Məhsullar

Bərk silikon karbid

Vetek Yarımkeçirici Solid Silicon Carbide, plazma etching avadanlıqlarında, bərk silikon karbiddə əhəmiyyətli bir keramika komponentidir (Cvd silikon karbid) Etching avadanlıqındakı hissələr daxildirfokus halqalar, Qaz duşu başlığı, tepsisi, kənar üzüklər və s. Qatı silikon karbidinin (cvd silikon karbid) və flüor ehtiva edən ətlər qazı və digər komponentlər üçün ideal bir materialdır.


Məsələn, Focus Ring, vuldanın kənarında və vafdanın kənarındakı bir voltajla birbaşa təmasda olan vacib bir hissə, üzükdən keçən plazmana diqqət yetirərək, beləliklə plazmanın emalının vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün plazmanın genişliyinə yönəldərək voltajla və vafdanın xaricində bir voltage ilə birbaşa təmasda olmasıdır. Ənənəvi Focus Ring silikondan hazırlanmış və yakuartzKeçirici silikon, ümumi bir mərkəz üzük materialı olaraq, silikon gofreyi, çatışmazlığı demək olar ki, çatışmazlığı, az vaxtlarda istifadə olunan flüor tərkibli plazma, tire ehtiva edən maşın hissələri materialları, istehsal səmərəliliyini ciddi şəkildə azaldır.


SOlid SIC Focus Ringİş prinsipi

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


SI əsaslı diqqət üzük və CVD SIC Fokuslu üzüyü müqayisə edin:

SI əsaslı diqqət üzük və CVD SIC-nin diqqət mərkəzində olan halqanın müqayisəsi
Maddə CVD SIC
Sıxlıq (g / sm)3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
İstilik keçiriciliyi (w / sm ℃) 1.5 5
CTE (X10-66/ ℃) 2.6 4
Elastik Modulus (GPA) 150 440
Sərtlik (GPA) 11.4 24.5
Aşınma və korroziyaya qarşı müqavimət Yoxsul Əla


Vetek yarımkeçiricisi, semikkeçirici avadanlıqlar üçün sic, sidik silikon karbid (CVD silikon karbid) hissələrini təklif edir. Mexanik güc, kimyəvi müqavimət, istilik keçiricilik, yüksək temperatur davamlılığı, yüksək temperatur davamlılığı və ion ayırma müqaviməti baxımından ənənəvi silikonun ənənəvi silikondan üstün olması.


Fokuslu üzüklərimizin əsas xüsusiyyətləri daxildir:

Azaldılmış etching dərəcələri üçün yüksək sıxlıq.

Yüksək bir band qodu ilə əla izolyasiya.

Yüksək istilik keçiriciliyi və istilik genişləndirilməsi aşağı əmsalı.

Üstün mexaniki təsir müqaviməti və elastikliyi.

Yüksək sərtlik, aşınma müqaviməti və korroziya müqaviməti.

İstehsal olunurPlazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma çökməsi (pecvd)Texnikalar, SIC-nin diqqət mərkəzində olan üzüklər, yarımkeçirici istehsalda proseslərin artan tələblərinə cavab verir. Xüsusi olaraq, daha yüksək plazma gücünə və enerjiyə tab gətirmək üçün hazırlanmışdırCapitivly birləşdirilmiş plazma (CCP)sistemləri.

Vetek yarımkeçiricinin SIC fokuslanması üzüklər yarımkeçirici cihaz istehsalında müstəsna performans və etibarlılığı təmin edir. Üstün keyfiyyət və səmərəlilik üçün SIC komponentlərimizi seçin.


View as  
 
Silikon karbid duşu başı

Silikon karbid duşu başı

Silikon Carbide Duş Başının əla yüksək temperaturu tolerantlığı, kimyəvi sabitlik, istilik keçiriciliyi və yaxşı qaz paylama performansı, bu da vahid qaz paylamasına və film keyfiyyətini yaxşılaşdıra bilən yaxşı qaz paylama performansı var. Buna görə, ümumiyyətlə kimyəvi buxarlanma çökməsi (CVD) və ya fiziki buxarlanma (PVD) prosesləri kimi yüksək temperatur proseslərində istifadə olunur. Bizim üçün daha çox məsləhətləşmənizi, Vetek yarımkeçiricisinə salamlayın.
Silikon karbid möhürü üzüyü

Silikon karbid möhürü üzüyü

Peşəkar bir silikon karbid möhürü üzük istehsalçısı və çində olan fabrik, Vetek yarımkeçirici silikon karbid möhürü üzüyü, əla istilik müqaviməti, korroziya müqaviməti, mexaniki gücü və istilik keçiriciliyi səbəbindən yarımkeçirici emal avadanlıqlarında geniş istifadə olunur. Xüsusilə CVD, PVD və Plazma Etching kimi yüksək temperatur və reaktiv qazlar ilə əlaqəli proseslər üçün xüsusilə uyğundur və yarımkeçirici istehsal prosesində əsas maddi seçimdir. Əlavə sorğularınız qəbul olunur.
Sic Kristal Böyüməsi üçün CVD SIC bloku

Sic Kristal Böyüməsi üçün CVD SIC bloku

SIC Kristal Böyüməsi üçün CVD SIC Bloku, Vetek yarımkeçiricisi tərəfindən hazırlanmış yeni bir yüksək təmizlik xammaldır. Yüksək giriş çıxışı nisbətinə malikdir və bu gün bazarda istifadə olunan tozu əvəz etmək üçün ikinci nəsil bir material olan yüksək keyfiyyətli, böyük ölçülü silikon karbidli bir kristal yetişdirə bilər. Texniki problemləri müzakirə etməyə xoş gəlmisiniz.
SIC Kristal Böyüməsi Yeni Texnologiya

SIC Kristal Böyüməsi Yeni Texnologiya

Vetek Yarımkeçiricinin ultra-Yüksək Saflıq Silikon Carbide (SIC) Kimyəvi buxar depoziti (CVD) tərəfindən formalaşmış silikon karbid kristalları üçün istifadə edilməsi tövsiyə olunur. SIC kristal böyüməsində yeni texnologiyanı, mənbə materialı bir toxum kristalına bükülmüş və sublimated. Yetişən SIC kristalları üçün bir mənbə kimi yüksək saflıq CVD-SIC bloklarından istifadə edin. Bizimlə ortaqlıq yaratmağa xoş gəlmisiniz.
Cvd sic duş başlığı

Cvd sic duş başlığı

Vetek Semiconductor, Çində aparıcı CVD SIC-nin aparıcısı və Çində İnnovatordur. Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağı gözləyirik.
Sic duş başlığı

Sic duş başlığı

Vetek Semiconductor, Çində aparıcı SIC Duş Baş İstehsalçısı və Yenilikçidir.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Çində peşəkar Bərk silikon karbid istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Bərk silikon karbid almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept