Bərk sic disk formalı duş başlığı

CVD prosesində möhkəm SIC disk formalı duşunun başının rolu, Düz və vahid bir film əldə etmək üçün qazın depozisiya ərazisindən yuxarı reaksiya qazının üstünə reaksiya qazını bərabər paylamaqdır.

Qatı sic duş başlığı CVD sobasının başında və ya qaz girişinin yaxınlığında qurulur. Reaksiya qazı duş başlığında paylanan deliklər vasitəsilə disk formalı quruluşa daxil olur və duş başlığının səthində yayılır. Birdən çox kanal dizaynı və bərabər paylanmış yerlər vasitəsilə reaksiya qazı, konsentrasiyadan və ya turbulensiya qarşısını almaq və substratda yataq qalınlığının tutarlılığını təmin etmək üçün bütün reaktor sahəsinə bərabər şəkildə axa bilər.

Eyni zamanda, yarımkeçirici disk forma duşunun quruluşu, qazın axın sürətini effektiv şəkildə azalda biləcək bir diffuziya effekti də var ki, bu, nozzle çıxışında bərabər yayıla bilər və çökmə effekti ilə yerli qaz axınının təsirini azaldır. Substrata birbaşa qaz təsirinin qarşısını almağa və qeyri-bərabər çökmə probleminin qarşısını almağa kömək edir.

Materialların perspektivindən, bərk SIC qazının başlığı yüksək temperaturda davamlı, korroziyaya davamlı və çox güclü möhkəmli möhkəmli SIC materialından hazırlanmışdır. CVD sobasında uzun müddət sabit işləyə bilər və uzun bir xidmət həyatı var.

Vetek yarımkeçiricisi yüksək keyfiyyətli xüsusi xidmətlər göstərir. Qatı SIC disk formalı duşunun başlığının forması və çuxur düzeni, fərqli qaz növlərinə, axın dərəcələri və çökmə materiallarına uyğunlaşmaq üçün müştərinin proses tələblərinə uyğun olaraq çevik şəkildə tənzimlənə bilər. Müxtəlif ölçülü reaktorlar və ya substrat ölçüləri üçün, müxtəlif diametr və çuxur paylamaları olan disk formalı duş başları, qaz paylama effektini optimallaşdırmaq üçün xüsusi diametrli duş başlığı düzəldilə bilər.

Vetek yarımkeçiricisi, çox sayda müştəriyə CVD proseslərində davamlı irəliləməyə kömək edən möhkəm SIC yarımkeçirici duş baş məhsulları üçün yetkin proseslər və qabaqcıl texnologiyalar var. Vetek yarımkeçiricisi Çində uzunmüddətli tərəfdaş olmağı səbirsizliklə gözləyir.

Bərk sikin fiziki xüsusiyyətləri

YarımkeçiriciBərk sic disk şəkilli duş baş istehsal sexləri