Məhsullar

ASM üçün Veteksemicon SiC ilə örtülmüş qrafit sensoru yarımkeçirici epitaksial proseslərdə əsas daşıyıcı komponentdir. Bu məhsul yüksək temperatur və korroziyalı proses mühitlərində üstün performans və ultra uzun ömür təmin etmək üçün bizim xüsusi pirolitik silisium karbid örtük texnologiyamızdan və dəqiq emal proseslərindən istifadə edir. Biz epitaksial proseslərin substratın təmizliyi, istilik sabitliyi və tutarlılığı ilə bağlı ciddi tələblərini dərindən başa düşürük və müştərilərə avadanlığın ümumi performansını artıran sabit, etibarlı həllər təqdim etməyə sadiqik.

Veteksemik yarımkeçirici-sinif kvarsları çarxları Czoxralski vahid kristal böyümə prosesində əsas istehlak materiallarıdır. Həddindən artıq saflıq və üstün istilik sabitliyi ilə əsas diqqətimiz kimi, temperatur və yüksək temperatur və yüksək təzyiq mühitində kristallaşmanın caralizasiyaya və əla müqavimət göstərən yüksək keyfiyyətli məhsullarla müştərilərlə təmin etmək əzmindədir. Bu, büllur çubuqların keyfiyyətini təmin edir, yarımkeçirici silikon vafli istehsalına daha yüksək məhsul və daha yaxşı xərclilik əldə etməyə kömək edir.

Veteksemicon Focus Ring, xüsusilə SIC tətbiqi tətbiqləri, xüsusilə SIC tətbiqi üçün xüsusi olaraq tələb olunan yarımkeçirici üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdır. Elektrostatik Chuck (ESC) ətrafında quraşdırılmış, o, vafleyi ilə yaxınlıqda, əsas funksiyası, bütün vafli səthi boyunca vahid və diqqət mərkəzində olan plazma hərəkətini təmin edən reaksiya otağında elektromaqnit sahəsindəki paylamasını optimallaşdırmaqdır. Yüksək performanslı bir mərkəz üzüyü əhəmiyyətli dərəcədə etch dərəcəsi vahidliyini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırır və kənar effektləri azaldır, məhsul gəlirini və istehsal səmərəliliyini artırır.

Veteksemicon Silikon Carbide Carbide Carabide Carching Carbide Carriging, xüsusi olaraq LED çip istehsalı üçün hazırlanmış, incə bir şəkildə istifadə edilən bir əsasdır. Dəqiqləşdirilmiş yüksək saflı silikon karbiddən hazırlanmışdır, güclü turşular, bazalardan və plazmadan korroziyaya təsirli olan müstəsna kimyəvi müqavimət və yüksək temperaturlu ölçülü sabitlik təklif edir. Onun aşağı çirklənmə xüsusiyyətləri, LED epitaxial waferlər üçün yüksək məhsuldarlığı təmin edir, davamlılığı, ənənəvi materiallardan çox uzaqdır, müştərilərə ümumi əməliyyat xərclərini azaltmağa kömək edir, bu da işləmə prosesinin səmərəliliyini və ardıcıllığını yaxşılaşdırmaq üçün etibarlı seçim halına gətirməyə kömək edir.

PecVD üçün Veteksemicon qrafit gəmisi yüksək saflıq qrafitindən dəqiq işlənmiş və xüsusi olaraq plazma inkişaf etmiş kimyəvi buxar çöküntü prosesləri üçün hazırlanmışdır. Yarımkeçirici termal sahə materialları və dəqiq işləmə qabiliyyətlərini dərindən dərk etməkdən istifadə edərək, müstəsna istilik sabitliyi, əla keçiricilik və uzun bir xidmət həyatı olan qrafit gəmiləri təklif edirik. Bu gəmilər, tələb olunan PECVD proses mühitində, proses məhsuldarlığını və məhsuldarlığını yaxşılaşdıran hər bir gofretdə yüksək vahid nazik film çökməsini təmin etmək üçün hazırlanmışdır.

Veteksemikon tərəfindən CVD Tac örtülmüş qrafit üzüyü yarımkeçirici vaffer emalının həddindən artıq tələblərinə cavab vermək üçün hazırlanmışdır. Kimyəvi buxarlanma (CVD) texnologiyası, sıx və vahid bir tantalum karbid (TAC) örtüyü, yüksək saflıq qrafit substratlarına, müstəsna sərtliyə, aşınma müqavimətinə və kimyəvi inertliliyə nail olmaq üçün istifadə olunur. Yarımkeçirici istehsalında, CVD Tac örtüklü qrafit üzüyü mocvd, etching, diffuziya və epitaksial böyümə otaqlarında geniş istifadə olunur, vafli daşıyıcılar, susuzluq və süzgəclər və qoruyucu məclislər üçün əsas struktur və ya möhürləmə komponenti kimi xidmət edir. Əlavə məsləhətləşməni gözləyirik.