CVD Silikon Karbid (SiC) ilə örtülmüş qrafit RTP RTA daşıyıcısı

Məhsul Xüsusiyyətləri

· Əsas Avadanlıq:Rapid Thermal Annealing (RTA) və Rapid Thermal Processing (RTP) sistemləri üçün nəzərdə tutulmuşdur.

· Primary Aərizə: Yarımkeçirici vafli tavlama prosesləri üçün optimallaşdırılmışdır.

· Opereytinq Tetemperatur:200°C-dən 700°C-ə qədər sabit işləmə.

· ExcElent Therpis vahidlik: Ardıcıl vafli emal üçün bərabər istilik paylanmasını təmin edir.

· Aşağı hissəcikGenerji: Sıx CVD SiC örtüyü çirklənməni minimuma endirir və istehsal məhsuldarlığını artırır.

· Üstün Kimyəvi Müqavimət:Termik emal zamanı oksidləşməyə və aşındırıcı proses qazlarına davamlıdır.

· Görkəmlig Termşok müqaviməti: Təkrarlanan sürətli isitmə və soyutma dövrləri vasitəsilə struktur bütövlüyünü qoruyur.

· Uzun xidmət müddəti:Aşınmaya davamlı SiC örtüyü komponentin ömrünü əhəmiyyətli dərəcədə uzadır və təmir xərclərini azaldır.

· Xüsusiİstehsalat:Müxtəlif RTP/RTA avadanlıqlarına uyğunlaşmaq üçün müxtəlif ölçülərdə və konfiqurasiyalarda mövcuddur.

Texniki Spesifikasiyalar

Tətbiqlər

·Sürətli Termal Qızdırma (RTA)

· Sürətli Termal Emal (RTP)

· Silikon vafli tavlama

· Dopant aktivləşdirilməsi

· Oksidləşmə

· Diffuziya

·Qarışıq yarımkeçiricilərin istehsalı

·MEMS istehsalı

·Güclü Yarımkeçiricilərin Emalı

Tez-tez verilən suallar

1. RTP/RTA daşıyıcısı nədir?

RTP/RTA Daşıyıcısı sürətli termal emal və sürətli termal yumşalma sistemlərində istifadə olunan vafli dəstək komponentidir. Termal dövr ərzində vahid istilik ötürülməsini təmin edərkən yarımkeçirici vafliləri etibarlı şəkildə saxlayır.

2. Niyə CVD SiC örtüyünə üstünlük verilir?

Çılpaq qrafitlə müqayisədə, CVD SiC örtüyü üstün oksidləşmə müqaviməti, daha az hissəcik əmələ gəlməsi, daha yaxşı kimyəvi dayanıqlıq və əhəmiyyətli dərəcədə uzun xidmət müddəti təklif edir.

3. VETEK fərdiləşdirilmiş RTP/RTA daşıyıcıları təmin edə bilərmi?

Bəli. VETEK müştəri təsvirləri əsasında fərdiləşdirilmiş RTP/RTA daşıyıcıları təklif edir.