Wafters-də notch nədir?

Silikon gofretiinteqrasiya edilmiş sxemlər və yarımkeçirici cihazların təməlidir. Onların maraqlı bir xüsusiyyəti var - düz kənarları və ya tərəflərdəki kiçik yivlər .Bu bir qüsur deyil, ancaq hazırlanmış funksional markerdir.Əslində, bu notch bütün istehsal prosesi boyunca yönləndirmə istinad və şəxsiyyət markeri kimi xidmət edir.

İlk günlərdə, gofrets əsasən marker kimi "mənzilli" istifadə edərək, dairəvi kənarda qısa bir seqment zəmini yayır. Bu mənzillərin mövqeyi və sayı büllur istiqamətlərini və dopinq növlərini ayırd etmək üçün istifadə edilmişdir. Wafter ölçüsü artdıqca və prosegion dəqiqliyi yaxşılaşdırıldığı kimi, əsas 200 mm və 300 mm boşqab, kiçik bir qövs formalı notch dizaynında standartlaşdırılmışdır. Bu notun mövqeyi standartlar ilə müəyyən edilir və vafferin kristal istiqamətini (məsələn, <100> və ya <111>) göstərmək və sonrakı avadanlıqların ümumi istinad nöqtəsini göstərmək üçün istifadə olunur.

Wafer Notchun funksiyası nədir? 

• Birincisi, vafli uyğunlaşdırma üçün bir arayış verir. Litoqrafiya, etching və ion implantasiyası kimi əsas addımlar birdən çox nümunə qatının yığılmasını tələb edir. Hər təbəqənin koordinat sistemi ardıcıl deyilsə, son qurğular səhv işlənib kəsiləcəkdir. Notch mövqeyini aşkar etməklə, avadanlıq tez birləşmiş koordinat sistemini qura bilər və sonra dəqiq örtük əldə etmək üçün hizalanma işarələrindən istifadə edə bilər.
• İkincisi, inferform məlumatı kodlayır. Fərqli büllur istiqamətləri və fərqli dopinq növləri (məsələn, p tipi və n tipli) fərqli material xüsusiyyətləri və dizayn mülahizələri var. Arxa işarələr və digər vasitələrlə birlikdə, istehsal xəttində müxtəlif məhsul növləri arasında qarışıqların qarşısını almaq, istehsal xəttinin avtomatlaşdırılmış işləmə və çeşidlənməsi zamanı ehtiyatlılığa imkan verir.
• Üçüncüsü, avtomatlaşdırılmış işləmədə təhlükəsizliyi təmin edir. Müasir Fabs robot silahları və avtomatlaşdırılmış material işləmə sistemlərindən (AMHS) geniş istifadə edir. Bu sistemlər ön / arxa tərəfi müəyyənləşdirmək və boşaltmanın və ya sürüşmənin qarşısını alanların qarşısını almaq və ya sürüşmənin qarşısını almaq üçün yoluxmağın qarşısını almaq üçün notch üzərində güvənirlər.

Cihaz və proses mühəndisləri üçün, bir gofretdəki not, əhəmiyyətsiz görünə bilər, ancaq büllur çəkmə, epitaxy və vafli uydurma, epitaxy və vafli uydurma testin bütün yolları ilə işlədir. Hər zaman "istiqamət"-cruntal yönləndirmə, layout hizalanması, stres yönümlü və ya müəyyən güc cihazlarının quruluşu dizaynı - bu kiçik həndəsi marker demək olar ki, həmişə arxa plandadır. Notch rolunu başa düşdükdən sonra, istehsal xətti ilə bir vafferin "hərəkət etdiyini" və hər bir prosesin addımının bu silikon parçası ətrafında koordinat sistemini necə qurduğunu izləmək daha asan olur.