Mocvd qrafit tepsisini necə seçmək olar?

Sual 1: Mocvd Grafit Tepsisi nədir və niyə epitaksial proses üçün bu qədər vacibdir?

Mocvd qrafit tepsisi və ya mocvd qrafit suseptoru kimi də tanınan metal üzvi kimyəvi buxarlama (mocvd) qrafit plitəsi, epitaksial böyümə zamanı yarımkeçirici gofreti düzəltmək üçün istifadə olunan yüksək saf bir komponentdir. Epitaksial prosesdə istilik elementi rolunu oynayır və inkişaf etmiş yarımkeçirici cihazlar, LED istehsalçıları və günəş hüceyrələri kimi tətbiqlərdə nazik filmlərin yerləşdirilməsində əvəzolunmaz rol oynayan vahid temperatur paylanmasını təmin edir.

Qrafit tepsisi ekstremal temperaturdan (1600 ° C-ə qədər) və aşındırıcı qaz mühitinə tab gətirə bilər, yüksək temperatur, korroziyaya davamlı MOCVD sistemləri üçün əvəzolunmaz bir material hazırlaya bilər. Onun performansı birbaşa proses ardıcıllığı və gofret məhsuldarlığına təsir göstərir.

SUAL 2: MOCVD qrafit qablarını seçərkən hansı maddi xüsusiyyətləri prioritetləşdirilməlidir?

Doğru qrafit plakasını seçmək fiziki və kimyəvi xüsusiyyətlərini qiymətləndirməyi tələb edir:

● Yüksək saflıq (99.999% -dən çox):

Tipik olaraq, metallar və ya kül kimi çirklər epitaksial prosesi çirkləndirə bilər. Veteksemikon kimi yüksək saflıq qrafiti süzün bir təchizatçı seçmək, məsələn, yarımkeçirici epilayerdə minimal qüsurları təmin edir.

●  Əla istilik sabitliyi:

Əsl emal zamanı qrafit plitələri müəyyən istilik zərbələrinə tab gətirə və sürətli temperatur dövrləri altında struktur bütövlüyünü qorumalı olmalıdır. Veteksemik yüksək sıxlıqlı qrafit, vahid film böyüməsi üçün kritik olan vahid istilik paylamasını təmin edir.

●  Əla korroziyaya qarşı müqavimət:

MOCVD proses mühitində qrafit ümumiyyətlə aşındırıcı qazlara (məsələn, ammiak, hidrogen) məruz qalır. İncə temperaturlu korroziyaya davamlı Mocvd qrafit plitələri, incə dənli quruluşu korroziyanı minimuma endirir və xidmət həyatını genişləndirir.

●  Yüksək performanslı mexaniki güc:

Epitaxial prosesdə, Mocvd qrafit qabları birdən çox waferləri dəyişmədən dəstəkləməlidir. Veteksemikanın həqiqi işlənməsində statistikaya görə, qrafit plakasının əyilmə gücü, qabın çatlamasının qarşısını almaq üçün ≥50 MPa olmalıdır.

S3: MOCVD qrafit qablarının seçilməsinə tətbiq ssenarisi necə təsir edir?

Fərqli MOCVD prosesləri xüsusi qrafik plaka dizaynını tələb edir:

●  LED / Photonics epitaxial böyüməsi:

Ultra-hamar Mocvd qrafit plitələri, hissəcik nəslini azaltmaq və qüsursuz təbəqələri təmin etmək üçün epitaxy prosesində istifadə olunur.

Məsələn, Veteksemik Mocvd qrafit plitələri (və ya mocvd üçün veteksemik qrafit plitələri) GAN və GAAS epitaxy üçün hazırlanmışdır və optimallaşdırılmış istilik idarəetmə təmin edir.

●  Güc yarımkeçiricisi İstehsalat:

Semikera yarımkeçiricisinin eksperimental statistikası ilə birləşdirilmiş, inkişaf etmiş oksidləşmə müqaviməti olan plitələr ümumiyyətlə silikon karbid (SIC) və ya gallium nitridi (Gan) prosesləri üçün üstünlük verilir.

●  Yüksək vasitəçi istehsalı:

Çoxfabretli qablar reaktor dizaynı ilə uyğunlaşdırmaq üçün dəqiq emal tələb edir. Etibarlı təchizatçı semikera yarımkeçiricisindən özelleştirilebilir mocvd qrafit qabları xüsusi alət konfiqurasiyasına uyğun ola bilər.

Q4: Etibarlı bir Mocvd Grafit Plate Təchizatçısı tapmaq üçün əsas mülahizələr hansılardır?

●  Sertifikatlaşdırma və sınaq:

Təchizatçı maddi sertifikatlaşdırma (məsələn, saflıq hesabatı, sıxlıq testi) və işləmə sonrakı səth müalicəsini təmin edir (məsaməsizliyi azaltmaq üçün postsale) təmin edir. Aparıcı Çin yarımkeçirici örtük və epitaksial proses avadanlığı istehsalçısı olaraq, Veteksemik Mocvd qrafit plitələri, ciddi məhdudiyyətlər üçün hökumət şöbələri tərəfindən təsdiqlənmişdir və məhsullarının saflığı və sıxlığı testi onun həmyaşıdları çoxdur.

●  Özelleştirme imkanları:

Yuxarı yüksək saflıq qrafiti suseptor təchizatçıları reaktor tələblərinizə cavab vermək üçün ölçüsü, deşik naxışını və örtüyünü düzəltməlidirlər. Həm Veteksemik, həm də Semikera Yarımkeçiricisi ilə əlaqəli məhsul və texnologiyaların özelleştirme xidmət imkanlarına malikdir və müxtəlif xüsusi ehtiyaclarınıza cavab verə bilər.

●  Ömrü və xərc səmərəliliyi:

Daha ucuz qrafit qabaqcadan xərcləri saxlaya bilsə də, aşağı qrafit plitələri normal istehsal səmərəliliyinə ciddi təsir göstərən tez-tez dəyişmə və işləmə vaxtına səbəb olacaqdır. Veteksemik qrafit plitələrini və digər keyfiyyətli məhsulların seçilməsi işinizin uzunmüddətli etibarlı istehsala nail olmasına imkan verəcəkdir.

S5: MOCVD qrafit qablarının xidmətinin xidmətini necə uzatmaq olar?

●  Oksidləşmənin qarşısını alır: İstilik / soyutma dövrlərində inert qaz təmizləyin.

●  Müntəzəm olaraq təmizləyin: Depozitli qalıqları aradan qaldırmaq üçün aşındırıcı olmayan metodlardan (quru titrəmə kimi) istifadə edin.

●  Mexanik stresdən çəkinin: Daferal yükləmə / boşaltma zamanı qabı diqqətlə idarə edin.

Veteksemikanın sizə ən yaxşı tövsiyəsi:

Yüksək temperatur korroziyaya davamlı olan MOCVD qrafit plitələri üçün yarımkeçirici-dərəcəli materiallarda təcrübə ilə təchizatçılara üstünlük verin.

Performansın yoxlanılması üçün əsl proses şərtləri altında nümunələr test nümunələri.

Ekstremal mühitlərdə davamlılığı və etibarlılığı artırmaq üçün qabaqcıl örtükləri (sic örtük, TAC örtüyü kimi) araşdırın.

SIC Coating Mocvd Grafit Plate haqqında daha çox məlumat üçün buraya vurun.

TAC Coating Mocvd Grafit Plate haqqında daha çox məlumat üçün buraya vurun.