Bir elektrostatik çak (ESC) nədir?

Elektrostatik Chuck (ESC, E-Chuck) kimi də tanınan elektrostatik Chuck (ESC), adsorbed materialı tutmaq və düzəltmək üçün elektrostatik adsorbsiyasının prinsipindən istifadə edən bir armaturdur. Vakuum və plazma mühitləri üçün uygundur. Onun əsas funksiyası ultra-İncə təbəqələri təmizləyin (məsələn, silikon gofrets kimi) və adsorbed materialını yaxşı bir düzlükdə saxlayın, bu da proses zamanı adorbate materialının deformasiyasını da maneə törədə bilər və adsorbatın temperaturunu tənzimləyə bilər.

Bir elektrostatik çak (ESC), əşyalar (iş stansiyalarını) tutmaq, basmaq və götürmək üçün elektrostatik gücdən istifadə edən xüsusi bir çuch növüdür. Hər hansı bir material çılpaq gözə görünməyən müsbət və mənfi ödənişlər daşıyır. Material ESC-də və Bipolyar gərginliyi ESC-nin daxili elektrodlarına tətbiq edildikdə, müsbət və mənfi xərclər ESC-nin daxili elektrouslarının polarisiyasına uyğun olaraq material daxilində hərəkət edəcəkdir. ESC və material arasındakı bu cazibə elektrostatik qüvvə adlanır və eyni zamanda chucksimizin arxasında əsas prinsipdir.

Məhsul üstünlükləri

Geniş bir əməliyyat temperaturu var (-50 ilə 700 ℃)

Bu elektrostatik emiş stəkanları əla güc, istilik keçiriciliyi və istilik şok müqaviməti, NGK-nın mülkiyyət keramika həcm müqavimətinə görə geniş bir temperatur aralığına uyğunlaşa bilər.

Yüksək korroziya müqaviməti

Bu elektrostatik emiş stəkanlarında halogen qazlara əla korroziyaya qarşı müqavimət var.

Aşağı hissəciklərin işlənməsi

Aşağı hissəcikli müalicəni səthin təmizlənməsi və xüsusi təmizlənməsi yolu ilə əldə edilə bilər

Yüksək saflıq

99,9% və ya daha yüksək bir təmizlik olan məhsullar da mövcuddur.

İstilik funksiyası

Yüksək dəqiqlikli istilik elementi empedding texnologiyası qızdırıcı funksiyası ilə birləşdirilə bilər və gofret temperaturu ± 1% -i ərzində idarə edilə bilər.

Soyutma funksiyası

Bu elektrostatik emiş stəkanları yüksək istilik keçiriciliyi və soyutma plitələri olan keramika plitələr bağlamaqla son dərəcə yüksək soyutma performansına malikdir.

Radio Tezlik Elektrodu

Toplu metal elektrodlar eyni zamanda sabit vafli sıxma və radio tezliyi plazma nəslini təmin edə bilər.

Parametr

1.Yarımkeçirici və elektron istehsal sahəsində: Yarımkeçirici və elektron istehsal prosesləri zamanı elektrostatik emiş stəkanları incə və kövrək silikon gofretləri düzəltmək və idarə etmək üçün istifadə olunur.

2. Şüşə və keramika sənayesi: Kəsmə, daşlama və şüşələrin və keramika prosesləri zamanı elektrostatik emiş stəkanları, məhsul qırılma sürətini azaltmaq, kövrək materiallarda dağıdıcı olmayan əməliyyatları edə bilər.

3. Həssas maşın və optik komponentlərin istehsalı: dəqiq maşınlar və optik komponentlər üçün elektrostatik emiş stəkanları, emal zamanı deformasiyanın və ya cızılmaların qarşısını alan sabit adsorbsiya gücünü təmin edə bilər.

4. Avtomatlaşdırılmış istehsal xətləri: Avtomatlaşdırılmış istehsal xətlərində elektrostatik emiş stəkanları yerləşdirmə, işləmə və s. Və s. Və s.