Wafer Dicking Prosesi zamanı Co₂ niyə təqdim olunur?

Zamanı kobudluq suyu ilə tanışlıqkövrəkKəsmə, statik şarjın qurulması və aşağı çirklənmə riskini azaltmaq, bununla da istinad məhsulu və uzunmüddətli çip etibarlılığını yaxşılaşdırmaq üçün təsirli bir proses ölçüsüdür.

1. Statik yükləmə qurğusunun yatırılması

Zərrəvaffer, yüksək sürətli fırlanan bir almaz bıçağı, kəsmə, soyutma və təmizlik etmək üçün yüksək təzyiqli deionized (di) su jetləri ilə birlikdə işləyir. Bıçaq və gofret arasında sıx sürtünmə çox sayda statik yükləmə əmələ gətirir; Eyni zamanda, di suyu yüksək sürətli püskürtmə və təsir altında kiçik ionlaşmadan, az sayda ion istehsal edir. Silikonun özü, bu ittiham vaxtında boşaldılmasa, gərginlik 500 və daha çox və daha çox və elektrostatik axıdılması (ESD) tetikleyebilir.

ESD, yalnız metal bir-birinə qarışıqlıq və ya zərərli dielektriklərə zərər verə bilər, eyni zamanda, elektrostatik cazibə yolu ilə vober səthinə yapışmalarına səbəb ola bilər, hissəciklərin qüsurlarına səbəb olur. Daha ağır hallarda, pis tel bağlama və ya istiqraz qaldırıcı kimi istiqraz pad məsələlərinə səbəb ola bilər.

Karbon dioksid (co₂) suda həll edildikdə, hidrogen ionları (H⁺) və bikarbonat ionları (HCO₃⁻) -ə daha da aradan qaldıran karbon turşusu (H₂CO₃) təşkil edir. Bu, dik suyun keçiriciliyini əhəmiyyətli dərəcədə artırır və müqavimətini azaldır. Ali keçiricilik, statik ittihamın su axını ilə tez bir zamanda su axını ilə aparılmasına imkan verir, vaflon və ya avadanlıq səthlərində toplanmasını çətinləşdirir.

Bundan əlavə, co₂ zəif bir elektron gas. Yüksək enerji mühitində, co₂⁺ və o⁻ kimi doldurulmuş növlər yaratmaq üçün ionlaşa bilər. Bu ionlar, elektrostatik cazibə və ESD hadisələri riskini daha da artıraraq, gofret səthindəki və havadakı hissəciklərindəki yükü zərərsizləşdirə bilər.

2. Çirklənməni azaltmaq və gofret səthini qorumaq

Wafter Dicing çox miqdarda silikon tozu yaradır. Bu incə hissəciklər asanlıqla ittiham olunur və vafleyici və ya avadanlıq səthlərinə yapışırlar, hissəciklərin çirklənməsinə səbəb olur. Soyutma suyu bir az qələvidirsə, metal hidroksid çöküntüləri yaratmaq üçün paslanmayan polad filtrlərdən və ya boru kəmərlərindən azad edilmiş metal ionları (məsələn, fe, ni və ya boru kəmərlərindən azad edilə bilər). Bu çöküntülər, gofret səthində və ya çip keyfiyyətinə mənfi təsir göstərən dülmə küçələrində və ya dik küçələrdə əmanət edə bilər.

CO₂ təqdim etdikdən sonra, bir tərəfdən, zərərsizləşdirmə toz və gofret səthi arasındakı elektrostatik cazibəni zəiflədir; Digər tərəfdən, co₂ qaz axını, hissəcikləri dickiya zonasından uzaqlaşdırmağa kömək edir, kritik ərazilərdə yenidən redepozisiya şanslarını azaldır.

Dəftərkən olan CO₂ tərəfindən yaranan zəif turşu mühiti də metal ionlarının hidroksid çöküntülərinə çevrilməsini, metalları həll edilmiş bir vəziyyətdə saxlayan, su axını ilə daha asan aparılır, bu, vober və avadanlıqlarda qalıqları azaldır.

Eyni zamanda, co₂ inertdir. Diking bölgəsindəki müəyyən bir qoruyucu bir atmosfer meydana gətirərək, silikon tozu və oksigen arasındakı birbaşa əlaqəni azalda bilər, toz oksidləşməsi, aglomerasiya və sonrakı yapışma riskini azaldır. Bu, təmiz bir kəsici mühiti və daha sabit bir proses şərtlərini qorumağa kömək edir.

Kəskinlik suyunun krujkası ilə əlaqələndirmək, statik və ESD riskini effektiv şəkildə idarə etməklə yanaşı, toz və metal çirklənməni əhəmiyyətli dərəcədə azaldır, bu da dülmə məhsuldarlığını və çip etibarlılığını yaxşılaşdırmaq üçün vacib bir vasitə halına gətirir.