Tac örtülmüş qrafit dəstəyi

Ən son satılan, aşağı qiymətə və yüksək keyfiyyətli TaC ilə örtülmüş Qrafit Susseptorunu almaq üçün VeTek Yarımkeçirici fabrikimizə gəlməyə dəvət edirik. Sizinlə əməkdaşlıq etməyi səbirsizliklə gözləyirik.

Tantalum Carbide Seramik Material Mizelther nöqtəsi 3880 ℃ -ə qədər, yüksək ərimə nöqtəsidir və birləşmənin yaxşı kimyəvi sabitliyi, yüksək temperatur mühiti hələ də sabit performans saxlaya bilər, eyni zamanda yüksək temperatur müqavimətinə, kimyəvi korroziyaya davamlıdır Karbon materialları və digər xüsusiyyətləri olan mexaniki uyğunluq, onu ideal bir qrafit substrat qoruyucu örtük materialı halına gətirir. Tantalum karbid örtüyü, qrafit komponentlərini isti istifadə edən hidrogen və silikon buxar və əridilmiş metalın təsirindən səmərəli qoruyur, qrafit komponentlərinin xidmət həyatını əhəmiyyətli dərəcədə genişləndirir və qrafitdə çirklərin miqrasiyasını maneə törədir, Epitaxy və büllur böyüməsinin keyfiyyətinin təmin edilməsi. Əsasən nəm keramika prosesində istifadə olunur.

Kimyəvi buxarlanma (CVD), qrafitin səthində tantal karbid örtüyü üçün ən yetkin və optimal hazırlıq üsuludur.

Tac örtülmüş qrafit suseptoru üçün CVD Tac örtüklü metodu:

Örtük prosesi TACL5 və propilen kimi, karbon mənbəyi və tantal mənbəyi kimi istifadə edir və ARGON-un tantal pentaxlorid buxarını yüksək temperatur qazı aldıqdan sonra reaksiya otağına gətirməsi üçün karben və argon istifadə edir. Hədəf temperaturu və təzyiq altında, prekursor materialının buğusu qrafit hissəsinin səthində adsorbsiya olunur və parçalanma və karbon mənbəyi və tantal mənbəyinin birləşməsi kimi mürəkkəb kimyəvi reaksiyaların bir sıra baş verir. Eyni zamanda, məhsuldar və desorbsiyasının yayılması və desorbsiyasının yayılması kimi bir sıra səth reaksiyaları da iştirak edir. Nəhayət, qrafit hissəsini ekstremal ekoloji şəraitdə sabit olmaqdan qoruyan qrafit hissəsinin səthində sıx bir qoruyucu təbəqə meydana gəlir. Qrafit materiallarının tətbiq ssenariləri xeyli genişlənir.

TAC örtülmüş qrafitin məhsulu parametri Suseptor:

İstehsal sexləri:

Yarımkeçirici Chip Epitaxy Sənaye Zəncirinə Baxış: