Vakuum çirk

Tətbiqi: 

Dəqiq adsorbsiya və gofret və külçələrin möhkəm fiksasiyası üçün hazırlanmış yüksək səmərəli vakuum chuck. Yarımkeçirici istehsal, vafli kəsmə, dəqiq emal, yüksək temperatur epitaxy, etching və ion implantasiyası da daxil olmaqla vəziyyətlər üçün uyğundur.

Əsas parametrlər:

● Tənzimlənən məsaməsizlik (10 - 200 mkm).
● ultra - yüksək temperaturdan (≤1600 ° C-ə qədər) və əla istilik şok müqavimət göstərməyə qadirdir.
● Adsorbtion vakuum: Standart - 90KPA (100 kəpəyə çatmaq üçün özelleştirilebilir).

● Emiş Kuboku Ölçüləri: 4/6/8/12 - Inch Wafters və ingot ölçüsü xüsusi ehtiyaclara uyğun olaraq dəstəklənə bilər.

Ⅰ. Təsvir

Veteksemicon keramika vakuum chuck, məsaməli keramika və metal xarici bir üzükün birləşmiş bir quruluşundan istifadə edir. Hava kanallarının və məsamələrinin fərdi dizaynı ilə, hətta adsorbsiya gücünün və yüksək sabitliyin bərabər paylanmasını həyata keçirir. Bu Chuck yarımkeçirici istehsalı, vafli kəsmə, dəqiqlik emal və s. Üçün yüksək səviyyədə və yüksək sürətli hərəkət edən parametrlərdə işləyə bilər və müxtəlif ölçülərdə gofret / külçələrin uyğunluğu tələblərinə cavab verir.

Ⅱ. Əsas quruluş və material üstünlükləri

Multilayer kompozit layout:

✔ Səth təbəqəsi: Məsaməli keramikadan hazırlanmışdır (məsaməli silikon karbid və ya məsaməli qrafit arasında seçim edə bilərsiniz). Yalan diametri tənzimlənə bilər (10 - 200 mkm), adsorbsiya gücünün vaffer səthinə bərabər şəkildə köçürülməsinə və beləliklə yerli stresin qurulmasına mane olan yerləri tənzimləyə bilər.

✔ Matrix: Struktur dəstəyi və hava şəraitini təklif etmək üçün yüksək sərt metal çərçivədən (ya paslanmayan poladdan və ya alüminium ərintisi) ibarətdir.

✔ Hava yolları və məsamələr: Dəqiq işlənmiş daxili hava yolları bir şəbəkə meydana gətirir, bərabər məsafəli mikroporlar ilə birlikdə. Bu quraşdırma tez vakuum çıxarılmasını dəstəkləyir (adsorbsiya qüvvəsi 90 kəpəyə çata bilər) və dərhal azad oluna bilər.

Ⅲ . Ma müqayisəsiTerial xüsusiyyətləri

1. Maddi xüsusiyyətlərin müqayisəsi

2. Tətbiq ssenariləri və hallar

✔ Yarımkeçirici Fabricatio

Epitaxial böyümə: SIC-ləri yüksək temperaturda möhkəm bir adsorb, Waferlərin çirklənməsinə və çirklənməsinin qarşısını alaraq yüksək temperaturda gəzə bilər.

Litoqrafiya və etching: Bu, qrafik hizalanmanın düzgünlüyünü təmin edən yüksək sürətli hərəkət edən platformalar (sürətləndirmə ≤10g) üzərində dəqiq yerləşdirməyə imkan verir.

✔ Külçələnmə

Kəsmə və Taşlama: Ağır külçələri (məsələn, safir və silikon kimi), titrəmə səbəbindən kənar krekinqi azaltmaq üçün ağır külçə (silikon külçələri) edə bilər.

✔ Elmi tədqiqat və xüsusi texnologiyalar

Yüksək - Temperatur Anlaşması: Məsaməli Silikon - Karbid Suction fincanları, deformasiyasız və ya çirklənmədən 1600 ° C-də davamlı işləyə bilər.

Vakuum örtüyü: yüksək hava - möhkəmlik dizaynı ilə PVD / CVD boşluq mühitinə uyğunlaşa bilər.

3. Xüsusi xidmət

✔ Ölçüsü və yük üçün özelleştirme təklif edirik.

✔ Stomata və Havaway xüsusi tələblərə cavab vermək üçün optimallaşdırıla bilər.

✔ Xüsusi mühitlərə uyğunlaşdırıla bilər.

Ⅳ. Suallar:

Vakuum chucks çox ölçülü vaffer uyğunluğuna necə nail olur (məsələn, 12/8/6 ")?

S: Bir Chuck eyni anda 12 düymlük, 8 düymlük və 6 düymlük boşluğa necə uyğun gəlir? Fiziki yenidən qurulur, zəruridirmi?

A:Adaptive hava yolu və stomatal bölmə yolu ilə çox ölçülü uyğunluq:

✔ Dinamik Stomatal Nəzarət: Suckerin səthindəki stomata bir üzük bölgəsində paylanır və müxtəlif sahələrdə hava dövrəsi xarici bir valve tərəfindən idarə olunur.

Məsələn, 8 düymlük bir vafleri alarkən yalnız mərkəzi sahədəki məsamələr aktivdir və xarici məsamələr bağlanır (adsorbsiya qüvvəsinin sızmasının qarşısını almaq üçün).

✔ Çevik hava yolu dizaynı: Liman şəbəkəsi, vahid adsorbsiya gücünün əhatə dairəsini təmin etmək üçün müxtəlif ölçülərin kənar profillərinə uyğun bir modul düzeni var. və Üstünlüklər aşağıdakılardır:

Sıfır Hardware dəyişdirilməsi: Suction fincanını silmək və ya dəyişdirməyə ehtiyac yoxdur, proqram və ya qaz klapan keçidi vasitəsilə müxtəlif ölçülərə uyğunlaşdırıla bilər.

Qiymət Əmanətləri: Təchizatın təmir xərclərini və iş vaxtını azaldın və istehsal xəttinin rahatlığını artırın.