Tac örtüklü chuck

Vetek yarımkeçiricisi TAC örtüklü Chuck, SIC EPI prosesində müstəsna nəticələrə nail olmaq üçün ideal bir həlldir. Tantalum karbid örtüyü, yüksək temperaturlu müqavimət və kimyəvi inertlilik ilə məhsulumuz, dəqiq və etibarlılıq ilə yüksək keyfiyyətli kristallar istehsal etməyinizə imkan verir.

Tac Tantalum Carbide, epitaksial avadanlıqların daxili hissələrinin səthini örtmək üçün ümumiyyətlə istifadə olunan bir materialdır. Aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:

● Əla yüksək temperatur müqaviməti: Tantalum karbid örtüyü 2200 ° C-ə qədər temperaturdan dözə bilər, epitaxial reaksiya otaqları kimi yüksək temperatur mühitində tətbiqlər üçün ideal hala gətirir.

● Sərtlik: Tantalum karbidinin sərtliyi 2000 hk-yə çatır, bu, tamamilə istifadə olunan paslanmayan poladdan və ya alüminium ərintisindən daha çətin olan, bu da səth köhnəlməsinin qarşısını ala bilər.

● Güclü kimyəvi sabitlik: Tantalum karbid örtüyü kimyəvi cəhətdən aşındırıcı mühitlərdə yaxşı çıxış edir və epitaxial avadanlıq komponentlərinin xidmət həyatını çox genişləndirə bilər.

● Yaxşı elektrik keçiriciliyi: Örtük səthi elektrostatik buraxma və istilik keçiriciliyinə uyğun olan yaxşı elektrik keçiriciliyi var.

Bu xüsusiyyətlər TAC Tantalum karbid örtüyünü, daxili kollar, reaksiya kamerası divarları və epitaksial avadanlıqlar üçün istilik elementləri kimi kritik hissələri istehsal etmək üçün ideal bir material hazırlayır. Bu komponentləri TAC ilə örtərək, epitaxial avadanlıqların ümumi performans və xidmət müddəti yaxşılaşdırıla bilər.

Silikon Carbide Epitaxy üçün Tac örtükləri də mühüm rol oynaya bilər. Səthi örtük yüksək keyfiyyətli silikon karbid filmlərinin meydana gəlməsinə uyğun olan hamar və sıxdır. Eyni zamanda, TAC-ın əla istilik keçiriciliyi avadanlıqların içərisində temperaturun paylanmasının vahidliyini yaxşılaşdırmağa və bununla da epitaksial prosesin temperaturun idarəetmə dəqiqliyini yaxşılaşdırmağa və nəticədə daha yüksək keyfiyyətə çatmasına kömək edə bilərsilikon karbid epitaxialqat böyüməsi.

Vetek yarımkeçiricisi məhsulları mağazaları: