Veb Menyu

Məhsul Axtarışı

Dil

Məhsullar

Bərk silisium karbid

VeTek Yarımkeçirici Bərk Silikon Karbid plazma aşındırma avadanlıqlarında mühüm keramika komponentidir, bərk silisium karbid(CVD silisium karbid) aşındırma avadanlığının hissələri daxildirfokus halqaları, qaz duş başlığı, nimçə, kənar halqalar və s. Bərk silisium karbidinin (CVD silisium karbid) xlor və flüor tərkibli aşındırıcı qazlara aşağı reaktivliyi və keçiriciliyinə görə o, plazma aşındırma avadanlığı üçün ideal materialdır. komponentlər.


Məsələn, fokus halqası vaflidən kənarda yerləşdirilən və vafli ilə birbaşa təmasda olan mühüm hissədir, halqadan keçən plazmanı fokuslamaq üçün halqaya gərginlik tətbiq etməklə və bununla da plazmanın vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün vafli üzərində fokuslanır. emal. Ənənəvi fokus halqası silikondan və ya hazırlanırkvars, ümumi fokus halqa material kimi keçirici silikon, demək olar ki, silikon vafli keçiriciliyinə yaxındır, lakin çatışmazlığı flüor tərkibli plazmada zəif aşındırma müqavimətidir, tez-tez bir müddət istifadə olunan maşın hissələri materialları aşındırır, ciddi olacaq korroziya fenomeni, onun istehsal səmərəliliyini ciddi şəkildə azaldır.


Sköhnə SiC Focus Ringİş prinsipi：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Və əsaslı fokuslama halqası və CVD SiC fokuslama halqasının müqayisəsi:

Və əsaslı fokuslama halqası və CVD SiC fokuslama halqasının müqayisəsi
Maddə Və CVD SiC
Sıxlıq (q/sm3) 2.33 3.21
Band boşluğu (eV) 1.12 2.3
İstilik keçiriciliyi (W/sm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastik modul (GPa) 150 440
Sərtlik (GPa) 11.4 24.5
Aşınmaya və korroziyaya qarşı müqavimət Yazıq Əla


VeTek Semiconductor yarımkeçirici avadanlıq üçün SiC fokuslama halqaları kimi qabaqcıl bərk silisium karbid (CVD silisium karbid) hissələri təklif edir. Bizim bərk silisium karbid fokuslama halqalarımız mexaniki güc, kimyəvi müqavimət, istilik keçiriciliyi, yüksək temperatura davamlılıq və ionların aşınma müqaviməti baxımından ənənəvi silisiumdan üstündür.


VəC fokuslama halqalarımızın əsas xüsusiyyətlərinə daxildir:

Azaldılmış aşındırma dərəcələri üçün yüksək sıxlıq.

Yüksək bant boşluğu ilə əla izolyasiya.

Yüksək istilik keçiriciliyi və istilik genişlənməsinin aşağı əmsalı.

Üstün mexaniki təsir müqaviməti və elastiklik.

Yüksək sərtlik, aşınma müqaviməti və korroziyaya davamlılıq.

İstifadə edərək istehsal edilmişdirPlazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə (PECVD)texnikalar, SiC fokuslama halqalarımız yarımkeçirici istehsalında aşındırma proseslərinin artan tələblərinə cavab verir. Onlar daha yüksək plazma gücünə və enerjisinə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur, xüsusən dəkapasitiv birləşdirilmiş plazma (CCP)sistemləri.

VeTek Semiconductor-un SiC fokuslama halqaları yarımkeçirici cihazların istehsalında müstəsna performans və etibarlılıq təmin edir. Üstün keyfiyyət və səmərəlilik üçün SiC komponentlərimizi seçin.


