Pecvd qrafit qayığı

Veteksemicon peşəkar Çin Pecvd qrafitli qayıq istehsalçısı və təchizatçısıdır.

Vetek yarımkeçiricinin günəş hüceyrəsinin (örtüklü) pecvd qrafit gəmisinin rolu nədir?

Kaplama prosesi ilə istehsal olunan normal silikon gofrets daşıyıcısı olaraq, qrafit gəmisi, quruluşdakı müəyyən fasilələrlə bir çox gəmi gofreti var və iki qonşu qayıq boşluğu arasında çox dar bir yer var və silikon gofreti boş qapının hər iki tərəfinə yerləşdirilir.

Pecvd Grafit Boat Material Flatthite'nin yaxşı elektrik və istilik keçiriciliyi xüsusiyyətlərinə sahib olduğu üçün, iki qonşu qayıqda, iki qonşu olan iki qayıq, parıltı axıdılması olduqda, parıltı axıdılması, SI və N ionları meydana gətirən Sih4 və NH3 qazını parçalaya bilər. Sinx molekulları, örtük məqsədinə çatmaq üçün silikon vafinin səthinə əmələ gəlir və yatırılır.

PECVD qrafit gəmiləri, adətən, bu materialların yüksək temperatur və plazma mühitində təhlükəsiz işləmə və daşınmasını təmin etmək üçün silikon gofret və ya digər materiallar aparmaq üçün daşıyıcılar kimi istifadə olunur. Məsələn, yarımkeçirici istehsal prosesində Veteksemicon-un PECVD qrafit gəmiləri plazma inkişaf etmiş kimyəvi buxarlanma çökmə prosesləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. Qrafit gəmisi silikon nitridi (sinₓ) passivation təbəqələri və aşağı dielektrik daimi (aşağı k) filmlərinin depozit qoyulması rolunu oynayır.

Fotovoltaik sahədə, pecvd qrafit gəmilərində silikon əsaslı nazik kino günəş hüceyrələrini (məsələn, amorf silikon a-si) və perc hüceyrə arxa passivation təbəqələri hazırlamaq üçün istifadə olunur. Veteksemicon-un PECVD qrafit gəmisi, silikon gofreyi və vahid örtük çöküntüsünə çatmaq üçün parıltı axıdılması və parıltı axıdılması ilə örtük prosesini optimallaşdırır.

Daha əhəmiyyətlisi, VeTeksemicon xüsusi məhsul və texniki xidmətlər göstərə bilər və faktiki proses tələblərinə uyğun olaraq müxtəlif spesifikasiyaların qrafit qayıq məhsullarını hazırlaya və istehsal edə bilər. Hörmətlə uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Və Adi qrafit gəmisi ilə müqayisədə pecvd qrafit qayıqının üstünlükləri, sadəcə vurun