Kvars gəmisi nədir?

Quartz Boat, əsasən yayılma, oksidləşmə və yumrulama kimi gofretlərin yüksək temperatur emalı üçün istifadə olunan yarımkeçirici istehsal prosesində istifadə olunan əsas daşıma komponentidir. Əla istilik sabitliyi, aşağı çirklənmə xüsusiyyətləri və korroziya müqaviməti onu yarımkeçirici sənayesində əvəzolunmaz bir material halına gətirir. Bu məqalə, material, fiziki xüsusiyyətlərə, təsnifat, tətbiq ssenariləri və kvars qayığı və pecvd qrafit gəmisi arasındakı fərqlər haqqında material, fiziki xüsusiyyətlərə, tətbiqetmə ssenariləri və fərqləri hazırlayacaqdır.

Ⅰ. Kvars qayığının materialı

Kvars daşıyıcısının əsas komponenti yüksək təmizlik silikon dioksid (Sio₂) və saflığı ümumiyyətlə 99.99% -dən çox (yarımkeçirici dərəcəsi) çatmaq lazımdır. Bu yüksək saflıq kvars materialı, kvars daşıyıcısının yarımkeçirici istehsal prosesi zamanı çirkləri infinasiya prosesində infəaliyyətlərin daşınmasını azaltmaq üçün imkansız şəkildə tətbiq etməyəcəyini təmin edir.

Hazırlıq prosesinə görə, kvars materialları iki kateqoriyaya bölünə bilər:

● Təbii kvars: Kristal təmizlənməsindən, yüksək bir hidroksil tərkibi (təxminən 100-200 ppm), aşağı qiymətə, lakin yüksək temperaturdan qəfil dəyişikliyə malik zəif tolerantlıqdan hazırlanmışdır.

● Sintetik kvars: Kimyəvi buxarlanma (CVD) və ya elektrofuziya ilə, aşağı hidroksil (-h) məzmunu (<1 ppm), daha yaxşı istilik sabitliyi və yüksək temperaturlu proseslər (oksidləşmə və diffuziya) ilə uyğunlaşdırılmışdır.

Bundan əlavə, bəzi kvars qayıqları, deformasiya müqavimətini yaxşılaşdırmaq və ya UV proseslərinin ehtiyaclarını ödəmək üçün yüngül ötürmə qabiliyyətini tənzimləmək və ya yüngül ötürmə etmək üçün titan (TI) və ya alüminium (AL) kimi metallarla dopdur.

Ⅱ. Kvars qayıqlarının əsas fiziki xüsusiyyətləri hansılardır?

● Yüksək temperaturda müqavimət: Kvarsın ərimə nöqtəsi 1713 ° C qədər yüksəkdir və uzun müddət 1200 ° C-də sabit işləyə bilər və qısa müddət ərzində 1500 ° C-yə tab gətirə bilər.

● Aşağı istilik genişləndirmə əmsalı: Termal genişləndirmə əmsalı yalnız 0.55 × 10 / ° C-dir. Bu əla performans yüksək temperaturda ölçülü sabitliyi təmin edir və istilik stresinə görə çatlamağa mane olur.

● kimyəvi inertlik: Hidrofluoric turşusu (HF) və isti fosfor turşusu istisna olmaqla, Kvars güclü turşulara, güclü qələvilərə və ən çox korroziv qazlara (məsələn, Cl₂, O₂) müqavimət göstərə bilər.

● Elektrik izolyasiyası: Müqavimət, plazma prosesinin elektrik sahəsinin bölgüsü ilə müdaxilənin qarşısını alan 10¹⁶ω · sm qədər yüksəkdir.

● yüngül ötürmə: ultrabənövşəyi, infraqırmızı bant (> 90%), yüngül köməkçi proseslər üçün uyğun olan əla ötürmə (ultrabənövşəyi müalicə kimi).

III. Kvars qayıqlarının təsnifatı

Müxtəlif dizayn strukturlarına və istifadə ssenarilərinə görə, kvars qayıqları aşağıdakı kateqoriyalara bölmək olar:

● üfüqi kvars gəmisi

Üfüqi boru sobalarına (üfüqi diffuziya sobası), oksidləşmə, yayılma, ilkinlik və digər proseslər üçün istifadə olunan üfüqi diffuziya sobasıdır.

Xüsusiyyətlər: Adətən açıq və ya yarı qapalı bir dizayn olan 100-200 gofret daşıya bilər.

