Məsaməli silikon karbid (SIC) Seramik plitələr: Yarımkeçirici istehsalında yüksək performanslı materiallar

Ⅰ. Məsaməli sic keramika boşqab nədir?

Məsaməli silikon karbidli keramika plakası, xüsusi proseslər (məsələn, köpükləmə, 3D çap və ya məsamə-formalaşdıran agentlər) tərəfindən silikon karbiddən (SIC) hazırlanmış məsaməli bir quruluşlu bir keramika materialdır. Onun əsas xüsusiyyətlərinə aşağıdakılar daxildir:

● İdarə olunan gözyadlılığı: Fərqli tətbiq ssenarilərinin ehtiyaclarını ödəmək üçün 30% -70% tənzimlənir.

● Vahid məsaməli ölçüsü paylanması: Qaz / maye ötürmə sabitliyini təmin edin.

● Yüngül dizayn: Avadanlıqların enerji istehlakını azaldın və əməliyyat səmərəliliyini artırın.

Ⅱ.Five əsas fiziki xüsusiyyətləri və məsaməli SIC keramika plitələrinin istifadəçi dəyəri

1. Yüksək temperaturda müqavimət və istilik idarəetmə (əsasən avadanlıq istilik çatışmazlığı problemini həll etmək)

● Həddindən artıq temperatur müqaviməti: Davamlı işləmə temperaturu 1600 ° C-ə çatır (alüminiina keramikasından 30% yüksəkdir).

● Yüksək səmərəlilik istilik keçiriciliyi: İstilik keçiriciliyi əmsalı 120 w / (m · k), sürətli istilik yayılması həssas komponentləri qoruyur.

● ultra aşağı istilik genişlənməsi: İstilik genişləndirmə əmsalı, həddindən artıq yüksək temperatur altında, yüksək temperatur deformasiyasından istifadə edərək, həddindən artıq yüksək temperatur altında istismar üçün uyğundur.

2. Kimyəvi sabitlik (korroziv mühitlərdə istismar xərclərini azaltmaq)

● Güclü turşulara və qələvilərə davamlıdır: HF və H₂so₄ kimi aşındırıcı mediaya tab gətirə bilər

● Plazma eroziyasına davamlıdır: Quru ilişmə avadanlıqlarında həyat 3 dəfədən çox artır

3. mexaniki güc (uzanan avadanlıq həyatı)

● Sərtlik: Mohs sərtliyi 9.2 qədər yüksəkdir və aşınma müqaviməti paslanmayan poladdan daha yaxşıdır

● Əyilmə gücü: 300-400 MPA, boşaltmadan vafizələri dəstəkləyir

4. Gözenekli quruluşların funksiyası (proses nəticələrinin yaxşılaşdırılması)

● Vahid qaz paylanması: CVD Prosesi Film vahidliyi 98% -ə qədər artırıldı.

● Dəqiq adsorbsiya nəzarəti: Elektrostatik çuxurun (ESC) yerləşdirmə dəqiqliyi ± 0.01mm-dir.

5. Təmizlik zəmanəti (yarımkeçirici dərəcəli standartlara uyğun)

● Sıfır metal çirklənmə: Saflıq> 99.99%, vaffer çirklənməsindən qaçınmaq

● Özünü təmizləyən xüsusiyyətlər: Mikroporlu quruluş hissəcik çöküntüsünü azaldır

III. Yarımkeçirici istehsalda məsaməli SIC plitələrinin dörd əsas müraciəti

Ssenari 1: Yüksək temperaturlu proses avadanlığı (diffuziya sobası / yumruq sobası)

● İstifadəçi ağrı nöqtəsi: Ənənəvi materiallar asanlıqla deformasiya olunur, nəticədə vaffer qırıntıları ilə nəticələnir

● həll: Bir daşıyıcı boşqab kimi, 1200 ° C-də sabit işləyir

● Məlumat müqayisəsi: Termal deformasiyası alüminiumdan 80% azdır

Ssenari 2: Kimyəvi buxarlanma (CVD)

● İstifadəçi ağrı nöqtəsi: Qeyri-bərabər qaz paylanması film keyfiyyətinə təsir göstərir

● həll: Məsaməli quruluş reaksiya qazının diffuziya vahidliyini 95% -ə çatır

● Sənaye işi: 3D Nand Flash Yaddaş nazik film çöküntüsünə tətbiq olunur

Ssenari 3: Quru etching avadanlığı

● İstifadəçi ağrı nöqtəsi: Plazma eroziyası şortens komponenti həyatı

● həll: Əleyhinə anti-plazma performansı texniki dövrü 12 aya qədər uzadır

● Qiymət səmərəliliyi: Avadanlıqların iş vaxtı 40% azaldı

Ssenari 4: Dafar Təmizlik Sistemi

● İstifadəçi ağrı nöqtəsi: Turşu və qələvi korroziyasına görə tez-tez hissələrin dəyişdirilməsi

● həll: HF turşusu müqaviməti xidmət həyatının 5 ildən çox çatmasına səbəb olur

● Doğrulama məlumatları: 1000 təmizlik dövründən sonra güc tutma dərəcəsi> 90%

İv. Ənənəvi materiallarla müqayisədə 3 əsas seçim üstünlükləri

V. Sənaye istifadəçiləri üçün FAQ

S1: Gallium nitridi (Gan) cihaz istehsalı üçün uyğun məsaməli SIC keramika plakasıdır?

Cavab vermək: Bəli, onun yüksək temperatur müqaviməti və yüksək istilik keçiriciliyi, xüsusilə Gan epitaxial böyümə prosesi üçün əlverişlidir və 5G baza stansiyası çip istehsalına tətbiq olunur.

Q2: Ütarçı parametrini necə seçmək olar?

Cavab vermək: Tətbiq ssenarisinə görə seçin:

● Distribut qazıtion: 40% -50% açıq məsamə tövsiyə olunur

● Vakuum adsorbsiya: 60% -70% yüksək məsamə tövsiyə olunur

S3: Digər silikon karbid keramikaları ilə fərq nədir?

Cavab vermək: Sıx ilə müqayisədəSic keramika, məsaməli quruluşlarda aşağıdakı üstünlüklərə malikdir:

● 50% çəki azaldılması

● Xüsusi səth sahəsində 20 dəfə artım

● Termal stresdə 30% azalma