Bir pecvd qrafit gəmisi nədir?

Ⅰ. Pecvd qrafit gəmisinin materialı nədir?

Əsas materialPecvd qrafit qayığı(Plazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma çöküntü gəmi gəmisi) yüksək təmizlikdən hazırlanmışdırizotrop qrafit materialı(Saflıq ümumiyyətlə ≥99.999%) və xüsusi proseslər tərəfindən dəyişdirilir (məsələn, kimyəvi buxar çökmə CVD və ya səth örtüyü). Yüksək təmizlik qrafiti əla elektrik keçiriciliyi və yüksək istilik keçiriciliyi səbəbindən pecvd sistemlərində geniş istifadə olunur (80 ~ 150 w / m · k). BuYüksək təmizlik qrafit materialıYüksək temperatur mühitində yaxşı quruluş sabitliyi və kimyəvi sabitliyi qoruya bilər və reaktiv qazlardan və plazmadan korroziyaya qarşı çıxa bilər.

Ⅱ. Qrafit gəmisinin fiziki xüsusiyyətləri nələrdir?

PECVD qrafit gəmisinin fiziki xüsusiyyətlərinə aşağıdakılar daxildir:

● Elektrik keçiriciliyi: ISOSTATIC qrafitində əla elektrik keçiriciliyi var ki, bu da elektrik enerjisini effektiv idarə etməyə və PECVD prosesi zamanı plazmanın nəsil və saxlanmasına kömək edir.

●  İstilikkeçirmə: Qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi (təxminən 80 ~ 150 w / m · k), PECVD prosesi zamanı sabit bir temperatur mühitini qorumağa və nazik filmlərin vahid çöküntülməsini təmin etməyə kömək edir.

●  Sıxlıq: Kommersiya policrystalin qrafitinin sıxlığı 1.30 q / sm³-dən 1.88 q / sm³ arasında dəyişir. Sıxlıq nə qədər yüksək olsa, məhsulun xidmət həyatını yaxşılaşdıra bilən fiziki və mexaniki xüsusiyyətlər daha yaxşıdır.

Ⅲ. Adi qrafit gəmisi ilə müqayisədə pecvd qrafit qayıqının üstünlükləri nədir?

Adi qrafit qayıqları ilə müqayisədə, PECVD qrafit gəmiləri aşağıdakı üstünlüklərə malikdir:

Ⅳ. Niyə Veteksemikanın PECVD qrafit gəmisini seçirsiniz?

Hamımızın bildiyimiz kimi, Veteksemikon, yarımkeçirici örtük məhsullarının aparıcı istehsalçısı və tədarükçüsüdir vəqrafit məhsullarıÇində. BizimPecvd qrafit qayıqlarıƏsasən yarımkeçirici və fotovoltaik sənayesində, xüsusən də PECVD və CVD proseslərində istifadə olunur.

Qrafit gəmiləri, ümumiyyətlə, bu materialların yüksək temperatur və plazma mühitində təhlükəsiz işləmə və nəqlini təmin etmək üçün silikon gofret və ya digər materiallar aparmaq üçün daşıyıcılar kimi istifadə olunur. Məsələn, yarımkeçirici istehsal prosesində Veteksemicon-un PECVD qrafit gəmiləri plazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma çökmə prosesləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. Qrafit gəmisi silikon nitridi (sinₓ) passivation təbəqələri və aşağı dielektrik daimi (aşağı k) filmlərinin depozit qoyulması rolunu oynayır.

Fotovoltaik sahədə, pecvd qrafit gəmilərində silikon əsaslı nazik kino günəş hüceyrələrini (məsələn, amorf silikon a-si) və perc hüceyrə arxa passivation təbəqələri hazırlamaq üçün istifadə olunur. Veteksemicon-un PECVD qrafit gəmisi, silikon gofreyi və vahid örtük çöküntüsünə çatmaq üçün parıltı axıdılması və parıltı axıdılması ilə örtük prosesini optimallaşdırır.

Daha əhəmiyyətlisi, VeTeksemicon xüsusi məhsul və texniki xidmətlər göstərə bilər və faktiki proses tələblərinə uyğun olaraq müxtəlif spesifikasiyaların qrafit qayıq məhsullarını hazırlaya və istehsal edə bilər. Veteksemikon seçmək, yarımkeçiricilərdə və fotovoltaik sənayesində güclü gücü olan bir sənaye liderinin seçilməsi deməkdir. Hörmətlə uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.