● Şaquli kvars gəmisi

LPCVD prosesləri, oksidləşmə və ilkin emal prosesləri üçün istifadə olunan şaquli sobalara (şaquli soba) tətbiq olunur.

Xüsusiyyətlər: Daha çox kompakt quruluş, vafli daşıma qabiliyyətini artıra və proses zamanı hissəcik çirklənməsini azalda bilər.

● Xüsusi kvars gəmisi

Fərqli proses tələblərinə uyğun olaraq hazırlanmış, vaffer emal effektlərini optimallaşdırmaq üçün tək vafli dəstəyi və ya xüsusi sıxma quruluşu istifadə edilə bilər.

Çində lider kvars gəmi istehsalçısı və təchizatçı kimi,Veteksemik, həqiqi ehtiyaclarınıza uyğun olaraq xüsusi kvars daşıyıcı məhsullarını dizayn edə və istehsal edə bilər. Daha çox məhsul təfərrüatları üçün baxın:

İv. Yarımkeçirici istehsalda kvars qayığının tətbiq ssenariləri hansılardır?

Kvars qayıqları, əsasən aşağıdakı tətbiq ssenariləri daxil olmaqla, yarımkeçirici istehsalın bir çox əsas proses bağlantısında geniş istifadə olunur:

4.1 istilik oksidləşməsi

● Prosesin təsviri: Dafer, bir silikon dioksidi (Sio₂) filmi yaratmaq üçün yüksək temperaturlu bir oksigen və ya su buxar mühitində qızdırılır.

● Kvars qayığının xüsusiyyətləri:

1) Yüksək istilik müqaviməti, 1000 ~ 1200 ° C olan yüksək temperaturdan tab gətirə bilər.

2) Kimyəvi inertless, kvars qayıqları güclü turşulara, güclü qələvi və ən çox korroziv qazlara davamlıdır, buna görə oksid filminin keyfiyyətinə təsir etməkdən çəkinin.

4.2 Diffuziya prosesi

● Prosesin təsviri: Çirklər (məsələn, fosfor və bor kimi), dopinq təbəqəsi meydana gətirmək üçün yüksək temperatur şəraitində silikon vaflonuna yayılır.

● Kvartz qayıq xüsusiyyətləri:

1) Dopinq konsentrasiyası paylanmasına təsir etməkdən metal çirklənmənin qarşısını alan aşağı çirklənmə.

2) Yüksək istilik sabitliyi, vahid diffuziya prosesini təmin edən yalnız 0.55 × 10 / ° C-nin istilik genişləndirilməsi əmsalı ilə.

4.3 Təmizləmə prosesi

● Prosesin təsviri: Yüksək temperatur müalicəsi stressi silmək, maddi kristal quruluşunu yaxşılaşdırmaq və ya ion implantasiya qatını aktivləşdirmək üçün istifadə olunur.

● Kvartz qayıq xüsusiyyətləri:

1) 1713 ° C qədər olan ərimə nöqtəsi ilə, istilik stressi nəticəsində yaranan çatlamamaq üçün sürətli istilik və soyutmağa dözə bilər.

2) Vahid istilik təmin etmək üçün dəqiq ölçülü nəzarət.

4.4 Aşağı təzyiqli kimyəvi buxarlanma (LPCVD)

● Proses təsviri: Aşağı təzyiq mühitində, silikon nitridi (Si₃n₄) kimi vahid nazik bir film (Si₃n₄) bir qaz fazası reaksiyası vasitəsilə formalaşır.

● Kvars qayığının xüsusiyyətləri:

1) Şaquli soba boruları üçün uyğun, film çöküntü vahidliyini optimallaşdıra bilər.

2) Aşağı hissəcik çirklənməsi, film keyfiyyətini yaxşılaşdırın.

Ⅴ. Kvars qayığı və pecvd qrafit gəmisi arasındakı fərqlər nələrdir?

Tipik fərq ssenariləri:

● PECVD prosesi: Qrafit qayıqları, keçiriciliyi səbəbiylə plazma vahidliyini optimallaşdıra bilər və aşağı temperatur mühitində (300-400 ° C) kvarsın yüksək temperaturun performansını tələb etməməlidir.

● Yüksək temperatur oksidləşmə sobası: Veteksemik kvars gəmiləri yüksək temperatur müqavimətinə görə əvəzolunmazdır, qrafit, otağını çirkləndirən bir oksigen mühitində yüksək temperaturda co / co₂ yaratmaq üçün asanlıqla oksidləşir.