View as  
 
Sic Kristal Böyüməsi üçün CVD SIC bloku

Sic Kristal Böyüməsi üçün CVD SIC bloku

SIC Kristal Böyüməsi üçün CVD SIC Bloku, Vetek yarımkeçiricisi tərəfindən hazırlanmış yeni bir yüksək təmizlik xammaldır. Yüksək giriş çıxışı nisbətinə malikdir və bu gün bazarda istifadə olunan tozu əvəz etmək üçün ikinci nəsil bir material olan yüksək keyfiyyətli, böyük ölçülü silikon karbidli bir kristal yetişdirə bilər. Texniki problemləri müzakirə etməyə xoş gəlmisiniz.
Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>
SIC Kristal Böyüməsi Yeni Texnologiya

SIC Kristal Böyüməsi Yeni Texnologiya

Vetek Yarımkeçiricinin ultra-Yüksək Saflıq Silikon Carbide (SIC) Kimyəvi buxar depoziti (CVD) tərəfindən formalaşmış silikon karbid kristalları üçün istifadə edilməsi tövsiyə olunur. SIC kristal böyüməsində yeni texnologiyanı, mənbə materialı bir toxum kristalına bükülmüş və sublimated. Yetişən SIC kristalları üçün bir mənbə kimi yüksək saflıq CVD-SIC bloklarından istifadə edin. Bizimlə ortaqlıq yaratmağa xoş gəlmisiniz.
Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>
Cvd sic duş başlığı

Cvd sic duş başlığı

Vetek Semiconductor, Çində aparıcı CVD SIC-nin aparıcısı və Çində İnnovatordur. Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağı gözləyirik.
Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>
Sic duş başlığı

Sic duş başlığı

Vetek Semiconductor, Çində aparıcı SIC Duş Baş İstehsalçısı və Yenilikçidir.
Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>
Bərk SiC qazlı duş başlığı

Bərk SiC qazlı duş başlığı

Qatı SiC Qaz Duş Başlığı CVD prosesində qazın vahid formada edilməsində böyük rol oynayır və bununla da substratın vahid istiləşməsini təmin edir. VeTek Semiconductor uzun illərdir ki, bərk SiC cihazları sahəsində dərindən iştirak edir və müştərilərə fərdiləşdirilmiş bərk SiC qazlı duş başlıqları təqdim edə bilir. Tələbləriniz nə olursa olsun, sorğunuzu səbirsizliklə gözləyirik.
Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>
Kimyəvi buxarlanma çökmə prosesi bərk sic kənar üzük

Kimyəvi buxarlanma çökmə prosesi bərk sic kənar üzük

Vetek yarımkeçiricisi, inkişaf etmiş yarımkeçirici materialların tədqiqat və inkişafı və inkişafına daimdir. Bu gün Vetek yarımkeçiricisi kimyəvi buxar çöküntüsü prosesində möhkəm bir irəliləyiş əldə etdi və SIC EDGE ring məhsulları və yüksək xüsusi bərk siv kənar üzükləri olan müştərilərə təqdim edə bilir. Bərk SIC Edge Rings, ardıcıl və etibarlı ayırma nəticələrini təmin edən, elektrostatik bir çuch ilə istifadə edildikdə daha yaxşı bir vahidlik və dəqiq vafli yerləşdirmə təmin edir. Sorğunuzu gözləyirik və bir-birinin uzunmüddətli tərəfdaşları olur.
Ətraflı Baxın >> Sorğu göndərin >>
Çində peşəkar Bərk silisium karbid istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Bərk silisium karbid almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.
Xəbər Tövsiyələri
Tantalum Karbid Texnologiyası Sürücü, Sic Epitaxial çirkliliyi 75% azaldı?
Tantalum Karbid Texnologiyası Sürücü, Sic Epitaxial çirkliliyi 75% azaldı?Ətraflı Baxın >>
Dünyanın ən güclü dörd güclü qrafit istehsalçısı - Vetek
Dünyanın ən güclü dörd güclü qrafit istehsalçısı - VetekƏtraflı Baxın >>
Niyə SiC örtüklü Qrafit Suseptor uğursuz olur? - VeTek yarımkeçirici
Niyə SiC örtüklü Qrafit Suseptor uğursuz olur? - VeTek yarımkeçiriciƏtraflı Baxın >>
Gan əsaslı aşağı temperaturlu epitaxy texnologiyası
Gan əsaslı aşağı temperaturlu epitaxy texnologiyasıƏtraflı Baxın >>
İzotrop qrafit və silikonize qrafit arasındakı fərqlər hansılardır?
İzotrop qrafit və silikonize qrafit arasındakı fərqlər hansılardır?Ətraflı Baxın >>
Niyə 3C-SIC bir çox sic polimorflar arasında fərqlənir? - Vetek yarımkeçiricisi
Niyə 3C-SIC bir çox sic polimorflar arasında fərqlənir? - Vetek yarımkeçiricisiƏtraflı Baxın >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept