Məhsullar

Bərk silikon karbid

Vetek Yarımkeçirici Solid Silicon Carbide, plazma etching avadanlıqlarında, bərk silikon karbiddə əhəmiyyətli bir keramika komponentidir (Cvd silikon karbid) Etching avadanlıqındakı hissələr daxildirfokus halqalar, Qaz duşu başlığı, tepsisi, kənar üzüklər və s. Qatı silikon karbidinin (cvd silikon karbid) və flüor ehtiva edən ətlər qazı və digər komponentlər üçün ideal bir materialdır.


Məsələn, Focus Ring, vuldanın kənarında və vafdanın kənarındakı bir voltajla birbaşa təmasda olan vacib bir hissə, üzükdən keçən plazmana diqqət yetirərək, beləliklə plazmanın emalının vahidliyini yaxşılaşdırmaq üçün plazmanın genişliyinə yönəldərək voltajla və vafdanın xaricində bir voltage ilə birbaşa təmasda olmasıdır. Ənənəvi Focus Ring silikondan hazırlanmış və yakuartzKeçirici silikon, ümumi bir mərkəz üzük materialı olaraq, silikon gofreyi, çatışmazlığı demək olar ki, çatışmazlığı, az vaxtlarda istifadə olunan flüor tərkibli plazma, tire ehtiva edən maşın hissələri materialları, istehsal səmərəliliyini ciddi şəkildə azaldır.


SOlid SIC Focus Ringİş prinsipi

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


SI əsaslı diqqət üzük və CVD SIC Fokuslu üzüyü müqayisə edin:

SI əsaslı diqqət üzük və CVD SIC-nin diqqət mərkəzində olan halqanın müqayisəsi
Maddə CVD SIC
Sıxlıq (g / sm)3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
İstilik keçiriciliyi (w / sm ℃) 1.5 5
CTE (X10-66/ ℃) 2.6 4
Elastik Modulus (GPA) 150 440
Sərtlik (GPA) 11.4 24.5
Aşınma və korroziyaya qarşı müqavimət Yoxsul Əla


Vetek yarımkeçiricisi, semikkeçirici avadanlıqlar üçün sic, sidik silikon karbid (CVD silikon karbid) hissələrini təklif edir. Mexanik güc, kimyəvi müqavimət, istilik keçiricilik, yüksək temperatur davamlılığı, yüksək temperatur davamlılığı və ion ayırma müqaviməti baxımından ənənəvi silikonun ənənəvi silikondan üstün olması.


Fokuslu üzüklərimizin əsas xüsusiyyətləri daxildir:

Azaldılmış etching dərəcələri üçün yüksək sıxlıq.

Yüksək bir band qodu ilə əla izolyasiya.

Yüksək istilik keçiriciliyi və istilik genişləndirilməsi aşağı əmsalı.

Üstün mexaniki təsir müqaviməti və elastikliyi.

Yüksək sərtlik, aşınma müqaviməti və korroziya müqaviməti.

İstehsal olunurPlazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma çökməsi (pecvd)Texnikalar, SIC-nin diqqət mərkəzində olan üzüklər, yarımkeçirici istehsalda proseslərin artan tələblərinə cavab verir. Xüsusi olaraq, daha yüksək plazma gücünə və enerjiyə tab gətirmək üçün hazırlanmışdırCapitivly birləşdirilmiş plazma (CCP)sistemləri.

Vetek yarımkeçiricinin SIC fokuslanması üzüklər yarımkeçirici cihaz istehsalında müstəsna performans və etibarlılığı təmin edir. Üstün keyfiyyət və səmərəlilik üçün SIC komponentlərimizi seçin.


View as  
 
Bərk SiC qazlı duş başlığı

Bərk SiC qazlı duş başlığı

Qatı SiC Qaz Duş Başlığı CVD prosesində qazın vahid formada edilməsində böyük rol oynayır və bununla da substratın vahid istiləşməsini təmin edir. VeTek Semiconductor uzun illərdir ki, bərk SiC cihazları sahəsində dərindən iştirak edir və müştərilərə fərdiləşdirilmiş bərk SiC qazlı duş başlıqları təqdim edə bilir. Tələbləriniz nə olursa olsun, sorğunuzu səbirsizliklə gözləyirik.
Kimyəvi buxarlanma çökmə prosesi bərk sic kənar üzük

Kimyəvi buxarlanma çökmə prosesi bərk sic kənar üzük

Vetek yarımkeçiricisi, inkişaf etmiş yarımkeçirici materialların tədqiqat və inkişafı və inkişafına daimdir. Bu gün Vetek yarımkeçiricisi kimyəvi buxar çöküntüsü prosesində möhkəm bir irəliləyiş əldə etdi və SIC EDGE ring məhsulları və yüksək xüsusi bərk siv kənar üzükləri olan müştərilərə təqdim edə bilir. Bərk SIC Edge Rings, ardıcıl və etibarlı ayırma nəticələrini təmin edən, elektrostatik bir çuch ilə istifadə edildikdə daha yaxşı bir vahidlik və dəqiq vafli yerləşdirmə təmin edir. Sorğunuzu gözləyirik və bir-birinin uzunmüddətli tərəfdaşları olur.
Bərk sic tirching fokus ring

Bərk sic tirching fokus ring

Solid Sic Etching Focusing Ring, gofreti düzəltmək, plazmanı yönləndirmək və vafli infermaturu yaxşılaşdırmaq üçün rol oynayan vafli oyun prosesinin əsas komponentlərindən biridir. Çində aparıcı SIC-nin aparıcı SIC-nin üzük istehsalçısı olaraq, Vetek yarımkeçiricisi qabaqcıl texnologiya və yetkin prosesə malikdir və müştəri tələblərinə uyğun olaraq son müştərilərin ehtiyaclarına tam cavab verən möhkəm SIC-lərin diqqətini çəkir. Sorğunuzu gözləyirik və bir-birimizin uzunmüddətli tərəfdaşları oluruq.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Çində peşəkar Bərk silikon karbid istehsalçı və təchizatçı olaraq öz fabrikimiz var. Bölgənizin xüsusi ehtiyaclarını ödəmək və ya Çində hazırlanmış və Davamlı Bərk silikon karbid almaq istəməyiniz üçün xüsusi xidmətlərə ehtiyacınız olub-olmaması, bizə bir mesaj buraxa bilərsiniz.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept