QR kodu

Bizim haqqımızda
Məhsullar
Bizimlə əlaqə saxlayın
Telefon
Faks
+86-579-87223657
E-poçt
Ünvan
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çini
Vetek Yarımkeçirici Solid Silicon Carbide, plazma etching avadanlıqlarında, bərk silikon karbiddə əhəmiyyətli bir keramika komponentidir (Cvd silikon karbid) Etching avadanlıqındakı hissələr daxildirfokus halqalar, Qaz duşu başlığı, tepsisi, kənar üzüklər və s. Qatı silikon karbidinin (cvd silikon karbid) və flüor ehtiva edən ətlər qazı və digər komponentlər üçün ideal bir materialdır.
Məsələn, Focus Ring, vuldanın kənarında və vafdanın kənarındakı bir voltajla birbaşa təmasda olan vacib bir hissə, üzükdən keçən plazmana diqqət yetirərək, beləliklə plazmanın emalının vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün plazmanın genişliyinə yönəldərək voltajla və vafdanın xaricində bir voltage ilə birbaşa təmasda olmasıdır. Ənənəvi Focus Ring silikondan hazırlanmış və yakuartzKeçirici silikon, ümumi bir mərkəz üzük materialı olaraq, silikon gofreyi, çatışmazlığı demək olar ki, çatışmazlığı, az vaxtlarda istifadə olunan flüor tərkibli plazma, tire ehtiva edən maşın hissələri materialları, istehsal səmərəliliyini ciddi şəkildə azaldır.
SOlid SIC Focus Ringİş prinsipi:
SI əsaslı diqqət üzük və CVD SIC Fokuslu üzüyü müqayisə edin:
SI əsaslı diqqət üzük və CVD SIC-nin diqqət mərkəzində olan halqanın müqayisəsi | ||
Maddə | Və | CVD SIC |
Sıxlıq (g / sm)3) | 2.33 | 3.21 |
Band Gap (EV) | 1.12 | 2.3 |
İstilik keçiriciliyi (w / sm ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (X10-66/ ℃) | 2.6 | 4 |
Elastik Modulus (GPA) | 150 | 440 |
Sərtlik (GPA) | 11.4 | 24.5 |
Aşınma və korroziyaya qarşı müqavimət | Yoxsul | Əla |
Vetek yarımkeçiricisi, semikkeçirici avadanlıqlar üçün sic, sidik silikon karbid (CVD silikon karbid) hissələrini təklif edir. Mexanik güc, kimyəvi müqavimət, istilik keçiricilik, yüksək temperatur davamlılığı, yüksək temperatur davamlılığı və ion ayırma müqaviməti baxımından ənənəvi silikonun ənənəvi silikondan üstün olması.
Azaldılmış etching dərəcələri üçün yüksək sıxlıq.
Yüksək bir band qodu ilə əla izolyasiya.
Yüksək istilik keçiriciliyi və istilik genişləndirilməsi aşağı əmsalı.
Üstün mexaniki təsir müqaviməti və elastikliyi.
Yüksək sərtlik, aşınma müqaviməti və korroziya müqaviməti.
İstehsal olunurPlazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma çökməsi (pecvd)Texnikalar, SIC-nin diqqət mərkəzində olan üzüklər, yarımkeçirici istehsalda proseslərin artan tələblərinə cavab verir. Xüsusi olaraq, daha yüksək plazma gücünə və enerjiyə tab gətirmək üçün hazırlanmışdırCapitivly birləşdirilmiş plazma (CCP)sistemləri.
Vetek yarımkeçiricinin SIC fokuslanması üzüklər yarımkeçirici cihaz istehsalında müstəsna performans və etibarlılığı təmin edir. Üstün keyfiyyət və səmərəlilik üçün SIC komponentlərimizi seçin.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Çini
Müəllif hüquqları © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co, Ltd Bütün hüquqlar qorunur.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |