyir, bu da SiC kristallarının sabit böyüməsi şəraitinə kömək edir.

4. VETEK fərdiləşdirilmiş TaC örtüklü qrafit üzüklər istehsal edə bilərmi?

Bəli. VETEK ölçüləri, substratın konfiqurasiyası və örtük parametrləri daxil olmaqla, müştəri rəsmləri, soba dizaynları və proses ehtiyacları əsasında fərdiləşdirmə təklif edir.