Tac örtülmüş qrafit bələdçisi üzüyü

TAC (Tantalum Carbide) örtülmüş qrafit bələdçisi üzüyü, epitaxial çökmə və plazma kimi proseslərdə yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan kritik bir komponentdir. Bu üzüklər etibarlı şəkildə saxlamaq və yüksək temperatur və sərt kimyəvi mühitlərdə dəqiq uyğunlaşma və sabitliyi təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Bələdçi üzüklərimiz, müasir yarımkeçirici istehsalın ciddi tələblərini ödəmək üçün mühəndis, proses məhsuldarlığını və vafli keyfiyyətini yaxşılaşdırmağa kömək edir.

Maddi kompozisiya və fiziki xüsusiyyətlər

Tac örtüklü qrafit bələdçisinin əsası, daha sonra tantal karbid (TAC) bir təbəqə ilə örtülmüş yüksək təmizlik qrafit üzüyüdir.

Qrafit substrat:

Qrafit bir neçə əsas üstünlük verir. Yarımkeçirici emalda ümumi temperaturda deformasiyaya qarşı çıxan əla istilik sabitliyinə malikdir. Onun yüngül təbiəti, sürətlə istilik və soyutma dövrlərinə imkan verən istilik kütləsini minimuma endirir. Yüksək təmizlik qrafiti də proses otağının çirklənməsinin qarşısını alır.

CVD TAC örtüyü:

Tantalum karbid örtüyü, üzükün üstün performansının açarıdır. TAC, müstəsna aşınma müqaviməti və kimyəvi inertlik təklif edən son dərəcə sərt bir keramika materialdır. Təcavüzkar plazma və korrozik qazlardan əsas qrafiti qoruyur, üzükün ömrünü xeyli uzadır. Bu örtük, təmiz bir proses mühitinin qorunması və gofret səthindəki qüsurların qarşısını almaq üçün çox vacib olan hissəciklərin qarşısını alır.

Gofret emalında bələdçi üzüklərin rolu

Tac örtülmüş bələdçi halqamız yarımkeçirici istehsalın keyfiyyəti və səmərəliliyinin təmin olunmasında həyati rol oynayır.

● vafli hizalanma və sabitlik: Epitaksial böyümə və ya etching zamanı bələdçi üzük vafleri dəqiq bir vəziyyətdə saxlayır. Bu, vafferin dəyişməsindən mane olur ki, bu, vahid təbəqə çöküntüsü və bütün vafli səthində dəqiq naxış ötürülməsi üçün vacibdir.

● Termal rəhbərliyi: Qrafit və tantalum karbid örtüklərinin istilik xüsusiyyətləri səmərəli istilik paylanması və idarə olunmasını təmin edir. Bu, ardıcıl film qalınlığı və maddi xüsusiyyətləri üçün zəruri olan gofretin vahid temperativ profilini qorumaq üçün vacibdir.

● Çirklənmə nəzarəti: Yüksək təmizlik materialları və davamlı TAC örtükləri hissəcik nəslini və üst-üstə düşür. Bu, daha yüksək cihaz məhsuldarlığı və etibarlılığına aparan vafli çirklənmə və qüsurların riskini azaldır.

● Uzadılmış komponent ömrü: Sağlam Tantalum karbid örtüyü plazma eroziyasına və kimyəvi hücumlara əla müqavimət göstərir. Bu, bələdçi halqasının əməliyyat həyatını genişləndirir, istismar müddətini azaltmaq və mülkiyyətin ümumi dəyərinin azaldılması.